Universidad Michoacana de San

Nicols de Hidalgo
Facultad de Ingeniera Qumica

Anlisis Instrumental
Microscopia electrnica de barrido
Profesora: Dra. Ma. Elena Nez Gaytn
Mdulo 3
Seccin 2

Fecha: 2 de mayo del 2017

Alumnos:
Benjamn Reyes Alfaro; 1129364E
Kevin Fernando Barrera Tinoco; 1423897X
Microscopia electrnica de barrido
La microscopia electrnica de barrido (MEB o SEM, por sus siglas en ingls) es un
tipo de microscopia electrnica que produce imgenes de una muestra
escaneando la superficie al enfocar un haz de electrones. Los electrones
interactan con los tomos de la muestra, generando varias seales que
contienen informacin acerca de la composicin y topografa superficial de la
muestra. Este tipo de microscopio puede lograr una resolucin mejor que 1
nanmetro. Los especmenes pueden ser observados en alto vaco utilizando un
SEM convencional, as como tambin en un amplio rango de temperaturas con
instrumentos especializados.
El modo ms comn de un SEM es la deteccin de electrones secundarios
emitidos por los tomos excitados por el haz de electrones. El nmero de
electrones secundarios que pueden ser detectados vara, entre otras cosas, de la
topografa de la muestra a examinar.
Como se sabe, la utilidad del microscopio ptico se ve limitada cuando queremos
observar detalles de tamao inferior al rango de longitudes de onda que abarca la
luz visible en el espectro electromagntico. Es entonces cuando entra en juego el
microscopio electrnico, cuya fabulosa capacidad de resolucin es debida a que
utiliza como fuente de luz una emisin lineal de electrones. Los electrones
acelerados, como toda carga elctrica en movimiento, producen una radiacin
electromagntica cuya longitud de onda es proporcionalmente inversa a la
velocidad, resultando varios rdenes de magnitud inferior a la luz visible.
El microscopio electrnico de barrido proporciona imgenes y datos fisicoqumicos
de la superficie de cuerpos generalmente opacos a los electrones, por medio de
un delgado haz de electrones que recorre dicha superficie y de detectores que
transducen las seales que de ella emanan, transformndolas en corrientes
elctricas que se emplean en formar una imagen en un monitor de televisin.
Imagen de clulas sanguneas Imagen de granos de polen tomada por
tomada por un MEB. un MEB.
Antecedentes
La posibilidad de observar muestras ntegras y en sus tres dimensiones mediante
la microscopa electrnica, fue hecha realidad con la aparicin del microscopio
electrnico de barrido, en el ao 1965. Sin embargo, los conceptos bsicos para
este tipo de microscopa fueron propuestos alrededor de 1935, unos aos despus
de que Ruska y Knoll lo hicieran para el microscopio electrnico de transmisin
(MET). Mientras que en el desarrollo de este ltimo se hicieron grandes y rpidos
progresos hasta el punto de que en 1939 Siemens y Halske comercializaron el
primer MET, la microscopa de barrido tendra que esperar mucho ms tiempo
para ver mejorado su funcionamiento.
En medio de un ambiente de investigacin y
desarrollo, Manfred von Ardenne demostr en 1933
que se podan recoger electrones secundarios
emitidos por la superficie de una muestra
bombardeada por un haz de electrones acelerados
por una diferencia de potencial de 1200 volts.
Construy ese ao un aparato en que el haz
electrnico recorra la superficie de la muestra,
mientras los detectores de electrones emitidos por
dicha superficie suministraban a un tubo de rayos
catdicos una seal elctrica proporcional a la
intensidad de la emisin en cada instante. De esta
manera obtuvo e inaugur un mtodo que
posteriormente se convertira en la microscopia
electrnica de barrido.
El avance tal vez ms significativo, previo a la produccin industrial del SEM, fue
el perfeccionamiento de un detector eficiente de electrones secundarios realizado
por Everhart y Thornley en 1960, utilizando un centellador y una gua de luz. El
centellador es un dispositivo que emite un fotn de luz al recibir el impacto de un
electrn; parte de esta luz entra en un cilindro de acrlico de muy alto ndice de
refraccin (gua de luz), que conduce la luz sin mayores prdidas de seal
luminosa hasta un bulbo fotomultiplicador, que transduce la seal luminosa en una
seal elctrica y amplificada
Hacia 1965, la Cambridge Instrument Co. lanz el primer microscopio electrnico
de barrido con una resolucin de 20 nm y con un resonante xito comercial. As
mismo, en 1970, tuvo su aparicin el ctodo de emisin de campo, el cual produce
una emisin de electrones por medio de una punta metlica delegada que
aument la resolucin hasta 0.5 nm. Desde entonces hasta la fecha, este tipo de
microscopa ha avanzado rpidamente constituyndose en una tcnica
imprescindible en distintos tipos de estudio, tanto sobre material biolgico como en
el campo inorgnico.
Fundamento terico
Un microscopio electrnico usa electrones en lugar de fotones o luz visible para
formar imgenes de objetos diminutos. Los microscopios electrnicos permiten
alcanzar amplificaciones mayores antes que los mejores microscopios pticos,
debido a que la longitud de onda de los electrones es bastante menor que la de
los fotones "visibles". Con esto conseguimos hasta los 100 , resolucin muy
superior a cualquier instrumento ptico.

