DISEO DE

UN SISTEMA ACONDICIONADOR DE SEAL PARA SENSORES MEMS DE REACTANCIA VARIABLE

Sosa Torres Miguel ngel, Navarro Alvarado Jos Marcos, Montiel Uribe Rodrigo, Prez Mrquez Heber Bernabe
Centro de Investigacin y Diseo en Micro y Nano Tecnologa (CIDEMyNT), Departamento de Electrnica Instituto Tecnolgico superior de Irapuato Km. 12.5 Carretera Irapuato-Silao, Irapuato, Gto. 36821, Mxico Tel. (462)6067900, correo electrnico: misosa@itesi.edu.mx, jonavarro@itesi.edu.mx, romontiel@itesi.edu.mx, heperez@itesi.edu.mx

RESUMEN En la actualidad, cada vez es ms comn el uso de sensores MEMS (Sistemas Microelectromecnicos por sus siglas en ingles Microelectromechanical Systems) en diversas aplicaciones. Estos sensores pueden ser de diversos tipos, capacitivos, inductivos, resistivos, etc., y tambin se pueden clasificar de acuerdo a su aplicacin, como son sensores de presin, posicin, giro, etc. En este trabajo se presenta una breve descripcin de los sensores del tipo capacitivo, la caracterizacin de un circuito acondicionador de seal para sensores MEMS de reactancia variable utilizando el software de diseo y simulacin National Instruments Electronics Workbench 10, el cual tiene la caracterstica de utilizar Modelos de dispositivo desde proveedores lderes como Dispositivos Analgicos y Texas Instruments. Se presentan de manera grfica los resultados obtenidos en la respuesta a la frecuencia de un circuito utilizado como acondicionador de seal para sensores capacitivos, adems de la respuesta del sistema a diferentes valores del dispositivo de retroalimentacin R Observndose que se tiene mejor respuesta dependiendo de la combinacin de el valor del dispositivo R y frecuencias altas.

Se describen adems las consideraciones que se deben de tomar para la realizacin de estos sistemas de acuerdo a las caractersticas elctricas de sus dispositivos. rea: Microelectrnica. Palabras clave: Reactancia capacitiva, Sensor capacitivo MEMS, Respuesta a la capacitancia. I. Introduccin La caracterizacin de sistemas de acondicionamiento es el conjunto de elementos de un sistema elctrico o electrnico, aunque tambin pueden involucrar partes mecnicas [6], estos surgen a partir de un sistema de medida que se produce en la seal de salida, una seal apta para ser presentada o bien que permitir un procesamiento de seal posterior mediante un equipo o instrumento estndar. El Acondicionamiento de seales ofrece muchas ventajas de mejoras sobre los circuitos, como lo son la amplificacin de la seal, el filtrado y la modulacin demodulacin de la seal con que se trabaja [1]. Un sistema de medicin consiste de un elemento sensor, un acondicionador de seal y un sistema de visualizacin. El elemento sensor es aquel dispositivo donde un cambio en la variable fsica proporciona un cambio de una propiedad elctrica. El acondicionador de seal es aquel elemento que se encarga de convertir ese cambio de una propiedad elctrica a un cambio de una

seal elctric de tipo y magnitud ad s ca, decuada para el a elemento d visualiza e de acin. El elemento de visualizacin se encarga de que esa seal elctr v n a rica proveniente del acond p dicionador de seal sea entendible para un oper e rador o para un sistema de control. En l figura 1, se observa un diagram a c la ma bloques de lo sistemas de medicin. b os d

Un transducto no se con n or necta directa amente a la parte de procesamiento o de desplieg gue de un sistem ya que la seal q nos env nuestro ma, que va transductor por lo general es muy dbil o contiene s ruido u otros co o omponentes ( (elementos t transitorios o aco oplamiento d seales no deseadas), por eso se de o realiz etapas de acondicion zan e namiento de seales. El circuito de acond dicionamient to puede propo orcionar una impedancia de entrada adecuada a a para no demandar mucha co orriente al t transductor [2] co omo se ilustr en la figur 3. ra ra

Figura 1. D Diagrama general de u sistema d g un de medida y control [1] Una U aplicaci en desar in rrollo es la m medicin de la e temperatura de fluidos a travs de su reactan t e ncia capacitiva [5 c 5]. Acondiciona A amiento de seales Los acond dicionadores de seal, adaptadore o s es amplificador a res, en se entido amp plio, son los elementos del sistema de medida que ofrecen a e d n, partir de la seal de sal p lida un sens electrni sor ico, una u seal ap para ser presentada o registrada o pta a que simplem q mente perm mitir un procesamiento posterior m p mediante un equipo o instrumento n estndar. C e Consiste no ormalmente en circui itos electrnicos que ofrecen entre otras funciones, las e n siguientes: s Ampl lificacin Filtra ado Adap ptacin de Im mpedancias Modu ulacin o De emodulacin n.

