Mikroskop elektron

Dari Wikipedia bahasa Indonesia, ensiklopedia bebas

Belum Diperiksa

Diagram transmisi dari sebuah mikroskop elektron

Mikroskop elektron adalah sebuah mikroskop yang mampu untuk melakukan pembesaran objek sampai 2
juta kali, yang menggunakan elektro statikdan elektro magnetik untuk mengontrol pencahayaan dan tampilan
gambar serta memiliki kemampuan pembesaran objek serta resolusi yang jauh lebih bagus
daripada mikroskop cahaya. Mikroskop elektron ini menggunakan jauh lebih
banyak energi dan radiasi elektromagnetik yang lebih pendek dibandingkan mikroskop cahaya.
Daftar isi
[sembunyikan]

1 Fenomena elektron

2 Jenis-jenis mikroskop elektron

2.1 Mikroskop transmisi elektron (TEM)

2.1.1 Sejarah penemuan

2.1.2 Cara kerja

2.1.3 Preparasi sediaan

2.2 Mikroskop pemindai transmisi elektron (STEM)

2.3 Mikroskop pemindai elektron (SEM)

2.3.1 Sejarah penemuan

2.3.2 Cara kerja

2.3.3 Preparasi sediaan

2.4 Mikroskop pemindai lingkungan elektron (ESEM)

2.4.1 Sejarah penemuan

2.4.2 Cara kerja

2.5 Tipe-tipe pengembangan

2.5.1 Mikroskop refleksi elektron (REM)

2.5.2 Spin-Polarized Low-Energy Electron Microscopy (SPLEEM)

3 Teknik pembuatan preparat yang digunakan pada mikroskop elektron

4 Pembuatan film dengan mikroskop ESEM

5 Catatan

6 Pranala luar

Fenomena elektron[sunting | sunting sumber]

Pada tahun 1920 ditemukan suatu fenomena di mana elektron yang dipercepat dalam suatu kolom
[elektromagnet], dalam suasana hampa udara (vakum) berkarakter seperti cahaya, dengan panjang
gelombang yang 100.000 kali lebih kecil dari cahaya. Selanjutnya ditemukan juga bahwa medan
listrik dan medan magnet dapat berperan sebagai lensa dan cermin seperti pada lensa gelas dalam mikroskop
cahaya.

Jenis-jenis mikroskop elektron[sunting | sunting sumber]

Mikroskop transmisi elektron (TEM)[sunting | sunting sumber]

Mikroskop transmisi elektron (Transmission electron microscope-TEM)adalah sebuah mikroskop elektron yang
cara kerjanya mirip dengan cara kerja proyektor slide, di mana elektron ditembuskan ke dalam obyek
pengamatan dan pengamat mengamati hasil tembusannya pada layar.

Sejarah penemuan[sunting | sunting sumber]

Seorang ilmuwan bernama Ernst Ruska

[1]

menggabungkan penemuan ini dan membangun mikroskop

transmisi elektron (TEM) yang pertama pada tahun 1931. Untuk hasil karyanya ini maka dunia ilmu
pengetahuan menganugerahinya hadiah Penghargaan Nobel dalam fisika pada tahun 1986. Mikroskop yang
pertama kali diciptakannya adalah dengan menggunakan dua lensa medan magnet, namun tiga tahun
kemudian ia menyempurnakan karyanya tersebut dengan menambahkan lensa ketiga dan mendemonstrasikan
kinerjanya yang menghasilkan resolusi hingga 100nanometer (nm) (dua kali lebih baik dari mikroskop cahaya
pada masa itu).

Cara kerja[sunting | sunting sumber]

Mikroskop transmisi eletron saat ini telah mengalami peningkatan kinerja hingga mampu menghasilkan resolusi
hingga 0,1 nm (atau 1 angstrom) atau sama dengan pembesaran sampai satu juta kali. Meskipun banyak
bidang-bidang ilmu pengetahuan yang berkembang pesat dengan bantuan mikroskop transmisi elektron ini.
Adanya persyaratan bahwa "obyek pengamatan harus setipis mungkin" ini kembali membuat sebagian peneliti
tidak terpuaskan, terutama yang memiliki obyek yang tidak dapat dengan serta merta dipertipis. Karena itu
pengembangan metode baru mikroskop elektron terus dilakukan.

