Guia bsico

para a tecnologia de
partculas

Steven D. Kochevar, janeiro de 2006

Seo I.
Partculas
Esta seo descreve a natureza fsica, as origens e o comportamento das partculas.

Partculas
Tipos e origens
Geralmente, h trs tipos de partculas: orgnicas inertes, orgnicas viveis e inorgnicas inertes.
As partculas orgnicas inertes se originam de substncias orgnicas no-reativas, que so
substncias derivadas de organismos vivos e contm componentes derivados do carbono. As
partculas orgnicas viveis so capazes de viver, se desenvolver ou germinar em condies
favorveis; bactrias e fungos so exemplos de compostos orgnicos viveis. As partculas
inorgnicas inertes so substncias no-reativas, como areia, sal, ferro, sais de clcio e outras
substncias minerais.
Em geral, partculas orgnicas se originam de matria viva composta de carbono, como animais
ou plantas, mas no esto necessariamente vivas. As partculas inorgnicas se originam de
matria que nunca teve vida, como minerais. Uma clula de pele morta uma partcula orgnica
inerte, um protozorio uma partcula orgnica vivel, e um gro de p de cobre uma partcula
inorgnica inerte.
As partculas tm diversas origens. As partculas inertes geralmente se desenvolvem quando se
esfrega um material em outro, por exemplo, o p produzido quando se corta um pedao de
madeira. Os seres humanos espalham milhares de partculas inertes com a pele morta que
desprendem continuamente e, alm disso, grandes quantidades de partculas viveis. Motores
eltricos geram partculas inertes quando as escovas metlicas friccionam componentes em
rotao. Plsticos, quando expostos luz ultravioleta, lentamente soltam partculas inertes.

Dimenso
No contexto dos mtodos de produo contemporneos, as menores partculas so to pequenas
que no podem ser consideras contaminao destrutiva. Essas partculas pequenas so menores
muitas vezes do que um tomo e se chamam partculas subatmicas. A prxima famlia, em
ordem crescente das dimenses, a dos tomos, seguida das molculas, que so grupos de
tomos.
A contaminao molecular particularmente interessa aos ambientes de produo de
semicondutores que seguem a Lei de Moore. Em 1965, Gordon E. Moore, co-fundador da Intel
Corporation, disse que o nmero de transstores de um circuito integrado dobra a cada dois anos.
Com o tamanho fixo do circuito integrado, a nica forma de se dobrar o nmero de transstores
diminuir o seu tamanho. Esses transstores rapidamente esto diminuindo para tamanhos
moleculares, e a contaminao molecular pode limitar a eficincia da produo.
Por causa da contaminao molecular, aplicaes em diversos processos de produo se
concentram em medidas de partculas em micra. Essas partculas tm tamanho que variam de
menos de um mcron (m) a aproximadamente 100 m. O comprimento de um mcron equivale
a 1/1000 do milmetro.
Comparativamente, 25.400 m equivale a 2,54 cm, um gro de sal mede aproximadamente 60
m e o cabelo humano tem espessura de 50 a 150 m. O olho humano normal no pode ver
partculas menores do que 40 m. A maioria dos processos de produo modernos tem pouco
interesse nas partculas maiores do que 100 m e menores do que 0,01 m. As partculas maiores
de100 m so facilmente filtradas, e as partculas menores de 0,01 m so pequenas demais para
causar danos. Alm disso, a International Organization for Standardization (ISO) no oferece
classificaes para partculas menores do que 0,1 m (chamadas de partculas ultrafinas) nem

para partculas maiores do que 5,0 m (chamadas de macropartculas). A Tabela 1 apresenta

uma lista de algumas partculas comuns e seus tamanhos relativos.
Contedo das
partculas
Cabelo
Visvel
Vrus da gripe
Plen
Partculas do espirro
P
Bactria

Tamanho da partcula
(em micra)
50 - 150 m
50 m
0,07 m
7 - 100 m
10 - 300 m
0,1 - 100 m
1,0 - 10 m

Tabela 1: Tamanhos de partculas comuns

H diversas maneiras diferentes de se medir uma partcula. A Figura 1 exibe os mtodos padro
usados. A esfera, indicada a seguir por linhas tracejadas, representa a esfera de ltex poliestireno
(PSL) equivalente partcula; uma partcula sinttica usada para calibrar contadores de partculas
e filtros de teste.

Figura 1: Dimenses da partcula

O termo cientfico de cada tipo de medida til em contextos diferentes, especialmente no

microscpio. O dimetro de Feret a distncia medida entre linhas paralelas tericas que so
traadas tangentes ao perfil da partcula e perpendicular escala ocular. As partculas que caem
em uma superfcie adotaro seu estado mais mecanicamente estvel, isso quer dizer que
apresentaro sua maior rea ao observador e, conseqentemente, sua maior dimenso.
Algumas partculas podem mudar de tamanho. Uma partcula orgnica vivel, como um
paramcio, um microorganismo que, como a maioria dos animais, composto principalmente
de gua. Se um paramcio for dessecado (ele seca), ele ficar bem menor do que era quando
estava hidratado (cheio de gua).