A diferencia de un microscopio ptico que utiliza fotones del espectro visible, la

imagen entregada por el SEM (por las siglas en ingles Scanning Electron
microscopy) se genera por la interaccin de un haz de electrones que "barre"
(escanea) un rea determinada sobre la superficie de la muestra. Para este tipo de
microscopio, el haz de electrones acelerados tiene energas desde unos cientos
de eV hasta unas decenas de keV (50 KeV), sobre una muestra gruesa, opaca a
los electrones.
La interaccin de los electrones incidentes con la muestra produce una serie de
radiaciones secundarias: electrones secundarios, electrones retrodispersados,
electrones transmitidos, radiacin X, electrones Auger, catodoluminiscencia y
energa absorbida (por la muestra). La utilizacin de una u otra nos permite
obtener distintas informaciones sobre la muestra.

De todas las formas de radiacin resultantes de la interaccin del haz incidente y

la muestra hay dos o incluso tres que podran considerarse realmente
fundamentales en el microscopio de barrido: los electrones secundarios,
los electrones retrodispersados y los rayos x.
 Electrones Secundarios: se considera un electrn secundario aquel que
emerge de la superficie de la muestra con una energa inferior a 50
eV(electronvoltios). Resultan de la emisin por parte de los tomos
constituyentes de la muestra (los ms cercanos a la superficie) debido a la
colisin con el haz incidente.
Electrones retrodispersados: son aquellos que emergen de la muestra con
una energa superior a 50 eV(electronvoltios). Son electrones del haz
incidente que han interacccionado (colisionado) con los tomos de la
muestra y han sido reflejados.
Rayos X: los electrones incidentes excitan los tomos de la muestra y
provocan la emisin de rayos X cuya longitud de onda (l) es caracterstica
de los elementos presentes en la muestra y cuya intensidad para una
determinada longitud de onda es proporcional a la concentracin relativa
del elemento a esa l.

El microscopio posee diversos sistemas que permiten observar las seales

elctricas procedentes de los detectores La seal emitida por los electrones y
radiacin resultantes del impacto se recoge mediante un detector y se amplifica
para cada posicin del barrido. El microscopio forma de imgenes en un monitor
de TV, fotografa, espectro de elementos, etc.
Se van a describir tres tipos de deteccin de las seales que son las de mayor
inters: electrones secundarios, retrodispersados y de rayos X:
Electrones secundarios: con esta seal obtenemos en un monitor una imagen de
la muestra, muy parecida a la visin del ojo humano debido a la gran profundidad
de foco de esta seal. El aumento de la imagen producido por el microscopio de
barrido resulta de la relacin entre las dimensiones de la imagen final y el rea de
la muestra que ha sido barrida. El poder de resolucin del microscopio es
determinado directamente por el rea mnima que la sonda es capaz de escanear.
El menor dimetro de la sonda con un nmero mnimo de electrones. Las
imgenes producidas tienen una apariencia tridimensional.
Electrones retrodispersados: La intensidad de la seal de retrodispersados,
para una energa dada del haz, depende del nmero atmico del material (a mayor
numero atmico mayor intensidad) Este hecho permite distinguir fases de un
material de diferente composicin qumica. Las zonas con menor Z se vern ms
oscuras que las zonas que tienen mayor nmero atmico. Esta es la aplicacin
principal de la seal de retrodispersados.