Preparasi sediaan[sunting | sunting sumber]

Agar pengamat dapat mengamati preparat dengan baik, diperlukan persiapan sediaan dengan tahap sebagai
berikut : 1. melakukan fiksasi, yang bertujuan untuk mematikan sel tanpa mengubah struktur sel yang akan
diamati. fiksasi dapat dilakukan dengan menggunakan senyawa glutaraldehida atau osmium tetroksida. 2.
pembuatan sayatan, yang bertujuan untuk memotong sayatan hingga setipis mungkin agar mudah diamati di
bawah mikroskop. Preparat dilapisi dengan monomer resin melalui proses pemanasan, kemudian dilanjutkan
dengan pemotongan menggunakan mikrotom. Umumnya mata pisau mikrotom terbuat dari berlian karena
berlian tersusun dari atom karbon yang padat. Oleh karena itu, sayatan yang terbentuk lebih rapi. Sayatan
yang telah terbentuk diletakkan di atas cincin berpetak untuk diamati. 3. pelapisan/pewarnaan, bertujuan untuk
memperbesar kontras antara preparat yang akan diamati dengan lingkungan sekitarnya. Pelapisan/pewarnaan
dapat menggunakan logam berat seperti uranium dan timbal.

Mikroskop pemindai transmisi elektron (STEM)[sunting | sunting sumber]

Mikroskop pemindai transmisi elektron (STEM)adalah merupakan salah satu tipe yang merupakan hasil
pengembangan dari mikroskop transmisi elektron (TEM).

Pada sistem STEM ini, electron menembus spesimen namun sebagaimana halnya dengan cara kerja SEM,
optik elektron terfokus langsung pada sudut yang sempit dengan memindai obyek menggunakan pola
pemindaian dimana obyek tersebut dipindai dari satu sisi ke sisi lainnya (raster) yang menghasilkan lajur-lajur
titik (dots)yang membentuk gambar seperti yang dihasilkan olehCRT pada televisi / monitor.

Mikroskop pemindai elektron (SEM)[sunting | sunting sumber]

Mikroskop pemindai elektron (SEM) yang digunakan untuk studi detail arsitektur permukaan sel (atau
struktur jasad renik lainnya), dan obyek diamati secara tiga dimensi.

Sejarah penemuan[sunting | sunting sumber]

Tidak diketahui secara persis siapa sebenarnya penemu Mikroskop pemindai elektron (Scanning Electron
Microscope-SEM) ini. Publikasi pertama kali yang mendiskripsikan teori SEM dilakukan oleh fisikawan Jerman
dR. Max Knoll pada 1935, meskipun fisikawan Jerman lainnya Dr. Manfred von Ardenne mengklaim dirinya
telah melakukan penelitian suatu fenomena yang kemudian disebut SEM hingga tahun 1937. Mungkin karena
itu, tidak satu pun dari keduanya mendapatkan hadiah nobel untuk penemuan itu.
Pada 1942 tiga orang ilmuwan Amerika yaitu Dr. Vladimir Kosma Zworykin[2], Dr. James Hillier, dan Dr. Snijder,
benar-benar membangun sebuah mikroskop elektron metode pemindaian (SEM) dengan resolusi hingga 50
nm atau magnifikasi 8.000 kali. Sebagai perbandingan SEM modern sekarang ini mempunyai resolusi hingga 1
nm atau pembesaran 400.000 kali. Mikroskop elektron cara ini memfokuskan sinar elektron (electron beam) di
permukaan obyek dan mengambil gambarnya dengan mendeteksi elektron yang muncul dari permukaan
obyek.

