22/11/2007

TECHNIQUES DU VIDE

COURS POUR LE MASTER IOL

THEME TECHNIQUE DU VIDE
Date : Lundi 19 Novembre 2007
E.GRASSI

Service Essais
L.A.M

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TECHNIQUES DU VIDE

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PLAN
1. HISTORIQUE....................................................................................................................... 3
2. INTRODUCTION................................................................................................................. 5
3. GENERALITES.................................................................................................................... 6
4. CINETIQUE DES GAZ........................................................................................................ 8
4.1 Loi davogadro : ................................................................................................................. 8
4.2 Loi de Mariotte :................................................................................................................. 8
4.3 Loi de Gay Lussac formules des gaz parfaits :................................................................... 8
4.4 Notion de vitesse : ............................................................................................................... 9
4.4.1 Distribution de vitesse des molcules: .............................................................................. 9
4.4.2 Vitesse la plus probable: ................................................................................................. 11
4.4.3 Vitesse moyenne arithmtique: ....................................................................................... 12
4.4.4 Vitesse quadratique moyenne ou efficace:...................................................................... 12
4.4.5 Energie cintique des molcules (E): .............................................................................. 12
4.5 LIBRE PARCOURS MOYEN () :.................................................................................. 13
4.5.1 Les coulements : ............................................................................................................ 14
4.5.2 Les rgimes dcoulement :............................................................................................. 14
5. GRANDEURS CARACTERISTIQUES DES CIRCUITS DE VIDE................................ 15
5.1 Analogie Electrique :.......................................................................................................... 15
5.1.1 Analogie entre pression et le potentiel : .......................................................................... 15
5.1.2 Diverses dfinitions du dbit gazeux : ............................................................................ 16
5.1.3 Analogie entre le flux gazeux et lintensit:.................................................................... 16
5.1.4 Notion dimpdance: ....................................................................................................... 17
5.1.5 Notion de conductance:................................................................................................... 17
5.2 Dfinition de la vitesse de Pompage : ................................................................................ 19
5.3 Vitesse de Pompage dun couplage Pompe-Canalisation : ................................................ 19
5.3.1 Formules pratiques pour le calcul des conductances: ..................................................... 20
6. POMPAGE DANS UNE ENCEINTE A VIDE.................................................................. 23
6.1 Synoptique de diffrentes pompes vide :......................................................................... 24
6.2 Caractristique des Pompes vide : ................................................................................... 25
6.3 Pompage dune enceinte : .................................................................................................. 25
6.4 Les moyens de pompage: ................................................................................................... 25
6.4.1 La pompe palette: ......................................................................................................... 26
6.4.2 Les pompes sches: ......................................................................................................... 27
6.4.3 Les pompes membrane :............................................................................................... 27
6.4.4 Les pompes Roots: .......................................................................................................... 27
6.4.5 Les pompe turbomolculaires: ........................................................................................ 28
6.4.6 Les pompes diffusion: .................................................................................................. 30
6.4.7 Les pompe fixation:...................................................................................................... 31
6.4.8 Pompage Cryognique: ................................................................................................... 31
7. MESURE DU VIDE ........................................................................................................... 36
7.1 Les principaux manomtre dans le cadre du service Essais:.............................................. 36
7.1.1 Manomtre mcanique : .................................................................................................. 37
7.1.2 Manomtre Thermique :.................................................................................................. 38
7.1.3 Manomtre dcharge : .................................................................................................. 39
7.1.4 Manomtre Ionique : ....................................................................................................... 41
8. DETECTION DE FUITE.................................................................................................... 42
8.2 Remonte de pression de lenceinte : ................................................................................ 43
8.3 Dtection de fuite : ............................................................................................................ 43

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1.

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HISTORIQUE

Le Vide
Pour les grecs le vide Vacui est un sujet qui a intress les philosophes anciens.
Les uns avec Democrite 460-370 avant JC disaient que tout tait form datomes et de vide.
Les autres, linstar dAristote 384-322 avant JC, considraient que la nature avait l horror
vacui , lhorreur du vide.
Le Moyen-Age suit cette ligne de conduite en sappuyant sur des observations empiriques.
Leau pompe monte dans les tuyaux, le liquide remplissant une bouteille renverse ne tombe
pas. Ainsi les sicles scoulent et les gens qui taient peu curieux se satisfaisaient des
explications de lpoque.
En 1640 un vnement, allait perturber cette tranquillit desprit. Des fontainiers de
Florence constatent que leau refuse de monter au dessus de 32 pieds (un peu plus de 10m) .
Gallil est interrog, vif desprit malgr son age, il pense que cest la dmonstration que la
maxime de lhorror vaccui est une hrsie, et avec son lve Torricelli, ils avancent lide
dquilibre par la pression de lair . Des essais dmontreront que cette pression tiendra en
quilibre la colonne dun liquide, qui sera dautant moins haute que ce liquide sera plus dense
que leau.
Mais lexprience qui va vraiment faire natre la physique du vide, est lexprience de
Gasparo Berti, ingnieur fontainier du jardin des papes. Aprs des discutions avec Galile, il
va raliser un montage en assemblant des tuyaux de plomb, de joints dtanchit en ficelle
mouille et un ballon de verre muni de robinet. La hauteur totale mesure 10m.
Au dbut de lexprience les tubes sont remplis deau. Ds que lon met leau des tubes en
communication avec le baquet en ouvrant les 2 robinets, le niveau deau descend vers 10 m, et
si les hauteurs des tuyaux sont correctement bien choisies, en fermant le robinet du haut, le
ballon de verre reste sous vide. De cette exprience on dduisit que :

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La lumire traverse le vide,

Le son nest pas transmis dans le vide,
Leau sous vide se met en bullition.

Par la suite Pascal en 1648, observa les variations de la pression atmosphrique avec le
temps et laltitude, grce un tube remplie de mercure, quil contrla durant la descente du
puy de Dme.
En 1672 une autre tape importante est constitue par les recherches effectues par Otto Von
Guericke, alors maire de Magdebourg. Il construisit un grand nombre de pompes vide
pistons.
Aprs cette priode du 17iem sicle qui vu apparatre la physique du vide, il faudra attendre
la rvolution industrielle de la fin du 19iem sicle pour franchir un pas dcisif, avec Gaede et
Langmuir, que soit en Allemagne, ou au Etats-Unis, inventent :
- les pompes palettes en 1905
- la pompe molculaire en 1912
- la pompe vapeur de mercure en 1915
Paralllement, au moyen de la production du vide, se dvelopprent au cours des cent
dernires annes, les moyens de mesurer ce vide :
- 1874 Jauges compression
H.MacLeod
- 1906 Jauge conductibilit thermique W. Voege
- 1916 Jauge Ionisation
O.E.Buckey
- 1950 Jauge Ionisation pour ultra vide D.Alpert et RJ.Bayard
La sparation des atomes en fonction de leur masse dut attendre les spectrographes de masse
de Thomson en 1912, et surtout, Aston en 1919, bien quil ne sagissait lpoque que de
sparation magntique, ces appareils sont les anctres de nos analyseurs de gaz rsiduels
actuels.
La Technologie
Ce sont les expriences de Berti au 17iem sicle qui marquent la premire technologie dans ce
domaine du vide. Ses assemblages de tubes, de robinets, joints tanches, enceintes en verre,
sont les tmoins dune recherche sur les instruments et les procds.
Technologie vient du grec, Technologia, de Techn (mtier) et Logos (discours). On pourrait
en dduire que cest lenseignement du mtier. Le Larousse dfinit la Technologie comme
ltude des outils, des procds et des mthodes employs dans lindustrie.
La premire technologie du vide peut se diviser en trois priodes :
1. Le 17iem sicle- Technologie de recherche caractre individuel et artisanal,
2. Jusquau milieu du 20iem sicle- Technologie du vide industriel primaire et secondaire,
principalement dveloppe pour le pompage des lampes dclairage et de radio,
relaye ensuite par la recherche nuclaire,
3. Seconde partie du 20iem sicle- Technologie de lultra-vide. Sa naissance date de la
dcouverte de la Jauge Bayard Alpert. Cette technologie est caractrise par la
ncessit de raliser des enceintes et accessoires tuvables pour se dbarrasser de la
vapeur deau.
4