Como se observa en las micrografas anteriores (aleacin Plata/Cobre-Niquel) En

la imagen de secundarios no se aprecian con claridad las fases de la aleacin,
mientras que en la imagen de retrodispersados vemos con claridad estas fases.
Un anlisis de rayos X puntual de cada fase mostrara que las zonas claras estn
compuestas por Plata y las oscuras por una aleacin Cobre-Niquel.
Microanlisis de Rayos X por Dispersin de Energas: La resolucin espacial
de los electrones secundarios es mucho mejor que la de los RX. Como resultado
de esto, una caracterstica de la muestra lo suficientemente grande para ser
observada con la seal de secundarios puede no ser suficientemente grande
como para contener todo el volumen de interaccin del que emanan los RX. Con
frecuencia, el haz de electrones al penetrar en la muestra causa la emisin de RX
desde regiones de la superficie o de regiones cercanas, que tienen diferente
composicin que las del punto de incidencia del haz. La adquisicin de un
espectro de RX consiste en recoger durante un determinado tiempo, los fotones
de RX que proceden de la muestra, clasificndolos segn su energa. Como
puede verse en la figura, un espectro de dispersin de energas se presenta
usualmente como un histograma en donde el eje horizontal son unidades de
energa, en Kiloelectronvoltios (KeV), en este caso de 0.00 a 10.240, y el eje
vertical nmero de cuentas o intensidad, en este caso 65536 cuentas la altura total
de la escala, que se va autoajustando a medida que crece el nmero de cuentas
de la energa del pico ms alto. Una vez adquirido el espectro, con la ayuda de
patrones o sin ellos y mediante el software adecuado se puede realizar de forma
automtica el anlisis cualitativo, es decir, la identificacin de picos y el anlisis
cuantitativo o clculo de la concentracin de los diferentes elementos.
La preparacin de muestras es, en general, sencilla. Los requisitos indispensables
que deben cumplir son ausencia de lquidos, es decir, la muestra tiene que estar
seca y adems debe ser conductora de la corriente elctrica. Este ltimo requisito
se cumple en los metales, pero no as en otro tipo de materiales, por lo que para
hacer a la muestra conductora se la recubre de una capa de algn material
conductor tal como el carbn o el oro. Este recubrimiento ha de ser
suficientemente grueso como para que circule la corriente elctrica que se
deposita en la muestra y suficientemente delgado para que no enmascare o tape
las caractersticas superficiales de inters.
Recubrimiento con Oro: Se realiza cuando el anlisis de la muestra no
incluir la obtencin de un espectro de RX.

El grfico muestra esquemticamente lo que se conoce como "sputtering".

Consiste en una fuente de alimentacin en corriente continua regulable de 1
a 3 KV conectada por una parte a una tarjeta de oro u oro-paladio y por otra
parte al portamuestras. El conjunto va acoplado a una bomba de vaco. La
introduccin de un gas tal como el argn en la campana de vaco provoca
que los tomos de argn impacten en la tarjeta de oro y se desprendan
tomos de dicha tarjeta que son atrados hacia la muestra en la cual
quedan depositados proporcionando un espesor de recubrimiento que
depende del tiempo de exposicin.
 Recubrimiento con carbono: Uno de los tipos de metalizadores de carbono
se muestra esquemticamente en el grfico. Consiste en dos electrodos
conectados a una fuente de corriente alterna de bajo voltaje y alta
intensidad entre los que se intercala una barra de carbono terminada en
una punta afilada. Al pasar la corriente, la punta de la barra se va
evaporando, de forma que roca la muestra con una fina capa de carbono.
La punta va acoplada a un muelle que la mantiene en todo momento en
contacto con el otro electrodo. Todo el conjunto est encerrado en vaco
con el fin de facilitar la deposicin de la pelcula de carbono sobre la
muestra.

Partes principales de un SEM

El microscopio de barrido a describir en la imagen cuenta con un par de sistemas
de deteccin indicados, a sabiendas de que algunos equipos cuentan
adicionalmente con ms sistemas de deteccin siendo los principales los de las
seales descritas en el apartado del fundamento.
La parte principal de un microscopio electrnico de barrido es la denominada
columna de electrones (especificada en la imagen anterior) la cual lleva alojados
en su interior los siguientes elementos:
Un can de electrones con un filamento que acta como emisor o fuente
de iluminacin, por analoga con un sistema ptico.
Un sistema de lentes electromagnticas encargado de focalizar y reducir a
un dimetro muy pequeo el haz de electrones producido por el filamento.
Un sistema de barrido que hace recorrer el haz de electrones ya focalizado
por la superficie de la muestra.
Uno o varios sistemas de deteccin que permiten captar el resultado de la
interaccin del haz de electrones con la muestra y transformarlo en una
seal elctrica.
Una salida conectada a una o varias bombas que producen el vaco
necesario para que el conjunto funcione adecuadamente.