Cara kerja[sunting | sunting sumber]

Cara terbentuknya gambar pada SEM berbeda dengan apa yang terjadi pada mikroskop optic dan TEM. Pada
SEM, gambar dibuat berdasarkan deteksi elektron baru (elektron sekunder) atau elektron pantul yang muncul
dari permukaan sampel ketika permukaan sampel tersebut dipindai dengan sinar elektron. Elektron sekunder
atau elektron pantul yang terdeteksi selanjutnya diperkuat sinyalnya, kemudian besar amplitudonya ditampilkan
dalam gradasi gelap-terang pada layar monitor CRT (cathode ray tube). Di layar CRT inilah gambar struktur
obyek yang sudah diperbesar bisa dilihat. Pada proses operasinya, SEM tidak memerlukan sampel yang
ditipiskan, sehingga bisa digunakan untuk melihat obyek dari sudut pandang 3 dimensi.

Preparasi sediaan[sunting | sunting sumber]

Agar pengamat dapat mengamati preparat dengan baik, diperlukan persiapan sediaan dengan tahap sebagai
berikut : 1. melakukan fiksasi, yang bertujuan untuk mematikan sel tanpa mengubah struktur sel yang akan
diamati. fiksasi dapat dilakukan dengan menggunakan senyawa glutaraldehida atau osmium tetroksida. 2.
dehidrasi, yang bertujuan untuk memperendah kadar air dalam sayatan sehingga tidak mengganggu proses
pengamatan. 3. pelapisan/pewarnaan, bertujuan untuk memperbesar kontras antara preparat yang akan

diamati dengan lingkungan sekitarnya. Pelapisan/pewarnaan dapat menggunakan logam mulia seperti emas
dan platina.

Mikroskop pemindai lingkungan elektron (ESEM)[sunting | sunting sumber]

Mikroskop ini adalah merupakan pengembangan dari SEM, yang dalam bahasa Inggrisnya
disebut Environmental SEM (ESEM) yang dikembangkan guna mengatasi obyek pengamatan yang tidak
memenuhi syarat sebagai obyek TEM maupun SEM.
Obyek yang tidak memenuhi syarat seperti ini biasanya adalah bahan alami yang ingin diamati secara detail
tanpa merusak atau menambah perlakuan yang tidak perlu terhadap obyek yang apabila menggunakat alat
SEM konvensional perlu ditambahkan beberapa trik yang memungkinkan hal tersebut bisa terlaksana.

Sejarah penemuan[sunting | sunting sumber]

Teknologi ESEM ini dirintis oleh Gerasimos D. Danilatos, seorang kelahiran Yunani yang
bermigrasi ke Australia pada akhir tahun 1972 dan memperoleh gelar Ph.D dari Universitas New South
Wales (UNSW) pada tahun 1977 dengan judul disertasi Dynamic Mechanical Properties of Keratin Fibres .
Dr. Danilatos ini dikenal sebagai pionir dari teknologi ESEM, yang merupakan suatu inovasi besar bagi dunia
mikroskop elektron serta merupakan kemajuan fundamental dari ilmu mikroskopi.
Deengan teknologi ESEM ini maka dimungkinkan bagi seorang peneliti untuk meneliti sebuah objek yang
berada pada lingkungan yang menyerupai gas yang betekanan rendah (low-pressure gaseous environments)
misalnya pada 10-50 Torr serta tingkat humiditas diatas 100%. Dalam arti kata lain ESEM ini memungkinkan
dilakukannya penelitian obyek baik dalam keadaan kering maupun basah.
Sebuah perusahaan di Boston yaitu Electro Scan Corporation pada tahun 1988 ( perusahaan ini diambil alih
oleh Philips pada tahun 1996- sekarang bernama FEI Company [3] telah menemukan suatu cara guna
menangkap elektron dari obyek untuk mendapatkan gambar dan memproduksi muatan positif dengan cara
mendesain sebuah detektor yang dapat menangkap elektron dari suatu obyek dalam suasana tidak vakum
sekaligus menjadi produsen ion positif yang akan dihantarkan oleh gas dalam ruang obyek ke permukaan
obyek. Beberapa jenis gas telah dicoba untuk menguji teori ini, di antaranya adalah beberapa gas ideal, gas ,
dan lain lain. Namun, yang memberikan hasil gambar yang terbaik hanyalah uap air. Untuk sample dengan
karakteristik tertentu uap air kadang kurang memberikan hasil yang maksimum.
Pada beberapa tahun terakhir ini peralatan ESEM mulai dipasarkan oleh para produsennya dengan
mengiklankan gambar-gambar jasad renik dalam keadaan hidup yang selama ini tidak dapat terlihat dengan
mikroskop elektron.