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2.

INTRODUCTION

Lappellation Technique du vide dsigne gnralement tout ce qui relve de la

mise en dpression des systmes.
Des catgories sparent les diffrents systmes ou niveaux de pression suivant des
critres arbitraires :
Vide primaire de la P.A (Pression Atmosphrique) 1mB
Vide moyen de 1mB 10-3mB
Vide Secondaire de 10-3mB 10-8 mB
Ultra-vide en dessous de 10-8 mB
Unit
1 Pa(N.m-2)
1 mbar
1 bar
1 Torr

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Pa
1
100
1.10+5
133

mbar
1.10-2
1
1.10+3
1.33

bar
1.10-5
1.10-3
1
1.33.10-3

Torr
7.510-3
0.75
750
1

Lultra-vide est principalement dfini par sa technologie lie la ncessit de chauffer

les enceintes pour se dbarrasser de la vapeur deau.

* Dans le vide, les lois de la physico-chimie interviennent souvent dans les ractions entre
gaz et matriaux, soit sous laspect gaz-surface soit sous laspect gaz-volume.
Par exemple, le volume dune enceinte peut tre pomp sans problme si les pompes sont
choisies correctement, mais la surface de lenveloppe peut reprsenter une source de gaz
quasiment inpuisable. En partant dun matriau pression de vapeur leve, non
seulement le vide sera difficile obtenir, mais les caractristiques mmes du matriau
vont se dtruire.

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3.

GENERALITES
Notre objectif dans le cadre des Essais sous vide qui se droulent au Laboratoire
dAstrophysique de Marseille, est de recrer lenvironnement de vol des instruments spatiaux.
Ces essais permettent de qualifier et valider le comportement de ces instruments avant leur
lancement.
En gnral, les systmes vide sont raliss pour des buts bien dtermins qui conditionnent
leurs technologies.
Nous allons souvent nous retrouver en prsence de deux cas :

Un appareillage dj existant, et quil est ncessaire dentretenir et damliorer.

Un ensemble construire, bas sur la technique du vide, mais utilisant des
techniques annexes :
* Mcanique - Construction, alignement, dplacement et vibrations
* Vide - Pompage, injections de gaz, matriaux divers
* Thermique - Etuvage, refroidissement dcran et dinterfaces
* Optique - Hublots, schma de montage et alignement
* Magntique - Champs
* Electroniques Dgazage

Lorsque lon dsire raliser un ensemble, le premier objectif consiste dfinir lobjet. Il faut
crire un cahier des Charges (STB : Spcifications techniques des besoins), qui rassemble les
objectifs dsirs. Il constitue le document de travail, base de rfrence pour les techniciens.
En fonction des buts atteindre pour les techniciens du vide, deux paramtres sont
prdominants :
Le volume utile, il dfinit la taille de lenceinte,
La pression de travail : cest elle qui justifie lassemblage et le type de pompage.
Or ces deux paramtres sont lis. La taille de lenceinte en rgime statique est lorigine du
flux de gaz Q, et la pression est inversement proportionnel au dbit de pompe S.
De plus Q est la somme de sources diverses qui sont plus ou moins importantes suivant la
technologie de linstallation.
Dans un systme statiques, Qa est le dgazage surfacique est proportionnel A, surface de
lenceinte. Si on connat la valeur du taux de dgazage spcifique Qa, et la pente de
dcroissance en fonction du temps, le calcul est simple.
Lorsque le systme devient plus complexe, avec de nombreux composants, internes
lenceinte, lvaluation des surfaces respectives de ces diffrents matriaux, donnera un Qa
trs faible et peu reprsentatif de ces lments prsents dans lenceinte.
Qf est le flux d aux fuites. Celles ci relles, mmes trs faibles ne doit pas tre ngliges.
En outre, il faut tenir compte du fait que lenceinte est construite pour servir, et que son
utilisation va introduire un flux dynamique Qd qui est en gnral plus important que Qa.
Le flux Qt (Dbit en volume une pression de rfrence) est donc la rsultante de ces sources
diverses soit :
Qt = Qa+ Qf + Qd
Ce flux Qt doit tre considr non seulement en quantit mais galement en qualit avec
lanalyse des gaz absorbs.

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Le flux de gaz Qa dans une installation propre non tuve est compos principalement de
(H2O H2 CO CO2). Aprs tuvage H2O disparatra. Avec une fuite sur la pression
atmosphrique le spectre indiquera (N2 O2 Ar) plus quelques autres gaz Qa.
Linjection de gaz Qd montrera le gaz inject qui devra tre prpondrant par rapport aux
autres de Qa et Qf runis.
Cette notion de gaz rsiduels intervient galement sur la pression, quil faut mesurer en
pression partielle, mais galement sur le dbit S des pompes. Car dans la plupart des cas, le
dbit est li la masse des molcules pompes ou leur affinit chimique.
Do lexpression :
P = Q/S

avec Q = flux de gaz en mb*l/s

S = dbit de pompe l/s

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4.

