Actividad No.

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Ingeniera en Nanotecnologa
Grupo: MAF1106G2
Nombre: ____________________________________________
Fecha de entrega: 13 de Octubre de 2015
Profesor Dr. Edgar Briones Hernndez

No. Expediente____________

Preguntas de nano fabricacin

1. Existe una gran variedad de tcnicas para fabricar nano-objetos. Todas stas tcnicas se pueden
agrupar en dos grandes grupos. Cules son esos dos grupos y cules son sus caractersticas?
2. Qu es la litografa electrnica y para que se usa?
3. Cules son las etapas de la litografa electrnica y diga cules son los equipos y/o qumicos que
se usa en cada una de las etapas?
4. Qu es la lift-off?
5.

a) Qu es un equipo de plasma RF y para qu sirve?

b) Existe una alternativa o mtodo que realice las mismas tareas de un equipo de plasma
RF?, Cules son las ventajas y desventajas?

6. Qu es la litografa por iones focalizados, en que consiste y para que se usa?

7. Cules son las diferencias entre la litografa electrnica y la litografa por iones focalizados?,
8.

a) Cul es la resolucin mxima de cada una de las tcnicas?

b) Si usted quisiera grabar un patrn de nano-alambres sobre la superficie de una oblea de
silicio, los cuales tienen una profundidad de 50nm, una anchura de 7 nm y una separacin
de 7 nm, que tipo de litografa usara y porque? Por iones focalizados o por litografa
electrnica sea porque?

9. Si Usted usara la litografa electrnica para escribir la letra A sobre una oblea de Silicio (Si), cual
es el tamao ms pequeo al que podra escribirla? Que espacio de la oblea debe utilizar si quiere
escribir todo el abecedario?
10. Cul es su libro favorito y porque le gusta tanto? Sabe cuntas palabras tiene? Sabe cunto
es el espacio mnimo que se requiere para transcribirlo sobre una oblea de Silicio (Si) usando
litografa electrnica? Realice una estimacin para responder las preguntas.

11. Cul es la cantidad de partculas contenidas en un metro cbico de aire a temperatura

ambiente?
12. Cul es la definicin de vaco, cules son las unidades en que se mide y que tipo de equipo
permita realizarlo de manera eficaz?
13. Qu se considera como Ultra-High-Vacuum? Exprese la respuesta en Torricellis (Torr).
14. Por qu los equipos de litografa por iones focalizados, litografa por haz de electrones y
microscopias SEM y TEM requieren de ultra-altos vacos para funcionar? sea si no es as que
pasara?
15. Sol-gel es una tcnica de sntesis qumica para elaborar nano partculas. Se pueden elaborar
nano-partculas de todo tipo de materiales con sta tcnica? Cules son las partculas ms comunes
fabricadas con sta tcnica?.
16. Cite otro ejemplo de sntesis qumica, que no sea el mtodo sol-gel, con el cual se puedan
elaborar nano-partculas.
17. Es cierto que con la sntesis qumica solo se pueden elaborar nanopartculas de forma esfrica?
18. Qu es la epitaxia por haces moleculares y para qu sirve?, Qu tipo de materiales se pueden
depositar con sta tcnica?
19. Qu es una celda knudsen y para qu sirve? Y sobre todo quin es knudsen ?, dnde
naci?, Qu haca?
20. Cmo se define el tamao de un tomo? Investigue cuanto mide un tomo de Indio (In) y un
tomo de Galio (Ga).