Cara kerja[sunting | sunting sumber]

Pertama-tama dilakukan suatu upaya untuk menghilangkan penumpukan elektron (charging) di permukaan
obyek, dengan membuat suasana dalam ruang sample tidak vakum tetapi diisi dengan sedikit gas yang akan
mengantarkan muatan positif ke permukaan obyek, sehingga penumpukan elektron dapat dihindari.
Hal ini menimbulkan masalah karena kolom tempat elektron dipercepat dan ruang filamen di mana elektron
yang dihasilkan memerlukan tingkat vakum yang tinggi. Permasalahan ini dapat diselesaikan dengan
memisahkan sistem pompa vakum ruang obyek dan ruang kolom serta filamen, dengan menggunakan sistem
pompa untuk masing-masing ruang. Di antaranya kemudian dipasang satu atau lebih piringan
logam platina yang biasa disebut (aperture) berlubang dengan diameter antara 200 hingga
500 mikrometer yang digunakan hanya untuk melewatkan elektron , sementara tingkat kevakuman yang
berbeda dari tiap ruangan tetap terjaga.

Tipe-tipe pengembangan[sunting | sunting sumber]

Mikroskop refleksi elektron (REM)[sunting | sunting sumber]
Yang dalam bahasa Inggrisnya disebut Reflection electron microscope (REM), adalah mikroskop elektron yang
memiliki cara kerja yang serupa sebagaimana halnya dengan cara kerja TEM namun sistem ini menggunakan
deteksi pantulan elektron pada permukaan objek. Tehnik ini secara khusus digunakan dengan
menggabungkannya dengan tehnik Refleksi difraksi elektron energi tinggi (Reflection High Energy Electron
Diffraction) dan tehnik Refleksi pelepasan spektrum energi tinggi (reflection high-energy loss spectrum RHELS)

Spin-Polarized Low-Energy Electron Microscopy (SPLEEM)[sunting | sunting sumber]

Spin-Polarized Low-Energy Electron Microscopy (SPLEEM) ini adalah merupakan Variasi lain yang
dikembangkan dari teknik yang sudah ada sebelumnya, yang digunakan untuk melihat struktur mikro dari
medan magnet (en:magnetic domains).

Teknik pembuatan preparat yang digunakan pada mikroskop

elektron[sunting | sunting sumber]
Materi yang akan dijadikan objek pemantauan dengan menggunakan mikroskop elektron ini harus diproses
sedemikian rupa sehingga menghasilkan suatu sampel yang memenuhi syarat untuk dapat digunakan sebagai
preparat pada mikroskop elektron.
Teknik yang digunakan dalam pembuatan preparat ada berbagai macam tergantung pada spesimen dan
penelitian yang dibutuhkan, antara lain :

Kriofiksasi yaitu suatu metode persiapan dengan menggunakan teknik pembekuan spesimen dengan
cepat yang menggunakan nitrogen cair ataupun helium cair, dimana air yang ada akan membentuk kristalkristal yang menyerupai kaca. Suatu bidang ilmu yang disebut mikroskopi cryo-elektron (cryo-electron

microscopy) telah dikembangkan berdasarkan tehnik ini. Dengan pengembangan dari Mikroskopi cryoelektron dari potongan menyerupai kaca (vitreous) atau disebut cryo-electron microscopy of vitreous
sections (CEMOVIS), maka sekarang telah dimungkinkan untuk melakukan penelitian
secara virtual terhadap specimen biologi dalam keadaan aslinya.

Fiksasi - yaitu suatu metode persiapan untuk menyiapkan suatu sampel agar tampak realistik (seperti
kenyataannya ) dengan menggunakan glutaraldehid dan osmium tetroksida.

Dehidrasi - yaitu suatu metode persiapan dengan cara menggantikan air dengan bahan
pelarut organik seperti misalnya ethanol atau aceton.

Penanaman (Embedding) - yaitu suatu metode persiapan dengan cara menginfiltrasi jaringan
dengan resin seperti misalnya araldit atau epoksi untuk pemisahan bagian.