O tamanho da partcula relevante no processo de produo. Dependendo do processo de

limpeza, tamanhos de partculas especficos podem causar danos. Na indstria de
semicondutores, partculas de submcron afetam o nmero de chips produzveis. Na indstria de
unidades de disco, as partculas podem danificar as cabeas de leitura e gravao. Na indstria
farmacutica, as partculas maiores podem afetar a interao de uma droga com o corpo. Como
usamos filtros para remover a maioria da contaminao particulada, saber o tamanho relevante
das partculas permite a compra de filtros com tamanho de poro correto para remover a
contaminao e aumentar a produtividade.

Distribuio de curva de sino (Distribuio gaussiana)

Realisticamente, padres de partculas raramente tm exatamente o mesmo tamanho de um canal
de dimenso especfica. Se usarmos partculas de 0,3 m como exemplo, a maioria das partculas
um pouco maior ou um pouco menor do que 0,3 m. Chamamos 0,3 m de dimenso nominal
da partcula porque conveniente (em vez de cham-las, por exemplo, partculas de 0,2547 m
a 0,3582 m). A diferena da dimenso da partcula e a dimenso nominal a varincia. A
varincia igual ao valor do quadrado do desvio padro.
Se mensurar precisamente um nmero de partculas com dimenso nominal 0,3 m e fizer um
grfico dos resultados, esse grfico se parecer com o Grfico 3.

Grfico 3: Distribuio gaussiana (Distribuio de curva de sino)

No grfico, a maioria das partculas est centrada em 0,30 m, com menos partculas maiores ou
menores do que 0,30 m.
Em um contador de partculas, as partculas que no so includas na distribuio normal
(gaussiana) sero includas no prximo receptculo de dimenso maior ou menor.
Concentraes
Geralmente, em um p cbico (28 l) de ar de interiores, podemos esperar 1.000.000 de partculas
maiores do que 0,5 m. Para comparar, no meio do oceano ou de uma montanha alta, um p
cbico de ar contm apenas 34 partculas ou 169 partculas maiores do que 0,5 m,
respectivamente.
Em lquidos, um nico mililitro de gua ultrapura de uma sala limpa contm menos de 1
partcula maior do que 0,05 m. Mas um mililitro de gua potvel pode conter 1.200.000
partculas maiores do que 0,05 m.

Produzindo significantes concentraes de partculas, os seres humanos desprendem

aproximadamente 30 cm de partculas de pele por dia. O simples processo de exalar ar pode
produzir milhares de partculas, especialmente se originadas dos fumantes. Mas o simples ato de
beber um copo de gua significantemente reduz as partculas exaladas. A Figura 2 mostra como a
atividade humana produz partculas.

Figura 2: Produo de partculas

Distribuies
Partculas aerotransportadas e lquidas em condies ambientes seguem a distribuio comum de
classificao de dimenses. As distribuies de partculas aerotransportadas seguem os Padres
de Sala Limpa ISO 14644 que usam Distribuio Exponencial. A Distribuio Exponencial
relaciona dados de um canal de classificao de partculas com o canal seguinte. Se plotarmos os
dados em um grfico log-log, eles produziro uma linha reta; semelhantemente, se plotarmos os
dados em um grfico padro de eixos X e Y, eles produziro uma linha exponencialmente
decrescente.
Estudos subseqentes sobre partculas demonstraram distribuies de partculas
aerotransportadas proporcional a 1/(dimetro)2,1. Distribuies de partculas lquidas variam de
1/(dimetro)2 a 1/(dimetro)4,5, mas 1/(dimetro)3 usado como padro nas distribuies lquidas
na maioria dos ambientes.
14000
12000

1000

# of particles

1000

100

8 00
600
400

10

200

0.1

1.0

Grfico 1: Partculas no ambiente (Plotagem log-log)

Particle size m

Grfico 2: Partculas no ambiente

(Plotagem no eixo X e Y)

Exemplo da frmula de Distribuio Exponencial:

Testes em gua potvel mostram 20 partculas/ml > 2,0 m

Use a frmula de distribuio de partculas lquidas 1/(dimetro)3
A frmula calcula quantas partculas so > 0,5 m:

(nmero de partculas > 2 m)* [1/(razo entre os dimetros das partculas)3]

(20)* [1/(0,5 m/2,0 m)3]

1280 partculas > 0,5 m

A gua potvel contm 20 partculas/ml > 2,0 m e 1280 partculas/ml > 0,5 m.

Substncias
Quase tudo pode produzir partculas nas circunstncias certas. Em uma sala limpa, os produtores
de partculas mais prolferos so geralmente as pessoas. As pessoas produzem partculas quando
soltam clulas da pele, borrifam perfume/colnias/spray de cabelo, perdem cabelo, respiram,
espirram, etc.
Todas as partculas podem ser classificadas de acordo com os seus grupos:

Partcula: uma nica partcula inteiramente com material semelhante.

Agregado: um grupo de partculas unidas por intensas foras atmicas ou moleculares.
As foras de atrao das partculas podem ser comparadas s que unem um pedao de
concreto.

