PVD

DEPOSICIN FSICA EN FASE VAPOR

QU ES ?

Es un proceso de recubrimiento termo fsico en el que los materiales de revestimiento se vaporizan en una cmara de vaco que contiene gas reactivo y se depositan en la pieza a tratar

Tcnicas PVD

EVAPORACION POR ARCO

Deposicin por Arco es una tcnica de PVD que utiliza la vaporizacin de un electrodo usando un arco como fuente para vaporizar el material. Las condiciones de formacin de arcos constan de una alta corriente, corriente elctrica de bajo voltaje que pasa a travs de un gas o vapor del electrodo material. El voltaje del arco slo tiene que estar cerca del potencial de ionizacin del gas o vapor (> 25 voltios)

Caractersticas

Fuentes de Vaporizacin

 La vaporizacin por arco un vaco (muy baja presin) se

produce cuando una corriente de alta densidad y baja corriente elctrica pasan entre los electrodos ligeramente separados en el vaco, vaporizando las superficies de los electrodos y formando un plasma del material vaporizado entre los electrodos.

ARCO EN VACIO

 Puesto que los iones se mueven ms lentamente que los

electrones, se genera una carga espacial positiva en los iones de plasma y son acelerados desde el plasma a energas que estn mucho mayor que las energas trmicas, tpicamente 50-150 eV. Esto significa que la deposicin de el material del electrodo en un vaco, donde no hay termalizacin, se acompaa de bombardeo simultneo de los iones energticos.

Arco Catdico
Si la vaporizacin es principalmente de la superficie del

ctodo por erosin por arco, el sistema se denomina arco catdico. El arco puede ser continua o pulsada. El ctodo puede ser fundido pero es generalmente un ctodo slido refrigerado por agua ("ctodo fro"). La fuente de ctodo fro es la fuente ms comn de arco catdico para la deposicin de la pelcula

DURACIN DEL PULSO

De acuerdo con la duracin del pulso se pueden tener dos categoras las cuales pueden ser delineadas por la fuente de potencia del arco.

Si

el arco es sostenido solamente por la duracin de la descarga de un capacitor, se denomina fuente de arco pulsado.
fuente de arco continuo, o en algunos casos cuasi continuos.

Si el arco es sostenido por una fuente de corriente, es llamada

Arco pulsado y continuo

Rasgos de arcos: a) contino; b) pulsado.

 La corriente de electrones de alta densidad en el ctodo

(arco slido) forma una mancha catdica, que generalmente se mueve sobre la superficie hasta que se extingue.

Si la densidad de corriente es muy alta, el arco se rompe

en dos o ms puntos (arcos). Durante el movimiento al azar, la mancha catdica puede adjuntar a una protuberancia de superficie o una regin de alta emisin de electrones, tal como una inclusin de xido, hasta que se vaporiza la regin.

Tipos de spot

Las tipo 1 tienen una baja tasa de erosin catdica adems de un distanciamiento grande entre los spots.(se encuentra en conduccin con la superficie contaminada, xidos) Las tipo 2 al contrario presentan unas altas tasas de erosin lo que genera una cadena de crt9 eres en el ctodo.(conduccin con superficies limpias

Arco Andico
Este tipo de arco a veces se llama arco distribuido ya
que la corriente y la densidad es mucho menor en el nodo que en la mancha catdica.

Se implementa el uso de campo magntico para aumentar la

ionizacin

Equipo

Contaminantes
Los contaminantes ms comunes son partculas generadas durante la deposicin por arco catdico.

Estos pueden ser glbulos fundidos cuando son

inyectados desde el ctodo o pueden ser partculas slidas tales como las expulsado de carbono o partculas de polvo

Proporciona una velocidad de vaporizacin ms alta la mayora de las formas de pulverizacin catdica.
Las fuentes de alimentacin de baja tensin utilizados son atractivos desde el punto de vista de la seguridad.

Reduccin de costes.
Aumento de la productividad. Mayor vida til de la herramienta.

Ventajas

Menores tiempos de mecanizado.

Mayor calidad. Mayores velocidades de corte y avances. Menos paradas de mquina. Mejor acabado superficial, menos rugosidades. Similar rendimiento de herramientas afiladas.

IMPLEMENTACION DE UNA FUENTE DE ARCO PUSADO PARA LA PRODUCCION DE RECUBRIMIENTOS DUROS DE TiN

RESULTADOS

CONCLUSIN

Evaporacin por Laser

Caractersticas

Proyeccin Trmica

Desventajas

Conclusiones

Bibliografa

Ander A.Cathodic Arcs: From Fractal Spots to Energetic Condensation.(2008) 214. Villar C.Recubrimientos Duros: Deposicin Fsica en Fase Vapor (PVD) (2010)4. Mattox M.HANDBOOK OF PHYSICAL VAPOR DEPOSITION (PVD)PROCESSING (1998)(214-254) Albella J.Tcnicas de Deposicin Fisica

GRACIAS