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CINETIQUE DES GAZ

4.1 Loi davogadro :

M = 29*d ( 0C et 1000mB)
M masse de la molcule gramme, d densit par rapport lair. On peut dire que des volumes
gaux de diffrents gaz, dans les mmes conditions de temprature et de pression contiennent
le mme nombre de molcules. Dans les conditions normales de tempratures et de pression
(0C, 1000mB) une molcule gramme dun gaz quelconque occupe 22.4 l.
4.2 Loi de Mariotte :
A temprature constante (transformation isotherme) le produit de la pression P par le volume
V dune masse de gaz donne est constante :
P*V = Cte
4.3 Loi de Gay Lussac formules des gaz parfaits :
Au cours dune transformation volume constant dune masse donne de gaz, la pression
volue suivant la loi :
P2 = P1 T2
T1
Ltat final est repr par les indices 2 et ltat initial par les indices 1. T1 et T2 sont les
tempratures absolues (en degr Kelvin).
De mme une transformation pression constante suit la loi :
V2 = V1 T2
T1
On a pour un tat quelconque (et pour molcule-gramme) la relation :
P*V = R*T (avec R constante des gaz parfaits)
Donc R = P*V
T

Exemple :

P = 1000mB
T = 273K
V = 22.4 l = 22400 cm3

do R = 1000* 22400
273
+3
R = 82*10 mB cm3 /K

R = 82*10+3 mB cm3 / K
Plus gnralement pour n molcules-grammes de gaz on a :
P*V = n*R*T
Si on appelle N le nombre dAvogadro et N le nombre de molcules vraies on a alors :
P*V = n* N * R * T (avec N = 6.02*10 + 23)
N

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P*V = N*k*T
(o k est la constante de Boltzman)
k = 82*10+3
k = R = 13.6*10 -20 mB cm3 /K
+ 23
6.02*10
N
-20
3
donc k = 13.6*10 mB cm /K ou alors k = 13.6*10 -23 mB l /K
On peut voir que la pression ne dpend pas de la nature du gaz :
En prenant
P = n*k*T (avec n concentration molculaire, cest le nombre de particules par
unit de volume 1/cm3)
Exemple : Air la pression atmosphrique et 0C
n particules = 2.68*10 19 cm-3
Air la pression atmosphrique et+20C n particules = 2.5*10 19 cm-3
Vide 10-6m et +20C
n particules env 3*10 10 cm-3
Espace interplantaire
n particules = 3 cm-3
Pour comparaison eau normale
n particules = 3.35*10 22 cm-3
4.4 Notion de vitesse :
On peut tudier les proprits des gaz en suivant le comportement intime des molcules
constituant ce gaz. On considre alors le gaz comme constitu dun grand nombre de
particules (les molcules vraies) de dimensions trs faibles, animes de mouvements rapides,
incessants et dsordonns.
Les hypothses ci-dessous qui ont servi ltablissement de la thorie cintique des gaz ont
t depuis longtemps confirmes par lexprience.
Nous admettons ce qui suit :
Un gaz est form de molcules distinctes, animes dun mouvement incessant et
dsordonn.
Les molcules nont daction rciproque quau moment de leur chocs : ceci suppose
que les trajectoires des molcules soient des lignes brises.
La chaleur nest considre ici comme une forme dnergie distincte de lnergie
mcanique. En effet, la chaleur nest pas autre chose que lnergie cintique des
molcules en mouvement. Plus on chauffe un gaz, plus lagitation thermique (la
vitesse) des ses molcules augmente (do dilatation).
Du fait de leurs chocs continuels, les vitesses des molcules sont sans cesse modifies.
Toutefois, tant donn que ces molcules sont en grand nombre, mme aux basses
pressions (dans 1 cm3 dair 10-12mB il reste encore 2.7*104 molcules) on peut
appliquer la loi des grands nombres.
Le gaz est isotrope, c'est--dire quil na aucune direction privilgie.

4.4.1 Distribution de vitesse des molcules:

A un instant donn, supposons quon puisse compter le nombre de molcules dont les
vitesses soient comprises entre 0 et 10m/s, et 100 et 200m/s, etcSoit n1, n2, n3, les
valeurs trouves et appelons c lintervalle de vitesse considre, c'est--dire
c = 100m/s.
On peut construire une courbe en mettant en abscisse les vitesses et en ordonnes le
rapport n/c. On obtient ainsi une courbe en escalier.

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Le nombre de molcules ayant la mme vitesse entre deux valeurs, par exemple 600 et
700m/s est videmment proportionnel au laire hachure :
n x c
c
Si on veut avoir une reprsentation plus prcise on recommence le mme dcompte mais avec
un intervalle plus petit par exemple c = 50 m/s (Courbe B).
En rduisant de plus en plus lintervalle c on prcise de mieux en mieux la distribution et
la limite, lescalier devient une courbe continue dont lordonne est en fait la drive dn/dc.
Maxwell puis Boltzmann ont donn lquation de cette courbe de distribution :

Cette quation est de la forme :

f(x) = k x2 e-x2

10

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On a la forme gnrale de la courbe. Toutes les courbes partent de 0, passent par un maximum, puis sont
asymptotiques laxe des x (donc des vitesses). Lemplacement et la valeur du maximum dpendent de la
temprature. Quand la temprature augmente le maximum se dplace vers les v croissant, lagitation des
molcules devient plus intense.

4.4.2 Vitesse la plus probable:

Cest la vitesse qui correspond au maximum de la courbe dn/dc = f(c). Il suffit donc dannuler
la drive de cette expression pour avoir
Vp =

11

2kT
M

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Lnergie cintique correspondante est :

Ep = 1 m V2p = k T
2
4.4.3 Vitesse moyenne arithmtique:
Cest la vitesse obtenue en additionnant les vitesses dun grand nombre de molcules et en
divisant par le nombre de molcules.
4.4.4 Vitesse quadratique moyenne ou efficace:
Elle correspond lnergie cintique moyenne :

Emoy = 1 m c = 1 m c2dn = 3 k T
2
2
n 0
2

do la vitesse V
Vc =

3kT
m

4.4.5 Energie cintique des molcules (E):

Lnergie cintique dune molcule dote dune vitesse Cmoy :
Emoy = 3 k T
2
On voit que lnergie cintique dpend seulement de la temprature. A une mme
temprature, toutes les molcules de diffrentes masses ont la mme nergie.

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4.5 LIBRE PARCOURS MOYEN () :

Cest la distance moyenne parcourue par une molcule entre deux chocs successifs et
extrmement variable. On suppose les particules sphriques et lastiques. Posons le diamtre
de la molcule. Elle ne rencontrera une molcule que si leurs centres passent une distance
lun de lautre gal ou infrieur . Pour simplifier, nous supposons que la molcule
considre un diamtre 2 r et que les autres molcules sont de simples points. La sphre de
protection sera la sphre de diamtre 2 r ayant comme centre de la molcule considre.
Si u est la vitesse de la molcule, le volume balay par la sphre de protection en une seconde
sera
r2 u
Sil y a n molcules par unit de volume dans le volume balay, il y aura n r2 u centres
dautres molcules, ceci reprsente le nombre de chocs par secondes.
v = r2 u n
do nous pouvons tirer lexpression du libre parcours moyen

moy = u = 1
v r2 n
Ce calcul est fait en supposant que toutes les molcules autres que celles considres cidessus, soient immobiles. En ralit, les vitesses varient dune molcule lautre, constante
lgrement diffrente d a la vitesse relative.

moy = 1

2 r n
2

kT
2 r2 P

Avec k : constante de Boltzmann = 13.6*10 -20 mB cm3 /K

T : temprature absolue
P en Torr = (1.33* mB)
Pour lair la temprature ambiante : il est pratique dutiliser

air = 5.10-3
Avec : en cm

P*(1.33)

Parcours moyen de lair temprature ambiante

P en mB 100
10-1
10-3
10-6
10-9
0.04 mm 0.38mm 3.76 cm 37.59m 35.6Km

Pour de lair 10-3mB et 15C les libres parcours moyen en cm sont les suivantes :
Gaz H2
He H2O Ne N2 Air O2 Ar CO2 Hg
11.7 18.3 4.13 13.3 6.2 6.3 6.7 6.5 4.13 2.6

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4.5.1 Les coulements :

Lorsque la pression et la vitesse sont leves on observe des lignes dcoulement, qui tournent
et senroulent, les paramtres de pression et la vitesse oscillent avec une grande marge autour
dune valeur moyenne.
La quantit de gaz Q = P * V traversant la canalisation est approximativement
proportionnelle la racine carr du gradient de pression. Cest le rgime turbulent.
Quand la vitesse et la pression diminuent, les lignes ou couches dcoulement glissent les une
sur les autres avec une diminution graduelle de vitesse du centre vers les parois.