Aglomerado: um grupo de partculas unidas por foras mais tnues de adeso e coeso.
As foras de atrao das partculas podem ser comparadas s que unem uma massa de
sujeira.

Floculado: um grupo de partculas unidas pelas foras mais tnues. As foras de atrao
das partculas podem ser comparadas a do p que repousa em uma mesa.

Mecnica das partculas

As partculas exibem algumas tendncias. Elas se movem pelo ar (e por outros meios) atravs de
foras balsticas ou de difuso. As partculas podem se acumular nas superfcies por causa da
gravidade e da adeso eletrosttica. Nos lquidos, as partculas podem se aderir a bolhas de ar, se
agarrar s paredes de um duto ou de um recipiente ou se aglomerar em uma massa maior.

Importncia relativa da Gravidade X Outras foras

Como toda a matria, as partculas so influenciadas pela gravidade e por outras foras, que
podem incluir foras centrfugas ou eltricas. Na presena da gravidade e ausncia de outras
foras, as partculas maiores do que poucos micra rapidamente se acomodaro em superfcies ou
em paredes de tubulaes de prova. De modo contrrio, as partculas de submcron podem
permanecer suspensas no ar por muito tempo. Mas se as partculas sofrem a influncia de foras
centrfugas ou eltricas, elas podem resistir gravidade, ser transportadas por maiores distncias
ou sofrer atrao ptica. Um exemplo simples de atrao ptica de partcula pela tela da
televiso. A poeira (partculas) atrada pela tela por causa de grandes foras eltricas de
energia. A tendncia de partculas se sedimentarem em superfcies conhecida como
coeficincia de sedimentao, e quando usada com a Lei de Stokes, as eficincias de
sedimentao podem ser apresentadas da seguinte maneira:

Tamanho das
partculas
(em m)

Velocidade de
sedimentao
(em cm/s)

0,0037
0,01
0,1
1,0
10,0
100,0

---6
6,95 x 10
-5
8,65 x 10
-3
3,5 x 10
-1
3,06 x 10
-1
2,62 x 10

Tabela 2: Velocidade de sedimentao

Movimento
Foras balsticas: Partculas ejetadas de uma ferramenta ou um processo podem acabar se
movendo predominante contra o fluxo de ar em vez de serem distribudas uniformemente pelo
ambiente. Gradualmente, as partculas migraro para as reas de menor presso, mas por causa
da contribuio contnua de partculas causada pela ferramenta ou processo, a distribuio
uniforme das partculas pelo ambiente raramente ocorre.
Difuso: Imagine colocar tinta vermelha em um balde de gua limpa. Depois de um tempo, toda
a gua do balde se torna uniformemente vermelha. Esse fenmeno a difuso e tambm
acontece quando um gs ou lquido parece imvel. As partculas suspensas em um fluido
(lquido ou gs) so movidas por diversas foras: correntes, variaes trmicas e movimentos
Browniano.
Correntes: Correntes so movimentos laminares (suaves) e turbulentos (agitados) de ar ou
fluidos. As correntes so o resultado de diferenas de presso, com um movimento que se
desloca de uma rea de alta presso para uma rea de baixa presso. As partculas suspensas em
um fluxo laminar tendem a permanecer naquela parte do fluido. No ar, o movimento lateral (de
um lado para outro) chama-se adveco, e o movimento vertical (para cima e para baixo)
conveco.
Variao trmica (termoforese): As diferenas de temperatura em um fluido influenciam as
correntes, particularmente correntes convectivas (verticais). Simplesmente, a termoforese
descreve o movimento das partculas em um gradiente de temperatura, medida que elas se
deslocam de uma regio quente para uma regio mais fresca.
Movimento browniano: Partculas pequenas suspensas em gs ou lquidos entram em contato
com molculas de gs. Essas molculas se chocam com as partculas pequenas e alteram a sua
trajetria.
O caminho da partcula, que foi alterado pelas molculas, chama-se movimento browniano.
Aquecer um fluido leva as molculas a se tornarem mais energticas, a colidirem com mais
freqncia e a se moverem para mais longe das outras molculas e, por isso, torna o movimento
browniano mais intenso.

Figura 3: Movimento browniano

Adeso
Muitas foras agem em uma partcula e a retira do seu estado livre (difuso). As principais foras
adesivas so descritas a seguir.
Adeso eletrosttica: Esfregar um balo no cabelo cria uma camada de eletricidade esttica no
balo. Isso cria adeso eletrosttica. Da mesma forma, as partculas podem carregar eletricidade
esttica que as atraem para superfcies com cargas opostas.
Aglomerao: A aglomerao ocorre quando as partculas se unem firmemente. Nos lquidos, as
partculas tendem a se aglomerar em bolhas de gs.
Acreo: A acreo define o crescimento da matria formada de partculas medida que elas se
unem. A adeso eletrosttica ou outras foras adesivas estimulam a acreo de partculas e, em
algumas condies, duas partculas que se unem so chamadas de dupleto.
Atrito: As partculas podem se aglutinar em uma superfcie spera quando o movimento, ou o
atrito, no intenso o suficiente para desaloj-las.
Depois de explicados esses princpios de adeso, os principais mecanismos de um filtro para
captar partculas so adeso eletrosttica e atrito.