Pembelahan (Sectioning)- yaitu suatu metode persiapan untuk mendapatkan potongan tipis dari
spesimen sehingga menjadikannya semi transparan terhadap elektron. Pemotongan ini bisa dilakukan
dengan ultramicrotome dengan menggunakan pisau berlian untuk menghasilkan potongan yang tipis
sekali. Pisau kaca juga biasa digunakan oleh karena harganya lebih murah.

Pewarnaan (Staining) - yaitu suatu metode persiapan dengan menggunakan metal berat
seperti timah, uranium, atau tungsten untuk menguraikan elektron gambar sehingga menghasilkan kontras
antara struktur yang berlainan di mana khususnya materi biologikal banyak yang warnanya nyaris
transparan terhadap elektron (objek fase lemah).

Pembekuan fraktur (Freeze-fracture) - yaitu suatu metode persiapan yang biasanya digunakan untuk
menguji membran lipid. Jaringan atau sel segar didinginkan dengan cepat (cryofixed) kemudian dipatahpatahkan atau dengan menggunakan microtome sewaktu masih berada dalam keadaan suhu nitrogen
( hingga mencapai -100% Celsius).

Patahan beku tersebut lalu diuapi dengan uap platinum atau emas dengan sudut 45 derajat pada sebuah alat
evaporator en:evaporator tekanan tinggi.

Ion Beam Milling - yaitu suatu metode mempersiapkan sebuah sampel hingga menjadi transparan
terhadap elektron dengan menggunakan cara pembakaran ion( biasanya digunakan argon) pada
permukaan dari suatu sudut hingga memercikkan material dari permukaannya. Kategori yang lebih rendah
dari metode Ion Beam Milling ini adalah metode berikutnya adalah metodeFocused ion beam milling,
dimana galium ion digunakan untuk menghasilkan selaput elektron transparan pada suatu bagian spesifik
pada sampel.

Pelapisan konduktif (Conductive Coating) - yaitu suatu metode mempersiapkan lapisan ultra tipis dari
suatu material electrically-conducting . Ini dilakukan untuk mencegah terjadinya akumulasi dari medan
elektrik statis pada spesimen sehubungan dengan elektron irradiasi sewaktu proses penggambaran
sampel. Beberapa bahan pelapis termasuk emas, palladium (emas
putih), platinum, tungsten, graphite dan lain-lain, secara khusus sangatlah penting bagi penelitian
spesimen dengan SEM.

Pembuatan film dengan mikroskop ESEM[sunting | sunting sumber]

Dengan melakukan penambahan peralatan video maka pengamat dapat melakukan pengamatan secara terus
menerus pada obyek yang hidup.
Sebuah perusahaan film dari Perancis bahkan berhasil merekam kehidupan makhluk kecil dan memfilmkannya
secara nyata. Dari beberapa film yang dibuat, film berjudul Cannibal Mites [4]memenangkan beberapa
penghargaan di antaranya Edutainment award (Jepang 1999), Best scientific photography award (Perancis
1999), dan Grand prix-best popular and informative scientific film (Perancis 1999). Film ini ditayangkan juga di
stasiun televisi Zweites Deutsches Fernsehen (en:ZDF) Jerman, Discovery Channel di AS dan Britania Raya.
Kini perusahaan yang sama tengah menggarap film seri berjudul "Fly Wars"[5] yang rata-rata memakai sekitar
lima menit pengambilan gambar dengan ESEM, pada film tersebut dapat dilihat dengan detail setiap lembar
bulu yang dimiliki lalat dalam pertempurannya.

Scanning Electron Microscopy (SEM)

Elektron memiliki resolusi yang lebih tinggi daripada cahaya. Cahaya hanya mampu mencapai 200nm sedangkan
elektron bisa mencapai resolusi sampai 0,1 0,2 nm. Dibawah ini diberikan perbandingan hasil gambar mikroskop
cahaya dengan elektron.

Disamping itu dengan menggunakan elektron kita juga bisa mendapatkan beberapa jenis pantulan yang berguna
untuk keperluan karakterisasi. Jika elektron mengenai suatu benda maka akan timbul dua jenis pantulan yaitu
pantulan elastis dan pantulan non elastis seperti pada gambar dibawah ini.