La quantit de gaz Q = P * V traversant la canalisation est proportionnelle au gradient de

pression.
Cet coulement dit visqueux ne se produit que si le libre parcours moyen est trs petit
compar au diamtre de la canalisation.
Si maintenant on diminue la pression pour que le libre parcours moyen devienne grand par
rapport au diamtre de la canalisation, on obtient un coulement molculaire, les molcules
nont pratiquement plus de chocs entre elle, seuls comptent les chocs sur les parois. Et il y a
pas de direction prfrentielle.
4.5.2 Les rgimes dcoulement :
Lorsque lon calcule une installation, il est souvent ncessaire de dfinir le cycle de pompage
et les rgimes de travail.
En technique du vide, le rgime turbulent et visqueux est donn par la formule de
REYNOLDS.
Re = D v

o D : est le diamtre de la canalisation

v : la vitesse du gaz
: la densit
: coefficient de viscosit pour lair 20C = 1.81* 10-4poise
On considre que si :
Re > 2200 = Turbulent
Re < 1200 = Visqueux
Entre 1200 et 2200 le type dcoulement dpend de nombreux facteurs extrieur et intrieurs
des canalisations.

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5.

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GRANDEURS CARACTERISTIQUES DES CIRCUITS DE VIDE

5.1 Analogie Electrique :

Une analogie trs pratique peut tre faite entre un ensemble sous vide, et un circuit lectrique.
Cette analogie permet de se faire une image plus intuitive des phnomnes. De plus certaines
lois simples en lectricit trouvent immdiatement leur correspondance sans quil soit
ncessaire de refaire une dmonstration dont le formalisme serait en tout point identique.
5.1.1 Analogie entre pression et le potentiel :
Considrons un circuit lectrique compos de forces lectromotrices, contre-lectromotrice, et
des rsistances. Lorsque le courant dquilibre est tabli, on a toujours les 2 proprits
suivantes :
Le courant, ou quantit dlectricit (lectrons en mouvement) nest ni cre ni dtruit.
Le potentiel varie le long du circuit dune manire continue et na quune valeur en
chaque point
On dfinit la rsistance dune portion de circuit comme la chute de potentiel lorsque cette
portion est traverse par lunit de quantit de courant durant lunit de temps.
R=V =V
Q /t
I
On constate exprimentalement que cette rsistance est gnralement indpendante du courant
(loi dOhm).
Ceci nest pas toujours vrai et rien ne soppose ce quon utilise la notion de rsistance
variable avec le courant qui la traverse. A partir de loi dOhm, on aboutit aux lois de
Kirchhoff et aux rgles de combinaison des rsistances en srie ou parallle.
Considrons maintenant un ensemble sous vide constitu par une pompe, une canalisation et
une enceinte. Supposons quil y ait une petite fuite sur la paroi de lenceinte. Lair extrieur
pntre dans lenceinte, traverse la canalisation, puis est rejet dans latmosphre par la
pompe.

Enceinte sous vide

Pompe

Robinet
fuyant

Canalisation

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5.1.2 Diverses dfinitions du dbit gazeux :

Dm, Dbit massique = masse de gaz qui traverse une section par unit de temps
N, nombre de molcules vraies traversant une section par unit de temps.
V, Dbit volume = volume de gaz traversant une section par unit de temps, ce
volume tant mesur la pression qui rgne au niveau de la section.
Q, Dbit en volume ramen une pression de rfrence (pression atmosphrique ou
pression unit suivant les cas)

Supposons que le systme de la figure ci-dessus, soit en quilibre (c'est--dire quil ny a pas
volution des pressions dans le temps) et la temprature uniforme. Il ne peut y avoir ni
accumulation de gaz en un point, ni appauvrissement (la pression varierait). Dans ces
conditions, les dbits Dm, N et Q ont chacun une valeur indpendante de la section
considre. Par contre V dpend de la pression donc de la section.
La dfinition qui sexploite par la suite le plus facilement dans les calculs du vide est celle du
dbit en volume ramen la pression unit.
On reprsente donc la quantit de courant gazeux ou flux gazeux par le produit
Q = P V
O P est la pression dans une section du circuit et V le volume de gaz mesur la pression P
qui traverse par unit de temps cette mme section. Cest bien un dbit en volume multipli
par le rapport P / 1, donc ramen la pression utilis.
Do

Dm = Q = P V

Avec masse spcifique du gaz la pression unit, et la temprature de lexprience.

Dautre part, daprs les quations dtat, on a :
PV = k N T
Donc
Q = k N T
Sachant que les principale units de Q utilise sont
Le (torr * litre * s-1) ou le (mB * litre * s-1)
Dbit de 1 litre par seconde dun gaz ramen une pression de 1 torr
5.1.3 Analogie entre le flux gazeux et lintensit:
Q est lanalogue de lintensit de courant, il est le mme en tout point du circuit, de mme
dans un circuit lectrique. Le flux gazeux reste le mme pour toutes sections dun circuit
vide. Comme lintensit est proportionnel au nombre dlectron, Q est proportionnel au
nombre de molcules qui franchises une section quelconque par unit de temps.
De mme pour la pression on fait correspondre la diffrence de potentiel.
Les autres grandeurs apparaissent en technique du vide comme des grandeurs drives.

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Enceinte sous vide

P1
Robinet
fuyant

P2Pompe

Canalisation

Z = P1 P2
Q

R
I

=
V1

V2

R = V1 V2
I

5.1.4 Notion dimpdance:

On dfinit ainsi une grandeur qui se prte particulirement bien caractriser le freinage
des gaz dans une canalisation. On pose arbitrairement que limpdance (ou rsistance) dune
canalisation est le rapport de la chute de pression (diffrence de potentiel) au flux gazeux
(intensit) traversant cette canalisation :
-1

Z(s l )

Z = P1 P2
Q

Avec P1 pression extrmit amont et P2 pression extrmit aval.