Ciclo de movimento e adeso

A difuso e a adeso coexistem em um clico contnuo: as partculas circulam, se aderem, se
desprendem e voltam a circular. Esse ciclo cria constantemente valores variveis para o nmero
e dimenses de partculas. Por isso, os detectores de partculas analisam um volume de fluido e
podem correlacionar os dados com concentraes de partculas por unidade de volume.

Transporte de partculas pela tubulao

Como mencionado anteriormente, o sistema de coletores mltiplos coleta partculas de reas
distintas e transporta as amostras para um contador de partculas que est localizado em outro
lugar. Geralmente, um tubo ou duto proporciona a coleta remota de amostras, mas quando o
meio da amostra em um tubo transportado de um local remoto para o contador de partculas,
duas coisas acontecem:

H perda de presso

Algumas partculas se aderem tubulao.

Alguns fatores que colaboram com a mobilidade das partculas na tubulao precisam ser
entendidos. A Tabela 4 descreve a perda de presso em funo da distncia, usando o sistema
padro de fluxo de ar de 3 CFM (p cbico por minuto) por ponto de amostra. A seguir,
descries resumidas da terminologia.
Dimetro (DI)
4 mm
5 mm
6 mm

7 mm
8 mm (5/16)
9 mm
3/8
10 mm

Coeficiente de
Reynolds
9150
7360
6130
5780
5250
4585
4070
3865
3670

Perda de presso
(psi/metro)
0,98
0,34
0,15
0,11
0,07
0,04
0,02
0,016
0,013

Velocidade do
gs (m/segundo)
40,35
25,9
18,0
16,0
13,2
10,1
8,0
7,2
6,5

Tabela 4: Perda de presso do ar com a distncia

Dimetro interno: O dimetro interno de um tubo nomeado DI.

Coeficiente de Reynolds: A razo entre foras inerciais (vs) e foras viscosas (/l) que usada
para determinar se o fluxo laminar ou turbulento. O coeficiente de Reynolds leva em conta
fluxos em um tubo influenciados pela forma, uniformidade interna, retido, viscosidade do
fluido, presso do ar no ambiente e temperatura.
Perda de presso: A presso do ar diminui proporcionalmente ao comprimento do tubo. Assim,
se 10 psi de presso de ar entram em um tubo de 20 metros de comprimento e 7 mm de largura, a
presso na outra extremidade ser 8,6 psi.
Velocidade do gs: A velocidade na qual o gs se desloca na linha.

Perda de partculas
Para minimizar a perda de partculas na tubulao, essa deve sempre estar na horizontal, se
possvel, e ter o menor nmero de curvas. Se forem necessrias curvas na tubulao, o raio da
curva, medido pela parte interior da curvatura, no dever ser menor do que 15 cm (6). Alm
disso, o dimetro e o material da tubulao devem favorecer o transporte das partculas. A
tubulao de polmero condutivo Bev-A-Line com DI 3/8 geralmente instalada em coletores
mltiplos de aerossol e proporciona excelente transporte de partculas com custo razovel.
Alguns materiais para as tubulaes nem sempre esto disponveis, ou so viveis
economicamente, para reduzir as perdas de partculas, a seguinte lista est em ordem de
preferncia:
1.
2.
3.

Ao inoxidvel
Polmero condutivo
Polister

4.
5.
6.
7.
8.
9.

Vinil (se o plastificante no interferir)

Polietileno
Cobre
Vidro
Teflon
Alumnio.

Seo II.
Ambientes
Esta seo descreve o uso de ambientes especializados e de filtragem para controlar os efeitos
das partculas na produo.

Ambientes
Muitos processos modernos de alta tecnologia exigem limpeza. Especificamente, eles exigem a
ausncia de contaminao particulada. Alguns exemplos podem explicar isso melhor.
Exemplo Um: Na indstria de produo de semicondutores, comumente nos referimos a
semicondutores como circuitos integrados (CI), microchips ou chips. Um CI uma pea
plana de silcio encravada com traos muito pequenos (fios planos) que compem os transstores
e outros componentes. Os transstores podem operar como interruptor ou como amplificador de
sinais (voltagem, corrente ou energia).
Os traos de CI ficam to prximos entre si (0,09 m de distncia e ainda esto diminuindo) que
uma partcula posicionada em um trao poderia causar um curto circuito. Os fabricantes de
semicondutores precisam filtrar partculas aerotransportadas de dimenses iguais ou maiores do
que 0,09 m; partculas menores do que 0,09 m no so grandes o suficiente para causar um
curto circuito. Entretanto, com os traos ficando mais juntos, a demanda por monitores mais
sensveis aumentar.
Os CIs so dispositivos com vrias camadas, com cada camada extremamente fina, por isso, para
a produo, a rea da superfcie de um CI igual a:
rea(Superfcie do CI) = comprimento x largura x nmero de camadas
A densidade das reas de superfcie do CI aumenta a probabilidade de que partculas perdidas
possam destruir todo o chip. Controlar ou eliminar a contaminao por partculas no ambiente de
produo uma preocupao importante do fabricante de semicondutores.
Exemplo Dois: A indstria farmacutica comumente produz drogas parenterais. As drogas
parenterais (injetveis) no devem conter partculas que possam infectar o corpo humano ou
animal.
As partculas que afetam negativamente o corpo tendem a ser maiores do que 2,0 ou 3,0 m, e a
companhia farmacutica, como o produtor de semicondutores, deve controlar o ambiente de
produo para eliminar a contaminao por partculas. Geralmente, as companhias farmacuticas
determinam a limpeza do processo monitorando partculas de 0,5 m e determinam a
esterilidade do produto monitorando partculas de 5 m. Ao contrrio, a produo de
semicondutores tende a se concentrar em partculas que variam decrescentemente de 0,3 m a
0,05 m.