Componentes adicionales a mencionar:

La cmara portaespcimen: est situada en la base de la columna del
microscopio y en lnea con el haz electrnico. La pieza o platina que sostiene el
espcimen permiten varios movimientos:
a) desplazamiento en coordenadas rectangulares en un plano a lo largo de la
superficie observada de la muestra.
b) Movimiento de rotacin sobre el propio plano de la muestra.
Esto permite inclinar el espcimen, tomando como eje cualquier punto que se que
se est observando. Tambin es posible inclinar el espcimen sin necesidad de
variar el enfoque, lo que es indispensable si se desea tomar un par estereoscpico
de fotografas.
Existen diferentes tipos de portamuestras, segn el tamao del espcimen a
observar. Es preferible usar un portamuestra ms pequeo con una distancia de
trabajo menor, y obtener as mayor resolucin. Dispositivos anexos permiten
calentar la muestra por medios elctricos, o bien enfriarla por medio del sistema
de dedo fro. Es posible tambin tensarla o comprimirla mecnicamente.
Sistema de refrigeracin: Es un sistema que permite enfriar tanto las bombas
difusoras (que generan considerable cantidad de calor), como las propias lentes,
que tambin se calientan cuando pasa a travs de ellas una corriente elctrica.
Esto se consigue haciendo circular a su alrededor agua tratada, filtrada y
refrigerada. Deber existir una unidad de refrigeracin con bombas de agua que
permitan el movimiento de sta a travs del sistema.
Las lentes de caractersticas ms crticas disponen de un serpentn interior, por el
cual circula una corriente de agua, que estabiliza su temperatura. De esta forma
se evitan pequeas pero importantes dilataciones de sus elementos.
Sistema de vaco: Si se desea obtener un haz uniforme de electrones, es
necesario mantener la columna del microscopio a un alto vaco. Se denomina
sistema de vaco al conjunto de dispositivos y procedimientos que se utilizan para
este fin. La columna debe mantener un alto vaco, bsicamente por cuatro
razones:

1. Para permitir el desplazamiento de electrones.

2. Para evitar descargas de alta tensin en el can electrnico.
3. Para evitar contaminacin del espcimen y de las aberturas.
4. Para incrementar la vida til del filamento.
Se ha comprobado experimentalmente que una presin de gas del orden de 10 -4
mm de mercurio es suficiente para que la dispersin electrnica sea mnima, la
duracin del filamento aceptable y no se produzcan descargas. El vaco de la
columna se obtiene con diversos tipos de bombas: bomba mecnica o rotatoria,
bombas de difusin de aceite o de mercurio, bombas termoinicas,
turbomoleculares, etc. Es difcil crear un alto vaco en una sola etapa. Por lo tanto,
se utiliza un sistema donde se emplean diferentes tipos de bombas, en serie.
Sistema de proyeccin o visualizacin de las imgenes: Las imgenes se
proyectan en dos tubos de rayos catdicos de alta resolucin, que funcionan en
sincronizacin con el barrido electrnico de la muestra. Uno de ellos, para
observacin visual, tiene una pantalla de gran persistencia. La pantalla del
segundo tubo es azul, para registro fotogrfico y de baja persistencia. Adosada a
esta segunda pantalla va la cmara fotogrfica. Aqu se utiliza un barrido ms
lento. Cuando mayor sea el nmero de lneas en la pantalla fotogrfica, mayor
ser la resolucin de la imagen final.
Al modular la intensidad del tubo de rayos catdicos con la seal elctrica dada
por los detectores, se obtiene en la pantalla una especie de imagen de la muestra.
Es decir, en la pantalla se describe la variacin de un tipo dado de emisin
producida por la superficie de la muestra barrida por efecto del haz primario.