Pada sebuah mikroskop elektron (SEM) terdapat beberapa peralatan utama antara lain:
1. Pistol elektron, biasanya berupa filamen yang terbuat dari unsur yang mudah melepas elektron misal tungsten.
2. Lensa untuk elektron, berupa lensa magnetis karena elektron yang bermuatan negatif dapat dibelokkan oleh
medan magnet.
3. Sistem vakum, karena elektron sangat kecil dan ringan maka jika ada molekul udara yang lain elektron yang
berjalan menuju sasaran akan terpencar oleh tumbukan sebelum mengenai sasaran sehingga menghilangkan
molekul udara menjadi sangat penting.
Prinsip kerja dari SEM adalah sebagai berikut:
1. Sebuah pistol elektron memproduksi sinar elektron dan dipercepat dengan anoda.
2. Lensa magnetik memfokuskan elektron menuju ke sampel.
3. Sinar elektron yang terfokus memindai (scan) keseluruhan sampel dengan diarahkan oleh koil pemindai.
4. Ketika elektron mengenai sampel maka sampel akan mengeluarkan elektron baru yang akan diterima oleh
detektor dan dikirim ke monitor (CRT).
Secara lengkap skema SEM dijelaskan oleh gambar dibawah ini:

(sumber:iastate.edu)
Ada beberapa sinyal yang penting yang dihasilkan oleh SEM. Dari pantulan inelastis didapatkan sinyal elektron
sekunder dan karakteristik sinar X sedangkan dari pantulan elastis didapatkan sinyal backscattered electron. Sinyal
-sinyal tersebut dijelaskan pada gambar dibawah ini.

Perbedaan gambar dari sinyal elektron sekunder dengan backscattered adalah sebagai berikut: elektron sekunder
menghasilkan topografi dari benda yang dianalisa, permukaan yang tinggi berwarna lebih cerah dari permukaan
rendah. Sedangkan backscattered elektron memberikan perbedaan berat molekul dari atom atom yang menyusun
permukaan, atom dengan berat molekul tinggi akan berwarna lebih cerah daripada atom dengan berat molekul
rendah. Contoh perbandingan gambar dari kedua sinyal ini disajikan pada gambar dibawah ini.

Mekanisme kontras dari elektron sekunder dijelaskan dengan gambar dibawah ini. Permukaan yang tinggi akan lebih
banyak melepaskan elektron dan menghasilkan gambar yang lebih cerah dibandingkan permukaan yang rendah
atau datar.

Sedangkan mekasime kontras dari backscattered elektron dijelaskan dengan gambar dibawah ini yang secara prinsip
atom atom dengan densitas atau berat molekul lebih besar akan memantulkan lebih banyak elektron sehingga
tampak lebih cerah dari atom berdensitas rendah. Maka teknik ini sangat berguna untuk membedakan jenis atom.

Namun untuk mengenali jenis atom dipermukaan yang mengandung multi atom para peneliti lebih banyak
mengunakan teknik EDS (Energy Dispersive Spectroscopy). Sebagian besar alat SEM dilengkapi dengan
kemampuan ini, namun tidak semua SEM punya fitur ini. EDS dihasilkan dari Sinar X karakteristik, yaitu dengan
menembakkan sinar X pada posisi yang ingin kita ketahui komposisinya. Maka setelah ditembakkan pada posisi
yang diinginkan maka akan muncul puncak puncak tertentu yang mewakili suatu unsur yang terkandung. Dengan
EDS kita juga bisa membuat elemental mapping (pemetaan elemen) dengan memberikan warna berbeda beda dari
masing masing elemen di permukaan bahan. EDS bisa digunakan untuk menganalisa secara kunatitatif dari
persentase masing masing elemen. Contoh dari aplikasi EDS digambarkan pada diagram dibawah ini.