Controle da contaminao por partculas

H trs formas de se controlar partculas:
Eliminar as partculas existentes no ambiente de produo
Evitar ou restringir a importao de novas partculas para o ambiente de produo
Evitar a criao de novas partculas no processo de produo.

Filtragem
A filtragem essencial para controlar a contaminao por partculas. H duas etapas na
filtragem: direcionar as partculas para o filtro e capt-las no filtro. Direcionar as partculas para
o filtro mais difcil.

Direcionar as partculas para o filtro requer que pensemos nas partculas no ambiente de
instalaes tpicas. As instalaes tm vrias armadilhas de partculas (reas onde as partculas se
acumulam), grandes reas de superfcie e muitas fontes de contaminao. O mtodo de controle
de partculas ideal preserva o fluxo laminar sempre que possvel, de forma que o mximo
possvel de partculas seja conduzido para os filtros. Infelizmente, nem sempre possvel
preservar o fluxo laminar.
A captao de partculas dentro do filtro usa quatro princpios: peneiramento, impactao, fora
eletrosttica e movimento browniano. O material do filtro tem aberturas, ou poros, que permitem
que o ar ou lquido passe (seja peneirado) enquanto as fibras no filtro captam as partculas
maiores (impactao). As foras eletrostticas tm carga oposta s cargas das partculas, isso
ajuda a captar as partculas em uma placa ou fibra carregada. Mesmo assim, algumas partculas
menores podem escapulir por poros pequenos e resistir impactao, mas seu movimento
aleatrio (movimento browniano) no permite que elas escapem do filtro. Todos esses princpios
se combinam para tornar um filtro mais eficiente medida que envelhece.
Os filtros se tornam mais eficientes medida que as partculas gradualmente preenchem as
aberturas do material do filtro, por isso, haver menos reas disponveis para as partculas
escapulirem. Mas a maior contaminao do filtro deixa menos rea para o fluido passar e cria
uma maior presso no filtro e, conseqentemente, limita intensamente o fluxo que passa por ele.
Quando o filtro ficar saturado (completamente cheio de partculas), ele dever ser substitudo. s
vezes o material do filtro pode ser limpo e usado novamente. A Figura 3 mostra o material de um
filtro e a escala relativa de 25 m.

Figura 3: Material do filtro

Os materiais dos filtros se tornaram muito sofisticados e so feitos de fibras sintticas,

membranas (Gore-Tex), plsticos porosos ou cermica. Os padres de filtragem comuns so os
seguintes:

A filtragem HEPA (High Efficiency Particulate Air, ar particulado de alta eficincia) o

padro da indstria nos ambientes de produo ultralimpos ou ultrapuros. Os filtros
HEPA geralmente removem 99,99% das partculas iguais ou maiores do que a
especificao do filtro, que normalmente 0,3 m. A filtragem HEPA parte integral
dos sistemas HVAC (aquecimento/ventilao/ar condicionado).

A filtragem ULPA (Ultra Efficiency Particulate Air, ar de ultra baixa penetrao) remove
99,9997% das partculas iguais ou maiores do que 0,12 m. Ambientes de processos
ultralimpos requerem filtros UPLA.

Antigamente, estudos de contaminao por partculas exigiam um microscpio para contar e

dimensionar partculas no filtro. Essa tcnica era demorada, exigia muito de um laboratrio e no
fornecia monitoramento em tempo real. Hoje, a sofisticada instrumentao de contagem de
partculas executa a anlise dos filtros.