On verra que Z est fonction de Q et de P ou peut tre une constante ne dpendant que de la
configuration gomtrique du circuit et de la nature du gaz, suivant le domaine de pression
tudie.
5.1.5 Notion de conductance:
C= 1 =Q
Z P1- P2
De par son quation aux dimension, la conductance sexprime comme un dbit volumtrique,
mais nen est pas un. On lexprime par exemple en litre par seconde (l s-1).
La notion de conductance est quivalente dans son utilisation celle du dbit unitaire que
prfrent certains auteurs. Le dbit unitaire se dfinit comme tant un volume de gaz dbit
par une canalisation lorsquon maintient une diffrence de pression unit entre deux
extrmits, ce volume de gaz tant lui-mme suppos mesur sous une pression gale
lunit.

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Analogie lectrique :
Z srie = Z1 + Z2 + Z3 +
1
Z //

=
=

1 + 1 + 1 +
Z1
Z2
Z3

C // = C1 + C2 + C3 +
1
Csrie

=
=

1 + 1 + 1 +
C1
C2
C3

Z tant limpdance de plusieurs canalisations en srie, les impdances des canalisations

prises sparment tant Z1, Z2, Z3etc de mme pour Z//, Csrie et C//.

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5.2 Dfinition de la vitesse de Pompage :

Une pompe est un appareil capable daspirer, par son orifice daspiration, un gaz la pression
P et de le refouler, par son orifice de refoulement une pression suprieur P.
La vitesse de pompage S dune pompe dont lorifice daspiration est la pression P, est le
volume de gaz aspir par unit de temps et mesur la pression P.
En fait : S = V, dfinit prcdemment et, comme on a :
Q = P V = P S
On en dduit :
S=Q
P
On remarque que le flux gazeux Q peux se mesurer en nimporte quelle section, puisquil est
conservatif (en rgime permanent), mais la pression P doit tre mesure lentre de la
pompe. Il ny a pas de diffrence entre S et V, V tant de prfrence utilise pour
reprsenter un dbit gazeux, et S tant rserv une action de pompage.
Remarque la conductance et la vitesse de pompage sexprime dans la mme unit, mais on ne
doit pas confondre ces deux grandeurs qui non pas la mme signification (bien que parfois
elles soient gales). La conductance ne doit tre utilise qu propos dun freinage de
gaz, ce qui implique un gradient de pression. La vitesse de pompage sapplique plus
exactement chaque section dun circuit, qui sera considre comme une pompe pour la
portion qui prcde. Seule la pression dans cette section importe.
5.3 Vitesse de Pompage dun couplage Pompe-Canalisation :
Lorsquon dsire vider une enceinte ou entretenir le vide dans celle-ci, on relie lenceinte
une pompe par une canalisation dimpdance Z. Il est important de connatre la vitesse de
pompage de lenceinte, car elle est bien souvent diffrente de celle de la pompe elle-mme.
Soit Sp la vitesse de la pompe la pression Pp.
Soit S la vitesse au niveau de lenceinte qui est la pression P.
On a
On sait que

Z = P Pp
Q
Q = P S = Pp Sp

Donc

Z=1 - 1
S Sp

Infime

1 =1+Z=1+1
S Sp
Sp C

Cette formule est importante. Elle donne la vitesse de pompage effective dune pompe compte
tenu de la canalisation qui la relie lenceinte.

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5.3.1 Formules pratiques pour le calcul des conductances:

Symboles et units de mesures utiliss

C : Conductance en l/s
C0 : Conductance pour air 20C
l : Longueur dun tube en cm
d : diamtre dun tube en cm
A : Section dun tube en cm
U : Primtre dun tube en cm
P : Pression moyenne en mB

: viscosit en poise
T : Temprature absolue en K
M : Masse molculaire
S : dbit en l/s
S : dbit rel en l/s

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6.

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POMPAGE DANS UNE ENCEINTE A VIDE

Le pompage dans une Enceinte seffectue en fonction de lobjectif atteindre :

Le vide limite
Le temps de descente en pression
La pollution de lenceinte ou du milieu ambiant (Dgazage des matriaux)
Synoptique dun systme de pompage dans une Enceinte vide

ENCEINTE
V1

V3
P.Secondaire

Canalisation
Primaire

V2

Rfrigrateur
Flexible

Chane
Pompe Primaire

Compresseur

P-P

ROOTS

Il est noter que, pour abaisser la pression depuis la pression atmosphrique jusqu une
pression seccondaire voir ultra vide, il est ncessaire de placer plusieurs types de pompes en
srie . Chacune ayant sa pression limite propre, et doit tre relaye par une autre, et il nest
pas rare de compter trois ou quatre types de pompes pour des systmes sophistiqus.

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Pompes
Piston circulaire

Pompes
Piston alternatif

Pompes
Roots

Pompes
Piston oscillant

Pompes rotatives
A palette

Pompes
Volumtriques
rotatives

Pompes
membrane

Pompes
Volumtriques
oscillations

Pompes Volumtriques

Pompes transfert de gaz

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Pompes transfert
dion

Pompes
Diffusions et
jecteurs

Pompes
diffusions

Pompes fluide
moteur

Pompes
Turbo-molculaires

Turbo
Pompes

Pompes cintiques
mcaniques

Pompes cintique

POMPES A VIDE

Condenseurs

Cryopompes

Pompes
Ionique

Pompes
absortion

Pompe fixant les gaz

Dans le cadre du cours nous aborderons uniquement les pompes, les plus utilises dans le domaine des essais sur Enceintes du LAM.

6.1 Synoptique de diffrentes pompes vide :

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22/11/2007

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6.2 Caractristique des Pompes vide :

Trois grandeurs caractrisent une pompe vide :

Son dbit ou vitesse de pompage,

son taux de compression,
son vide limite.

Sachant que S vitesse de pompage de la pompe est li avec le taux de compression .

S0 : cest la vitesse de pompage quand le taux de compression est nul. 0
Ces termes sont lis entre eux par lexpression :
S = S0 1 -

Cette quation sapplique bien pour les pompes diffusion et les turbomolculaires.
6.3 Pompage dune enceinte :
Dans un rservoir de volume V on veut passer de la P1 la pression P2. Le temps t pour
obtenir cette pression est donne par une loi qui scrit sous la forme de :
t = 2.3 V Log P1
S
P2
t(s),V(l), S(l/s), P(mB)
Cette formule nest valable que pour lvacuation dun volume, c'est--dire en pression
primaire (> 10-3mB) au-del, le dgazage des parois intervient, et il est ncessaire de tenir
compte de Q relev dans les gnralits (page 5).
6.4 Les moyens de pompage:
On trouve 3 grandes familles de pompe vide :
Les pompes mcaniques :
Souvent appeles pompe primaires. Le dplacement dlment tels que des palettes,
pistons, tiroirs, haricots, comprimes le gaz et le rejette la sortie, soit la pression
atmosphrique, soit dans une autre pompe qui comprime nouveau jusqu la pression
atmosphrique.
Les pompes hydrodynamiques :
Leffet de pompage est obtenu par lentranement des molcules de gaz par un jet de
vapeur trs grande vitesse. La pompe diffusion est base sur ce principe.
Les pompes fixation du gaz :
Le pompage est obtenu par fixation avec combinaison chimique ou ionique, mais
galement par condensation de vapeur sur une surface froide (la cryoadsorption).
Dans ce cas l , les gaz ne sont pas vacus de la pompe.
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6.4.1 La pompe palette:

Dans un stator cylindrique un rotor excentr tourne dans lhuile.
Le rotor possde deux palettes qui dans leur logement sont pousses vers le stator par des
ressorts. En tournant, les volumes croissants et dcroissants sont ainsi cres et chaque rotation
produit une compression qui permet de refouler sur la pression atmosphrique. Pour amliorer
le systme, une pompe palette peut comporter deux tages comme le montre la figure cidessus.
Si la pression de vapeur de lhuile tait correcte et ltanchit entre les palettes et tages
satisfaisants, on pourrait esprer un taux de compression lev et en consquence une pression
limite trs faible.
Les rsultats sont moins optimistes
Pompe primaire 1 tage env 5.10-2mB
Pompe primaire 2 tages env 1.10-4mB
Avec lest dair
5.10-3mB
Le lest dair est un dispositif qui permet pendant la phase de compression dadmettre un
minimum dair pour maintenir une surpression sans que la condensation puisse avoir lieu,
Ce dispositif est intressant lorsque lon pompe une enceinte particulirement humide (la
vapeur deau).
Bute de soupape
Refoulement
Aspiration

La taille de ces pompes est trs tendue, elles commencent avec le dbit de 1m3/h et vont
jusqu 100 m3/h. Aprs leur arrt malgr la prsence de soupape anti-retour, il est prfrable
de faire une remise la pression atmosphrique pour viter que les vapeurs dhuile se
condensent dans les canalisations.
Il est trs dangereux de laisser travailler une pompe palette seule sans pige. En effet, au
vide limite, le taux de compression tant faible, des vapeurs dhuile migrent et polluent
lenceinte.
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6.4.2 Les pompes sches:

Le dveloppement de lultra-vide et des installations optiques dans linfra rouge
(interfaces refroidies trs basse temprature) a oblig les constructeurs trouver une
solution de remplacement pour les pompes palettes qui prsentent beaucoup de risques
de pollution par les hydrocarbures.
Le dbit de ces pompes peut atteindre au maximum 50 m3/h avec un vide limite de
qq.10-3mB.
6.4.3 Les pompes membrane :
Cette pompe est utilise pour raliser des vides propres (sans trace dhydrocarbures).
Son vide limite plafonne vers qq 10mB, elle reste dun emploi limit, trs utilise pour un
tage intermdiaire entre cette pompe et la pompe secondaire.
Exemple : Une pompe turbomolculaire qui permet dobtenir une pression de < 10-9mB
avec une pompe palette , nobtient plus que 8 .10-8mB avec la pompe membrane.
6.4.4 Les pompes Roots:
Aspiration

Refoulement

Ce sont des pompes bi-rotors qui tournent en sens inverse dans un carter en sinsrant lun
dans lautre ave un jeu minimum entre elles et le carter (qq 1/10em de mm).

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Les organes de la pompe sont secs, mais les passages tournants pour lentranement des rotors
sont lubrifis soit par une graisse soit par bain dhuile. Il est pas rare que plusieurs litres
dhuile lubrifient les roulements ou paliers.
Accouples une pompe palettes correctement choisie, les pompes Roots peuvent
atteindre des dbits importants 105m3/h. et une pression limite de qq.10-3mB .10-5mB.
6.4.5 Les pompe turbomolculaires:
La pompe turbomolculaire date de 1960. Ces pompes travaillent uniquement en rgime
molculaire. Le libre parcours moyen est plus grand que les dimensions des pales du
rotor. La vitesse de rotation de lextrmit des pales est de lordre de la vitesse moyenne
des molcules. Les molcules qui frappent le rotor acquirent une vitesse supplmentaire
dans la direction de la rotation.
Du fait de larrangement angulaire de pales fixes et mobiles, la probabilit de transmission
des molcules ne joue que dans la direction basse pression vers la haute pression, do
leffet de pompage.

Le taux de compression des pompes turbomolculaires varie exponentiellement avec

Ce qui conduit aux consquences suivantes :

M.

le taux de compression pour H2 ou He est de lordre de 104 alors que pour le CO ont
peut obtenir 107 108
le taux de compression tant important pour les gaz lourds, la pompe turbo
molculaire est une barrire efficace contre les pollutions dhydrocarbures. Cette
barrire nest relle que pendant le fonctionnement, en consquence larrt il est
prfrable de remettre la pompe la pression atmosphrique.

Pour diminuer ces risques de pollution par les huiles ou graisses les industriels avec
lvolution des technologies proposent des solutions :
Pompes palier cramique
Pompes palier magntique
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Ces pompes tournes de trs grandes vitesses qq 60 000 t/mm voir 80 000 t/mm, et compte
tenu du faible jeu entre le stator et le rotor, le rotor doit tre parfaitement quilibr et un porte
faux minimum.
Les pompes turbomolculaires les plus performantes permettent, aprs tuvage, datteindre
des pressions de lultravide 10-10 mB et de couvrir une gamme de dbit de 30 l/s 2500 l/s

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6.4.6 Les pompes diffusion:

Lvocation des pompes diffusion dans les enceintes propres qui on pour but des essais
optiques et thermique est une anomalie.
Cependant, si les pompes diffusion standard permettent datteindre des vides de 10-8 mB,
avec un peut de prcaution, il est possible de descendre au-dessous de 10-10 mB. Les
premires expriences en ultra-vide par Alpert ont t ralises avec des pompes diffusion.
Principe : dans le corps de pompe pralablement vacu une pression de 10-2 mB 10-3 mB
on produit un flux de vapeur dhuile par chauffage lectrique ( 20c une huile de pompe
diffusion de M = 250 une pression de vapeur de 10-8 mB. Lorsquelle chauffe 200C la
pression de vapeur est de 0.1 mB). La vapeur dhuile moteur scoule dans la chemine est
sort une vitesse supersonique du systme de buse annulaire. Le jet slargit vers la paroi o
il est condens et se r coule en film dans la chambre dbullition par gravitation.
Aspiration

Refoulement

1 : Chauffage 2 : Chambre dbullition 3 : Corps de pompe 4 : Serpentin de refroidissement

5 : Bride vide pouss 6 : Particules de gaz 7 : Jet de vapeur 8 :Tubulure de vide primaire
A D : Ejecteur ou Buses
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TECHNIQUES DU VIDE

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Pendant leur trajet, les molcules du jet de vapeur entrent en collision avec celles du gaz
pomp. La quantit de mouvement de la molcule dhuile (masse leve, grande vitesse) est
beaucoup plus grande que celle du gaz pomper. Il en rsulte un phnomne de compression
et donc pompage.
La limite dutilisation de ces pompes, principalement pour les vides propre est due la rtro
diffusion des molcules dhuile vers laspiration. Lutilisation de baffle eau et de piges
Azote liquide rduit cet inconvnient, mais il rduit galement la vitesse de pompage. la
vitesse de pompage.
Ce type de pompage permet davoir des vitesses de pompage de 50 l/s 10 000 l/s.