Figura 3. Siste ema de Ac condicionam miento de seal para un sensor desd el punto de vista l de o elctrico [1]. Mtodo M Un condensa n ador elctri ico consiste en dos e condu uctores sepa arados por u dielctric (slido, un co lquid y gaseos do so), o el vaco como se ve en la e figura 4. La re elacin entr la carga, Q, y la re difere encia de p potencial, V V, entre e ellos viene descr por su ca rita apacidad, C= Q/V. Esta capacidad = a depen nde de la disposicin geomtric de los n ca condu uctores y d material dielctrico dispuesto del entre ellos. II Pa un cond ara densador fo ormado por n placas r plana paralelas iguales, co rea A, d as on distancia d entre cada par, y un mat terial entre ellas con const tante dielc ctrica relativ r, la ca va apacitancia aprox ximada es: C = 0 r A/d (n-1) (1)

Figura 2. Etapas del acondicio F onamiento de seal. s

Donde 0 = 8.85 pF/m es la consta D ante dielctr rica del d vaco.

Figura 4. Ca F apacitor de placas para alelas [1] As pues, cualquier fenmeno o magnitud q f que produzca una variacin en r, A o d provocar un p d, cambio en la capacidad C, y en princ c a C cipio puede ser detectado m d mediante el dispositivo anterior. En general cualq g quier cambi en el diel io lctrico o en la n geometra pu g uede ser con nsiderado pa la deteccin ara del d fenmeno que lo prov o voca. Los senso ores capaciti ivos pueden ser lineales o n no n lineales en s mismos. Su linealid depende del n dad parmetro qu vara y de si se mide l admitanci o p ue e la ia la impedanci del conden ia nsador. En u condensad un dor plano, la salida es lineal si se mide la admitanc p l cia, pero no es lineal si se vara la se p eparacin en ntre placas, para e se tiene la relacin: p esto e

sea la frecuencia de alimenta a acin, la imp pedancia de las capacidades parsitas tambin d s decrece al aume entar su frec cuencia. Una solucin e poner la a es electr rnica de ac condicionam miento de se eal cerca. Frent a sus limi te itaciones, lo sensores c os capacitivos prese entan una s serie de ventajas que los hacen atract tivos en mu uchas aplicac ciones: com sensores mo de d desplazamien nto tienen un error por carga mec nica mnim al no hab contacto mecnico mo, ber o directo, no hay er rrores de fric ccin ni de h histresis y no ha que hace mucha fu ay er uerza para de esplazar al elemento mvil [1]. Lo sensores capacitiv os s vos son a menudo utiliz zados exitosa amente en la aplicacion que no as nes pueden ser resue eltas por otra tcnicas d sensado. as de s io ctrico en el Estos responden a un cambi de dielc medio que rodea la zona act a tiva y, por m medio de la lacin in ncorporada, permite regul sensar prct ticamente cu ualquier sustancia. Adem pueden ms detec material a travs de paredes de vidrio, ctar les plsti o lmina de cartn. ico as os s os Lo sensores capacitivo como su nombre indica, estn basa ados en la d deteccin de un cambio en la capacidad i a inducido por una superf r ficie que se lleva cerca del elemento s sensor. Son diseados norm malmente po medio de platos par or e ralelos con electr rodos poros o con fi sos ilamentos en ntrelazados en el sustrato. E material dielctrico absorbe o l El elimi ina vapor de agua del ambiente con los e camb bios del ni ivel de hum medad. Los cambios s result tantes en la constante dielctrica causa una a varia acin en e valor d la capa el de acidad del dispo ositivo por lo que result una imped ta dancia que vara con la hum a medad. Esto permite a e vapor de el agua entrar y sa fcilmen y el seca rpido alir nte ado para la sencilla ca alibracin de sensor. el El e elemento sen es un co nsor ondensador c constituido por un electrod sensible y un ele do ectrodo de refere encia. Esto electrodo pueden ser, por os os ejemp un disc y un anill metlicos separados plo, co lo s por u material dielctrico. Una cavid de aire un dad seco se suele colocar d detrs del elemento capac citivo para p proporcionar aislamiento. El resto r del sensor es st constit tuido por circuitos electr rnicos que pueden inc cluirse como una parte o