Salas limpas
Ambientes de processo limpo devem permanecer infalivelmente limpos, ento, apenas filtrar o
ar da fbrica no suficiente. Para minimizar a contaminao por partculas, importante
construir ambientes distintos, chamados salas limpas. Isso permite que os limites das partculas
sejam mantidos em nveis mensurveis e controlados. As salas limpas conseguem esses
excelentes nveis de limpeza maximizando o fluxo de ar laminar e minimizando as armadilhas de
partculas. O fluxo de ar laminar o ar que se move em uma nica direo, o que permite que as
partculas sejam eliminadas da rea. Armadilhas de partculas so reas nas quais partculas se
juntam e escapam do fluxo de ar laminar. Projetos cuidadosos de salas limpas podem minimizar
essas reas.
Em salas limpas eficientes, os filtros instalados no teto permitem que o ar filtrado seja
direcionado para o piso. O piso do assoalho tem pequenos furos que permitem que o ar passe
para baixo do piso, onde dutos de ar transportam o ar de volta aos filtros do teto. Esse processo
de filtragem pode trocar todo o volume de ar da sala limpa mais de trinta vezes por hora,
tornando o ambiente o mais limpo possvel e minimizando o movimento advectivo de partculas.
Uma maior reduo da contaminao em uma sala limpa exige que a equipe use roupas de
proteo, coberturas no cabelo e barba, capuzes, proteo de sapatos e luvas. Carinhosamente,
esse vesturio chamado de roupa de coelhinho. Nos ambientes mais limpos, os funcionrios
usam roupas de coelhinho ajustadas com capacetes e mscaras com respiradores que filtram o ar
exalado. O vesturio da sala limpa extremamente importante no controle da
microcontaminao para conter as partculas que so emitidas pelas pessoas.

Miniambientes e isoladores
As salas limpas mais avanadas tecnologicamente empregam miniambientes. Essas salas limpas
em miniatura tm poucos metros de profundidade e isolam o produto de fontes de contaminao
externas. Miniambientes tm seus prprios ventiladores de ar, filtros, controle de temperatura e
umidade, braos robticos internos ou luvas de borracha integradas. Por causa do seu tamanho,
os miniambientes so significantemente mais baratos do que as salas limpas, e o seu uso est
aumentando. Uma fbrica pode instalar miniambientes em uma sala limpa de classificao
menor, em vez de gastar grandes somas de dinheiro na construo de instalaes de ltima
gerao, e obter os mesmos resultados.

Classificao de salas limpas e miniambientes

O Padro Federal Americano 209E, publicado em 1963, definiu a classificao e o
monitoramento de salas limpas nos Estados Unidos. O Comit Europeu de Padronizao, em
cooperao com a International Standards Organization (ISO), desenvolveu os padres da
Europa. Padres diferentes causaram confuso, ento, em 1992, o American National Standards
Institute (ANSI) e o Institute of Environmental Sciences and Technology (IEST) dirigiu um
requerimento ISO para que essa desenvolvesse um padro internacional. A ISO desenvolveu
novos padres para a classificao e monitoramento de salas limpas e os publicou na ISO 14644.
Em novembro de 2001, os Estados Unidos adotaram os padres da ISO 14644 e revogaram
oficialmente o FS-209E. A Tabela 2 compara as classificaes de salas limpas da FS-209E e da
ISO 14644-1.
Classificaes de salas limpas
FS-209E

ISO 14644-1

(partculas por metro cbico)

10

100

1000

10000

100000

9
Tabela 2: FS209E e ISO

A ISO 14644-1 estabelece classes padro de limpeza de ar para salas limpas e zonas limpas
baseadas em concentraes especificadas de substncias particuladas aerotransportadas. Uma
sala limpa ISO Classe 1 no tem mais de 10 partculas maiores do que 0,1 m em qualquer metro
cbico de ar. Uma sala limpa ISO Classe 2 seria dez vezes mais suja do que a sala limpa Classe
1, e uma sala limpa ISO Classe 3 seria dez vezes mais suja do que a Classe 2, e assim por diante.
Os limites especficos de partculas permitidos para cada Classe ISO so exibidos na Tabela 3.
CLASS
ISO 1

ISO 2
ISO 3
ISO 4
ISO 5
ISO 6
ISO 7
ISO 8
ISO 9

Number of Particles per Cubic Meter by Micrometer Size

0.1 m
0.2 m
0.3 m
0.5 m
1.0 m
5.0 m

10
100
1,000
10,000
100,000
1,000,000

2
24
237
2,37 0
23,7 00
237 ,000

10
102
1,020
10,200
102,000

35
35 2
3,5 20
35 ,200
35 2,000
3,5 20,000
35 ,200,000

Tabela 3: Classificaes ISO de salas limpas

8
83
832
8,320
83,200
832,000
8,320,000

29
29 3
2,9 30
29 ,300
29 3,000

Padres para salas limpas

Em 1984, o Institute of Environmental Science and Technology esboou o IES-RP-CC-006-84T, que um mtodo de testes para salas limpas. As tcnicas de mensurao nos parmetros de
teste incluem o seguinte:

Velocidade e uniformidade do fluxo de ar

Integridade do filtro
Paralelismo do fluxo de ar
Tempo de recuperao da sala limpa
Contagem de partculas aerotransportadas
Taxa de liberao de partculas
Presso e contaminante da sala limpa
Taxa de induo
Nveis de iluminao e de rudos
Temperatura e umidade relativa
Vibrao.

O National Environment Balancing Bureau (NEBB) ampliou esse padro e oferece um outro
programa de certificao. Embora o programa de certificao do NEBB fornea informaes
teis, ele no exigido para a certificao de salas limpas.