6.4.7 Les pompe fixation:

Quelques mots sur ce type pompe.
Ce type de pompage est uniquement utilis dans le domaine de lultra-vide qq 10-10 mB
10-12mB. Pour viter des risques de pollution ces pompes rpondent parfaitement aux
exigences des utilisateurs.
Le principe de base est la fixation des molcules de gaz, qui repose sur leur ionisation, leur
canalisation par lintermdiaire dun champ magntique et leur fixation.
Pompe ionique

6.4.8 Pompage Cryognique:

Ce type de pompage est bas sur la condensation des gaz.
Dans une pompe cryognique, le dbit est proportionnel la surface, est fonction de la
probabilit de collage s comprise entre 0 et 1. Si s = 1, le dbit spcifique la dimension
dune conductance de 1 cm2 est sans paisseur.
Le dbit spcifique a pour valeur :
Sspec = 3.64 s
A 20C Sspec =

T
M

62.4 s
M

Pour s = 1 et diffrents gaz, Smax a les valeurs suivantes

Gaz
Smax l. s-1

H2
44

He
31.2

N2
11.8

CO2
9.8

En pratique, s est compris entre 0.5 et 1.

Dans les pompes cryogniques, il n y a pas de limite de saturation, la pression dquilibre est
donne par la tension de vapeur du gaz condens.
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Synoptique du groupe Compresseur et Cryopompe CF 200 de Lair Liquide :

Pompage Cryognique rfrigrateur bi-tage:

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22/11/2007

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CRYOPOMPE CF 200 de LAir Liquide

1 rfrigrateur
2 Corps de pompe
3 Ecran 70K
4 Ecran 15K
5 Baffle 70K
6 Bride Mca 200
7 Pour pr vidage
8 Traverse lectrique
9 Raccord HP/BP
10 Prise moteur
11 Soupape scu
12 Sonde CLTS
13 Couvercle de transport

Aspiration

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Service Essais
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Principe de fonctionnement :
La cryopompe est conue pour rpondre aux problmes des systmes grande capacit de
pompage secondaire absolue propre est requis.
Cette pompe peut tre utilise aussi bien en ultra vide qq 10-10 mB, qu une pression de
10-2 mB.
Cest une pompe dite statique qui de par sa conception permet, une grande vitesses de
pompage standard 5000l/s en cryocondensant et cryoadsorbant tous les gaz prsents
dans le systme. Cet ensemble de pompage comprend une cryopompe PCF 200 associe
son compresseur dhlium qui est le gaz rfrigrant du systme.
Deux flexibles de liaison, permet le transfert en BP = 5 bar et la HP = 17bar entre le
compresseur et la cryopompe.
La cryopompe fonctionne suivant le procd du cycle de Gifford-McMahon, qui est bas sur
la dtente dun gaz caloporteur (He). Cette dtente est ralise par le dplacement dun
volume constant qui absorbe et restitue une grande quantit de chaleur.
Ce principe thermodynamique, permet de refroidir deux tages en conductif sur lesquels est
monts des crans froids de pompage.
Le 1er tage cran froid 70K surface environ 0.2 m2
Le 2em tage cran froid 15K surface environ 0.1 m2
Les molcules de gaz qui sont en agitations permanente dans lenceinte, heurterons ces
surfaces froides et se condenserons.
Avant le dmarrage de ces pompes il impratif de faire un pr vidage, afin dviter de
cryocondenser les gaz lourds (H2O), risque de formation de glace.
Changement dtat des corps :

Ls, Lf, Lv : chaleur latente apporte (ou enleve) qui permet le changement dtat de
solidification, de fusion, de vaporisation.
Tension de Vapeur : rapport simple entre Pression et Temprature au moment de la
vaporisation des gaz. Cette tension de vapeur caractrise lquilibre des phases
(Vapeur/Liquide).
Point critique : Marque la limite suprieure de lexistence de la phase liquide pour un corps
donn.
Solidification, point triple : La limite infrieure de la tension de vapeur dun liquide se situe
au point triple, seul point o coexiste simultanment les phases liquide et solide.
Une vacuation de chaleur sur un fluide au point triple conduit sa solidification.

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TECHNIQUES DU VIDE

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Courbe Ps = f (Ts) Courbe de tension de vapeur des gaz

Remarques :
Ces pompes sont toujours associes avec une vanne disolement, qui permet dans un premier
temps sa prparation en vide et temprature, et sa rgnration aprs son utilisation.

Temps de prparation de la pompe avant louverture de la vanne sur enceinte, pour

dbut pompage secondaire environ 1h 15
Temps de remonte en temprature avec chauffage 1h30
Temps dtuvage +45C 72h
Vitesse de pompage 4000l/s 5000l/s

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TECHNIQUES DU VIDE

7.

Service Essais
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MESURE DU VIDE

Actuellement, il est possible de raliser des pressions aussi basses que 10-15 mB, mais il est
beaucoup plus difficile de les mesurer avec prcision.
La sensibilit des manomtres peut varier dans le temps en fonction des composants
lectroniques, de la pollution des lments actifs et de lenvironnement. Mme livr avec une
courbe dtalonnage, aprs quelques temps de fonctionnement il est pas rare de mesurer une
erreur de 100% sur une lecture de pression.
7.1 Les principaux manomtre dans le cadre du service Essais:
Dans la gamme 1000mB 10-12mB nous pouvons rencontrer diffrents types de Capteur.
Les industriels, proposent une gamme trs varis dans les technologies pour mesurer ces
pressions. Dans le cadre des essais sur les simulateurs du LAM, le service utilise des capteurs
qui appartiennent cette gamme. Leur principe de fonctionnement se dcompose en trois
groupes :

Mcanique

Thermique

Dcharge Ionique
Type

VideGrossier
1013 1mB

Mano
Bourdon

------------------X

Tube
Thermique
Jauge
Penning
Jauge
Ionivac

Vide Primaire
1 10-3 mB

Vide Secondaire
10-3 10-7mB

Vide pousse
10-7 10-9mB

10-3mB
----------------------------------------------X
10-7mB
---------------------X
10-9mB
--------------------------------------------------X

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TECHNIQUES DU VIDE

Service Essais
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7.1.1 Manomtre mcanique :

Gamme de mesure 1013 1mB
Plus Connu sous le nom de manomtre de Bourdon, il est utilis pour la mesure de vide
grossier.
Lintrieur dun tube mtallique tanche au vide et formant un ressort (tube de bourdon)
communique avec lenceinte sous vide par lintermdiaire dune bride tandis que la pression
atmosphrique rgne lextrieur. Les variations de la pression entranent une dformation du
tube lastique qui est transmise mcaniquement une aiguille.
Lindication est linaire et indpendante de la nature du gaz. Ce manomtre est fonction de la
pression atmosphrique. En installant ce manomtre, il faut le rgler la pression
baromtrique locale moyenne.