(sumber: umich.edu)

Aplikasi dari teknik SEM EDS dirangkum sebagai berikut:

1. Topografi: Menganalisa permukaan dan teksture (kekerasan, reflektivitas dsb)
2. Morfologi: Menganalisa bentuk dan ukuran dari benda sampel
3. Komposisi: Menganalisa komposisi dari permukaan benda secara kuantitatif dan kualitatif.
Sedangkan kelemahan dari teknik SEM antara lain:
1. Memerlukan kondisi vakum
2. Hanya menganalisa permukaan
3. Resolusi lebih rendah dari TEM
4. Sampel harus bahan yang konduktif, jika tidak konduktor maka perlu dilapis logam seperti emas.

Scanning Electron Microscope (SEM) dan Optical Emission Spectroscope (OES)

a. Scanning Electron Microscope (SEM)
Scanning Electron Microscope (SEM) adalah sebuah mikroskop elektron yang didesain
untuk menyelidiki permukaan dari objek solid secara langsung. SEM memiliki
perbesaran 10 3000000x, depth of field 4 0.4 mm dan resolusi sebesar 1 10 nm.
Kombinasi dari perbesaran yang tinggi, depth of field yang besar, resolusi yang baik,
kemampuan untuk mengetahui komposisi dan informasi kristalografi membuat SEM
banyak digunakan untuk keperluan penelitian dan industri. Adapun fungsi utama dari
SEM antara lain dapat digunakan untuk mengetahui informasi-informasi mengenai:
Topografi, yaitu ciri-ciri permukaan dan teksturnya (kekerasan, sifat
memantulkan cahaya, dan sebagainya).
Morfologi, yaitu bentuk dan ukuran dari partikel penyusun objek (kekuatan, cacat
pada Integrated Circuit (IC) dan chip, dan sebagainya).

Komposisi, yaitu data kuantitatif unsur dan senyawa yang terkandung di dalam
objek (titik lebur, kereaktifan, kekerasan, dan sebagainya).
Informasi kristalografi, yaitu informasi mengenai bagaimana susunan dari butirbutir di dalam objek yang diamati (konduktifitas, sifat elektrik, kekuatan, dan
sebagainya).
Prinsip kerja SEM yaitu bermula dari electron beam yang dihasilkan oleh sebuah filamen
pada electron gun. Pada umumnya electron gun yang digunakan adalah tungsten
hairpin gundengan filamen berupa lilitan tungsten yang berfungsi sebagai katoda.
Tegangan diberikan kepada lilitan yang mengakibatkan terjadinya pemanasan. Anoda
kemudian akan membentuk gaya yang dapat menarik elektron melaju menuju ke
anoda.

Gambar 1. Electron gun

Kemudian electron beam difokuskan ke suatu titik pada permukaan sampel dengan
menggunakan dua buah condenser lens. Condenser lens kedua (atau biasa disebut
dengan lensa objektif) memfokuskan beam dengan diameter yang sangat kecil, yaitu
sekitar 10-20 nm. Hamburan elektron, baik Secondary Electron (SE) atau Back
Scattered Electron (BSE) dari permukaan sampel akan dideteksi oleh detektor dan
dimunculkan dalam bentuk gambar pada layar CRT.
SEM memiliki beberapa detektor yang berfungsi untuk menangkap hamburan elektron
dan memberikan informasi yang berbeda-beda. Detektor-detektor tersebut antara lain:
Detektor EDX, yang berfungsi untuk menangkap informasi mengenai komposisi
sampel pada skala mikro.

Backscatter detector, yang berfungsi untuk menangkap informasi mengenai

nomor atom dan topografi.
Secondary detector, yang berfungsi untuk menangkap informasi mengenai
topografi.
Pada SEM, terdapat sistem vakum pada electron-optical column dan sample
chamber yang bertujuan antara lain:
Menghilangkan efek pergerakan elektron yang tidak beraturan karena adanya
molekul gas pada lingkungan tersebut, yang dapat mengakibatkan penurunan
intensitas dan stabilitas.
Meminimalisasi gas yang dapat bereaksi dengan sampel atau mengendap pada
sampel, baik gas yang berasal dari sampel atau pun mikroskop. Karena apabila hal
tersebut terjadi, maka akan menurunkan kontras dan membuat gelap detail pada
gambar.
Semua sumber elektron membutuhkan lingkungan yang vakum untuk beroperasi.