Avaliao e certificao de salas limpas

A certificao de salas limpas acontece depois da construo ou de alteraes fsicas
significantes. A certificao garante que as instalaes atenderam aos requisitos de concentrao
mxima estatisticamente vlida de partculas aerotransportadas de tamanhos especificados. As
certificaes de salas limpas podem acontecer em trs estgios diferentes:
Como construda: Uma sala limpa certificada ISO Classe X, Instalaes como construdas
define uma sala limpa completamente construda e operacional, com todos os servios instalados
e operacionais, mas sem equipamentos de produo ou equipe de operao nas instalaes. Essa
certificao a mais comum, porque qualquer falha pode ser tratada e corrigida imediatamente
pelos projetistas e construtores da sala limpa.
Em repouso: Uma sala limpa certificada ISO Classe X, Instalaes em repouso define uma
sala limpa completamente construda e operacional, com equipamentos de produo instalados e
operacionais, ou operveis, mas sem a equipe nas instalaes. Essa certificao demonstra
conformidade contnua a partir da certificao Como construda. Salas limpas que foram
construdas, mas ficaram ociosas, ou salas limpas que foram modificadas, precisaro da
certificao Em repouso.
Operacional: Uma sala limpa certificada ISO Classe X, Instalaes operacionais define uma
sala limpa com operao normal de produo, incluindo os equipamentos e a equipe. Essa
certificao pode acontecer depois que um complemento parcial ou total do equipamento foi
instalado na sala limpa. A inteno demonstrar a conformidade contnua das salas limpas e a
manuteno dos padres de limpeza. A equipe de controle da sala limpa determinar se, e
quando, a sala limpa dever atender as certificaes Operacional.

Partculas depositadas
As certificaes de salas limpas no exigem a avaliao do depsito de partculas nas superfcies;
as certificaes de salas limpas avaliam apenas as partculas que se movem livremente no ar.
Entretanto, as partculas depositadas podem ter grande impacto nos processos de produo de
alta tecnologia.
Para avaliar o depsito de partculas, uma instalao pode coletar partculas depositadas em um
prato de prova. Um prato de prova um objeto plano sem partculas feito dos mesmos materiais
do produto que fabricado (por exemplo: se produzir produtos de plstico ABS, dever usar um
prato de prova de plstico ABS).
Vrios pratos de prova so colocados pela sala limpa, e os pratos devem coletar as partculas
depositadas. Depois de um perodo definido de tempo, a equipe de testes rene os pratos de
prova e conta as partculas depositadas. A contagem das partculas dos pratos de prova
geralmente requer microscopia ptica ou contadores de partculas de anlise de superfcie.
Atualmente, os sensores de depsito molecular podem efetivamente monitorar as taxas de
depsito de partculas. Esses sensores, como os pratos de prova, usam um material com contedo
semelhante ao produto produzido. O material revestido com SAW (Surface Acoustical Wave,
ondas acsticas de superfcie) com a mesma atrao por partculas do produto. Os sensores de
depsito molecular podem ajudar a reduzir, ou eliminar, testes de prato de prova, o que significa
economia.

Seo III.
Deteco de partculas
Esta seo descreve a tecnologia dos contadores de partculas e os mtodos mais comuns de
deteco, contagem e dimensionamento de partculas.

Deteco de partculas
A certificao de salas limpas um processo contnuo. Monitorar continuamente a qualidade do
ar garante que o sistema de filtragem est operando adequadamente e que no existe nenhuma
fonte geradora de partculas desconhecida.
Nos primrdios dos processos de produo limpa, filtros de testes capturavam partculas. Depois,
equipes em laboratrios usavam microscpios para confirmar o nmero e dimenses das
partculas capturadas. s vezes, a pessoa que contava as partculas podia determinar a
composio das partculas, por exemplo, p de cobre. Ignorando o tempo gasto no processo, a
microscopia ainda a melhor forma de obter informaes especficas sobre as partculas, mas
no fornece dados instantneos da contaminao. A microscopia revela eventos de partculas
histricos, no atuais.
Nos meados dos anos 50, aplicaes militares incentivaram o desenvolvimento dos primeiros
instrumentos de contagem de partculas. Esses dispositivos tornaram possvel monitorar nveis
instantneos de partculas e fornecer notificaes rpidas quando os nveis de contaminao
excediam os limites. Em vez de se esperar dias pela anlise das partculas, o que poderia permitir
que milhares de produtos com defeito passassem por um determinado processo, o contador de
partculas fornecia dados em minutos.
Gradualmente, essa tecnologia se expandiu para outros setores de produo, e a confiana na
nova tecnologia dos contadores de partculas cresceu. Engenheiros de processo que monitoravam
em tempo real os nveis de contaminao por partculas comearam a desenvolver processos que
fossem mais eficientes, com menos produtos defeituosos.
Atualmente, o contador de partculas continuamente melhora a produtividade ao fornecer
detalhes dos nveis, tendncias e fontes da contaminao por partculas. A equipe de produo
usa os dados das partculas para estudar as causas da contaminao, programar precisamente os
ciclos de manuteno das salas limpas, relacionar nveis de contaminao com processos de
produo e ajustar cada etapa da produo.