Ct Vide

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TECHNIQUES DU VIDE

Service Essais
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7.1.2 Manomtre Thermique :

Gamme de mesure 1013 10-3mB
Ce principe utilise la conductibilit thermique des gaz pour mesurer les pressions entre
1000 10-3mB. Ces appareils utilisent exclusivement le principe Pirani rgulation, pour
obtenir le plus court temps de rponse possible pour le senseur (1ms).
Dans ce principe, le filament de mesure est lune des parties dun pont de Wheatstone. Le
pont est dsquilibr par la variation de temprature du filament, dues aux variations de
pression. Une rgulation rponse rapide adapte la puissance de chauffage du filament pour
que sa temprature retrouve sa valeur nominale et que le pont de mesure retrouver lquilibre.
Lindication dpend du type de gaz. Normalement, lindication des appareils est rgle pour
lazote ou lair, mais lindication peut se faire au choix pour largon galement.

Filament diffrentiel de
rponse de pont

Filament sous vide

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TECHNIQUES DU VIDE

Service Essais
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7.1.3 Manomtre dcharge :

Gamme de mesure 10-2mB 10-7mB
Pour mesurer la pression, ce principe utilise une dcharge de gaz dans le senseur, amorce par
lapplication dune haute tension. Le courant ionique ainsi cr est sorti sous forme de signal,
proportionnel la pression.
Cette haute tension fournie par le coffret dalimentation et de laimant permanent du senseur,
une dcharge lectrique se produit entre lanode et cathode de la tte manomtrique. Cette
dcharge est maintenue la limite infrieure (10-7mB) de la plage de mesure. Les lectrons
sont forcs par le champ magntique sur les trajectoires spirales. Leur parcours devient ainsi
assez long pour assurer un nombre suffisant de porteurs de charge et maintenir la dcharge,
mme des pressions basses.
Lindication manomtrique du courant de dcharge est fonction de la nature du gaz.
Au-dessous d'une pression d'environ 1 Torr, le courant lectrique qui circule entre les
lectrodes suit la loi :
log( p ) = K.log( i )
Le logarithme du courant est proportionnel au logarithme de la pression.
K est un paramtre qui dpend des caractristiques du montage, du gaz analys et de la
tension employe...

Haute tension

Plasma

Ct vide

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TECHNIQUES DU VIDE

1 Anneau et baffle
2 bride DN 40 KF
3 Carter
4 Aimant permanent
5 Rondelle cramique
6 Blindage
7 Douille de prise HT
8 Fil danode
9 Scellement verre
10 Anode
11 Tle cathodique
12 Igniteur

40

Service Essais
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TECHNIQUES DU VIDE

Service Essais
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7.1.4 Manomtre Ionique :

Gamme de mesure 10-2mB 10-9mB
La mesure ionique est bas sur le principe de la jauge Bayard-Alpert.
Les lectrons ncessaires pour crer un courant ionique proportionnel la pression prennent
origine en premier lieu de la cathode incandescente en tungstne, comprise dans la tte de
mesure. Le courant rcolt par le coffre dalimentation est indiqu sur son instrumentation de
lecture cadre mobile ou numrique.
La tte de mesure cellule ou jauge noye , est protge contre les remontes de pression
inadmissibles par un dispositif lectronique de coupure dmission. Le courant est galement
coup en cas dun court circuit dans le cble. Ou entre lanode est la cathode, ou entre lanode
et la terre.

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8.

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DETECTION DE FUITE

La pression dans un systme vide quip dun dispositif de pompage de dbit S et limit par
Q, la quantit de gaz pomper de sorte que :
P=Q/S
Le flux de gaz provenant de Q est constitu de deux sources principales :

Qa : le taux de dgazage thermique, proportionnel la, surface et qui volue en

fonction du temps de pompage et de la temprature.
Qf : le taux de fuite qui reste constant quel que soit le temps de pompage

Le taux de dgazage est un des paramtres de lenceinte, il peut tre amlior, mais non
supprim. Pour lacier inoxydable, un taux de dgazage correct est de 10-12 mB.l / s .cm2.
Le taux de fuite doit tre limit son niveau le plus bas et pour y arriver, on utilise les
mthodes de dtection.

1. Remonte de pression avec fuite caisson

2. Remonte de pression due au dgazage des parois
3. Combinaison des deux effets

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8.2 Remonte de pression de lenceinte :

Mthode simple et rapide, il suffit aprs pompage disoler lenceinte, et contrler lvolution
de la pression.
Qfenc = V(l) . P2(mB) P1(mB) = Qfenc (mB.l/s)t(s)
Par cette mthode on peut rapidement voir le comportement de lenceinte.
La gamme correcte dun taux de fuite caisson est de 10-2 mB.l/s.
Si nest pas le cas, il faut aller plus loin dans la recherche des causes de fuite enceinte.
8.3 Dtection de fuite :
Pour la dtection on va utiliser un gaz traceur, qui doit avoir une masse molculaire faible,
tre inerte, tre faible en concentration dans lair. Lhlium est le gaz le plus utilis.
Le dtecteur de fuite comporte un systme de pompage et un spectromtre sparation
magntique. Le spectromtre de masse est un lment qui est capable de sparer toutes les
molcules diverses de gaz et mesurer la quantit de lespce slectionner, en particulier
lhlium.
Dans la chambre de ionisation, un filament en tungstne chauff par le passage dun courant,
permettra dmettre un faisceau dlectrons rgul. Ces lectrons rentreront en collision avec
les atomes et molcules de gaz. Ils arracheront des lectrons permettant dobtenir des ions
positifs. Ces ions sont pris par les champs magntiques, qui acclreront leurs parcours.
Leur trajectoire sera influence par un champ magntique perpendiculaire. Un arrangement de
champ et de diaphragmes, permettra dobtenir uniquement le passage des ions dhlium au
travers du tube.
Transforms et amplifis lectroniquement ce signal sera limage de la quantit du gaz traceur
dtect.

1 Cathode 1
2 Anode
3 Cathode 2
4 Ampli
5 Collecteur dIon
6 Ecran de collecteur dion
7 Suppresseur
8 Tte magntique
9 Fentre
10 Orifice dextraction
11Chambre de ionisation

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Le dtecteur sera introduit dans une chane de pompage de linstallation, primaire ou

secondaire. Un balayage lent sera effectu sur toutes les parties de lenceinte souponnes.
(Joints, raccords, soudure etc). Le dtecteur de fuite signalera quand il verra la prsence
dhlium et quantifiera la fuite.
La dtection de micros fuites, est une est une opration longue et minutieuse en fonction du
volumes et la complexit de lenceinte.
Une dtection qq 10-5 mB.l/s peut dure plusieurs semaines. Ces pour cela que la dtection
est une spcificit par entire.

ENCEINTE
V1

V3

H
E
L
I
U
M

P.Secondaire

Canalisation
Primaire

V2

Rfrigrateur
Flexible

Dtecteur
de fuite

Chane
Pompe Primaire

Compresseur

P-P

ROOTS

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