(2) . Dnde D Una U alternat tiva para ten una salid lineal en un ner da sensor capac s citivo plano basado en un variacin de b na n la distancia entre placas es medir, en vez de su s, , admitancia, s impedanc a su cia: (3) eo ndensadores diferencial les, El emple de con permite tamb p bin obtene una salida lineal con el er a n parmetro que se detecta. Una lti p ima consideracin relativa a las limita c aciones de los sensores cap s pacitivos es su alta i s impedancia de salida. Si bie la impeda s en ancia decrece cuanto may e yor

integral de la unidad, en cuyo caso suelen estar embebidos en una resina para proporcionar soporte mecnico y sellado. La figura 5 muestra un diagrama esquemtico de un capacitor MEMS. Consiste de dos placas mviles con una capa dielctrica en la parte superior de la placa inferior.

Ancho de banda Alimentacin de voltaje Nivel de offset de entrada de voltaje o corriente Los diagramas esquemticos y simulaciones se realizaron utilizando el software NI Multisim 10, ya que las caractersticas de los dispositivos simulados, son datos proporcionados directamente por el fabricante de estos. Utilizando un voltaje de entrada senoidal de 1 Vp con el cual se caracterizo el circuito para diferentes valores de la frecuencia de entrada y diferentes valores del capacitor de retroalimentacin, para con esto cambiar la reactancia de este y determinar a qu frecuencias presenta una mejor respuesta el diseo. En la figura 7 se muestra el circuito realizado en simulacin con el software NI Multisim 10.
R1

Figura 5. Diagrama capacitor MEMS [2].

esquemtico

de

un

C2 XFG1 17pF 0 5 1
3

1k 2 6 V1 12 V 0
6

U1 V2 12 V 3

Los capacitores MEMS de este tipo con dimensiones de alrededor de 1000 m tienen sus capacitancias alrededor de 10 pF, dependiendo de las distancias de separacin entre las placas. Un circuito propuesto para realizar las mediciones del sensor capacitivo, es el siguiente:
R1 C2 17pF 1
3 7 1 5

C1 0 10pF
2 4 8

LM301AN

XSC1
Ext T rig + _ A + _ + B _

Figura 7. Simulacin del circuito de reactancia variable. En esta figura se observa que la seal de entrada est conectada al canal A del osciloscopio y la salida al canal B de este mismo. En la figura 8 se muestra una grfica con la seal de salida con un valor en C2 de 17 pF y una frecuencia de entrada de 100 Hz, y en la tabla 1 se presenta el recorrido en la frecuencia.

1k

U1
6

C1 0 10pF
2 4 8

LM301AN

Figura 6. Circuito acondicionador de reactancia variable [3]. Para este circuito se debe de considerar las siguientes caractersticas elctricas del amplificador operacional: Inmunidad al ruido Alta ganancia

Frec (Hz)

Vin (Vp)

C2 (pF)

Vout (Vp)

10 100 1000 10k 100K 1M 10 M

1 1 1 1 1 1 1

17 17 17 17 17 17 17

1.25 u 12.5 u 125 u 1.25 m 12.5 m 92 m 125 m

Figura 8. Graficas como resultado de la simulacin a 100 Hz y Cx=C2=17 pF. Se muestra la forma de onda seleccionada. Las tablas 1, 2 y 3 muestran un recorrido en frecuencia con estos valores de reactancia y voltaje de entrada. Se obtiene el valor del voltaje de salida, tomando en cuenta que esta anulado el offset de salida en la medicin.
Frec (Hz) Vin (Vp) C2 (pF) Vout (Vp)

Tabla 3. Salida en voltaje para un valor de C2 de 100pF. Con estos datos, nos damos cuenta que se obtiene un voltaje de salida mayor a frecuencias altas. Las figuras 9, 10 y 11 muestran la respuesta de la reactancia con diferentes valores de frecuencia en el voltaje de entrada. Se obtiene el valor del voltaje de salida, tomando en cuenta que esta anulado el offset de salida en la medicin.