Aplicaciones
La microscopa de barrido tiene en la actualidad diversas aplicaciones que
resultan de gran inters principalmente en el campo biolgico, as como en el de
los materiales. La primera aplicacin en importancia consiste en la posibilidad de
hacer anlisis cuantitativos de los componentes de la muestra, lo que se realiza
mediante el anlisis de los rayos X emitidos por la muestra tras su irradiacin con
el haz electrnico. Una segunda aplicacin en el campo biolgico es el anlisis
inmunocitoqumico de los componentes de la superficie de una muestra.
Por otro lado, en el campo de los materiales es comn hacer uso de esta tcnica
al congelar la muestra, fracturarla mecnicamente y, tras los procesos de
preparacin habituales, examinar el interior de las clulas. Esta tcnica, aunque
difcil, permite el examen tridimensional de los componentes intracelulares.
El campo de aplicacin de la microscopia electrnica de barrido se ha ido
extendiendo. A continuacin, se detallan de forma general algunas aplicaciones
del microscopio electrnico de barrido segn el campo de estudio:
Geologa: Investigaciones geomineras, cristalogrficas, mineralgicas y
petrolgicas. Estudio morfolgico y estructural de las muestras.
Estudio de materiales: Caracterizacin microestructural de materiales.
Identificacin, anlisis de fases cristalinas y transiciones de fases en
diversos materiales tales como metales, cermicos, materiales compuestos,
semiconductores, polmeros y minerales. Composicin de superficies y
tamao de grano. Valoracin del deterioro de materiales, determinacin del
grado de cristalinidad y presencia de defectos. Identificacin del tipo de
degradacin: fatiga, corrosin, fragilizacin, etc.
Metalurgia: Control de calidad y estudio de fatiga de materiales,
caractersticas texturales. Anlisis de fractura (fractomecnica) en
materiales, un ejemplo concreto de este tipo de aplicacin se expone en la
parte de trabajo prctico.
Odontologa: En este campo son muchas las aplicaciones de las
caracterizaciones morfolgicas que se pueden realizar con el microscopio
electrnico de barrido.
Paleontologa y Arqueologa: Caracterizacin de aspectos morfolgicos.
Control de Calidad: En este campo, el microscopio electrnico de barrido es
de gran utilidad para el seguimiento morfolgico de procesos y su
aplicacin en el control de calidad de productos de uso y consumo.
Peritajes: Estudios de muestras de cualquiera de las reas antes
mencionadas.
Medicina Forense: Anlisis morfolgico de pruebas.
Botnica, Biomedicina y Medicina: Estudio morfolgico.
Estudio qumico y estructural de obras de arte, alteracin de monumentos,
control de calidad, identificacin de pigmentos.
Peritaciones Caligrficas: Estudio de trazos.
Electrnica: Control y calidad de partes electrnicas.
Ventajas y desventajas
Este tema puede ser analizado desde dos puntos de vista, uno de ellos son las
ventajas y desventajas generales que presenta utilizar esta tcnica y el otro son
las diferencias que tiene este equipo en comparacin con el microscopio
electrnico de transmisin, dada la similitud que existe entre el funcionamiento de
ambos.
Ventajas Desventajas
Excelente resolucin. Es una tcnica costosa.
Detalles ms profundos. Se requiere de personal especializado.
Permite conocer a fondo la estructura Destruccin de las muestras.
morfolgica de las muestras.
Es un mtodo utilizado en mltiples
disciplinas.

SEM
Haz electrnico mvil.
Muestras ntegras.
Imagen tridimensional.
Electrones secundarios.
Aumentos hasta 140,000.
TEM
Haz electrnico esttico.
Necesidad de secciones ultrafinas.
Imagen en dos dimensiones.
Electrones transmitidos.
Aumentos hasta 500,000.

Bibliografa y referencias
Vzquez, G. & Echeverra, O. (2000). Introduccin a la microscopia
electrnica aplicada a las ciencias biolgicas. Mxico: Fondo de Cultura
Econmica.
De Lozano, V., Yaez, M. & Morales, A. (2014). Principios y prctica de la
microscopa electrnica. Argentina: Editorial independiente.
Poblete, V. & Pilleux, M. (2001|). Microscopia electrnica de barrido. Abril,
2017, de Universidad de Chile. Sitio web:
www.cec.uchile.cl/~mpilleux/id42a/Trabajos/15SEM/15SEM.doc
Annimo. (2010). Microscopio Electrnico de Barrido (SEM). Abril, 2017, de
Instituto Tecnolgico y de Estudios Superiores de Monterrey. Sitio web:
http://www.mty.itesm.mx/dia/deptos/im/m00-862/Lecturas/SEM_ICP.pdf
Annimo. (2007). Microscopia electrnica. Abril, 2017, de UNED. Sitio web:
http://www2.uned.es/cristamine/mineral/metodos/sem.htm
Renau-Piqueras, J. & Faura, M. (2011). Principios bsicos del Microscopio
Electrnico de Barrido. Abril, 2017, de Centro de investigacin del Hospital
"La Fe" de Valencia. Sitio web:
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