10 100 1000 10k 100K 1M 10 M

1 1 1 1 1 1 1

100 100 100 100 100 100 100

1.3 u 13 u 130 u 1.3 m 14 m 80 m 110 m

Tabla 1. Salida en voltaje para un valor de C2 de Frec (Hz) Vin (Vp) C2 (pF) Vout (Vp) 17pF. 10 1 50 1.3 u 100 1 50 13 u 1000 1 50 130 u 10k 1 50 1.3 m 100K 1 50 13 m 1M 1 50 90 m 10 M 1 50 110 m Tabla 2. Salida en voltaje para un valor de C2 de 50pF.

Figura 9. Respuesta a la capacitancia para un valor de R=1K. De acuerdo con los resultados obtenidos, se observa que el circuito responde mejor a las frecuencias de 1 y 10 MHz, ya el voltaje de salida vara 30 mVp en ambas frecuencias cuando el valor del capacitor de retroalimentacin vara de 10 a 200 pF.

cambia de 1.1 Vp a 100 mVp cuando el capacitor vara de 10 pF a 200 pF. III. Conclusiones Debido a que los cambios en la salida del circuito acondicionador son muy reducidos, ya que se obtienen variaciones de microvolts o milivolts hasta volts en altas frecuencias, se debe de tener cuidado con utilizar amplificadores operacionales que sean inmunes al ruido y adems tengan un ancho de banda amplio para un mejor desempeo del circuito. Figura 10. Respuesta a la capacitancia para R=10K. De acuerdo a la grfica y a los datos obtenidos en la tabla 2 se puede observar que con una resistencia de 10 K se obtiene una mejor respuesta del circuito a cambios del capacitor a una frecuencia de 1MHz, ya que el voltaje de salida cambia de 750 mVp a 80 mVp cuando el capacitor vara de 10 pF a 200 pF. Otra de las observaciones que se deben de tener presente, es que los cables que inyectan la seal de entrada deben de estar apantallados a tierra as como la salida de estos, con el fin de evitar la introduccin de seales no deseadas. En este trabajo, se realizaron las simulaciones con tres valores diferentes de resistencia de polarizacin, tratando de cubrir un rango amplio de valores que son los ms utilizados en los circuitos. De esta manera se puede determinar a qu valores de los componentes se puede obtener mejor respuesta, dependiendo de la frecuencia a utilizar Con este diseo se pretende utilizar cualquier sensor MEMS del tipo capacitivo, independientemente de la forma o estructura con la que este fabricado. Y se recomienda que para este tipo de circuitos se deba tener en consideracin que el capacitor sea en el orden de los pico-Farads. Referencias Figura 11. Respuesta a la capacitancia para R=100K. En la figura 11 se puede observar que la salida presentada por el circuito acondicionador con una resistencia de 100 K es mucho mejor en respuesta a los cambios del capacitor a una frecuencia de 100KHz, ya que el voltaje de salida [1] Palls, A. Ramn. (2007) Sensores y Acondicionadores de Seal, 4. Edicin. Editorial Marcombo, Mxico. D.F Maher Bakri-Kassem and Raafat R. Manssur. A Wide Tuning Range MEMS Variable Capacitor. University of Waterloo, Waterloo, Ontario, Canada. CWMEMS Abstract (2003).

[2]

[3]

Quad Precision Op Amp (LT1014), Dual Precision Op Amp (LT1013) Datasheet, Linear Technology en http://www.lineartech.com/prod/datasheet.html?datasheet=15 5 Stephen D. Senturia, Microsystem Design, Cap. 19, Kluwer Acedemic Publisher, USA, 2002 Behzadi G., Golnabi H., Monitoring Temperature Variation of reactance Capacitance of Waterusing a Cylindrical Cell Probe,Journal of Aplicated Sciences, 2009, ISSN 1812-5654 Golnabi H. Measuring Small Displacements by Using Capacitive Transducer System SCIENTIA IRANICA, Vol. 7, No. 1

[4]

[5]

[6]