Contadores pticos de partculas

A maioria das pessoas j viu a poeira flutuando em um raio de sol. Quatro elementos so
necessrios para que a poeira seja vista: a luz do sol (ilumina a poeira), a poeira (reflete a luz do
sol), o ar (transporta a poeira) e os olhos (vem a poeira, ou mais precisamente, vem a luz
refletida pela poeira). Um contador ptico de partculas usa os mesmo elementos, mas maximiza
a eficcia. Os contadores de partculas usam uma fonte de luz de alta intensidade (um laser), um
fluxo de ar controlado (volume de exame) e detectores coletores de luz altamente sensveis (um
fotodetector).

Teoria da operao
Os contadores pticos de partculas a laser empregam cinco sistemas principais:
1. Lasers e ptica: O laser a fonte de luz preferida porque a sua luz tem um nico
comprimento de onda, o que significa apenas uma nica cor de luz de alta intensidade.
Lasers comuns so vermelhos, verdes ou quase infravermelhos. Os primeiros lasers eram
varetas de rubi. Eles foram substitudos por tubos de vidro cheios de um gs ou de uma
mistura de gases. Lasers de hlio-neon (HeNe) eram comumente usados em contadores
de partculas, mas foram gradualmente substitudos por diodos de laser de estado slido.

Atualmente, os diodos de laser so mais comuns porque oferecem sadas de energia

constantes, so menores, mais leves, mais econmicos e tm maiores MTBFs (mdia dos
tempos entre sucessivas falhas).
A ptica alinha e foca a luz de laser para que ela ilumine a regio da amostra de
partculas, chamada de volume de exame. Outras pticas coletam a luz dispersa e a
transmite para um fotodetector.
2. Volume de exame: O volume de exame um pequeno compartimento iluminado pelo
laser. O meio da amostra (ar, lquido ou gs) levado ao volume de exame, o laser passa
pelo meio, as partculas dispersam (refletem) a luz, e um fotodetector registra as fontes da
luz dispersa (as partculas).
3. Fotodetector: O fotodetector um dispositivo eltrico que sensvel luz. Quando as
partculas dispersam a luz, o fotodetector identifica o flash de luz, e o converte em sinal
eltrico, ou pulso. Partculas pequenas dispersam pequenos pulsos de luz, e partculas
grandes dispersam grandes pulsos de luz. Um amplificador converte os pulsos em uma
voltagem de controle proporcional.
4. Analisador de amplitude de pulsos: Os pulsos do fotodetector so enviados a um
analisador de amplitude de pulsos (PHA). O PHA examina a magnitude do pulso e coloca
seu valor em um canal de dimensionamento apropriado, chamado compartimento. Os
compartimentos contm os dados de cada pulso, e esses dados se relacionam s
dimenses das partculas.
5. Caixa preta: A caixa preta, ou circuitos de suporte, examina o nmero de pulsos em cada
compartimento e converte as informaes nos dados das partculas. Geralmente, os
computadores exibiro e analisaro os dados.

Comentrios sobre os contadores de partculas a laser

1. Contadores de partculas no contam partculas
Os contadores de partculas contam os pulsos da luz dispersa pelas partculas ou, em alguns
casos, contam as sombras formadas por partculas iluminadas. A quantidade de luz que uma
partcula dispersa, ou ofusca, pode variar com diversos fatores diferentes, inclusive os seguintes:

A forma da partcula:
o Raramente as partculas so planas e esfricas como as partculas de PSL usadas
na calibragem dos contadores de partculas. Geralmente, as partculas so flocos
de pele ou fibras recortadas. A quantidade de luz que as partculas dispersam
quando flutuam lateralmente pelo volume de exame diferente da quantidade de
luz que dispersam quando so transportadas longitudinalmente.

O albedo (refletividade) da partcula:

o Algumas partculas so mais reflexivas do que outras, por exemplo, o alumnio, e
resultaro mais luz dispersa no fotodetector. O fotodetector produz um pulso
maior, e o contador de partculas entende que a partcula maior do que seu
tamanho real. Reciprocamente, algumas partculas so menos reflexivas, por
exemplo, o carbono, e o contador de partculas entende que uma partcula menor
do que a real passou pelo volume de exame.

2. Contadores de partculas no contam todas as partculas contidas em

um volume
Por exemplo, em uma sala limpa de 460 m com p direito de 3,7 m, um contador de partculas
de 1,0 CFM analisar apenas 1/60.000 (ou 0,0000167%) de todo o ar da sala em um minuto. Em
uma hora, o contador de partculas contar sessenta vezes mais ar, o equivalente a apenas
0,001% do volume total da sala. Se levarmos em conta que apenas um pequeno volume serve de
amostra, os contadores de partculas devero ter amostras suficientes dos meios (ar, lquido ou
gs) para representarem estatisticamente todo o volume. Isso chamado de significncia
estatstica e a representao vlida de todo o volume. A ISO fornece uma frmula especfica,
baseada em volumes de amostras, para determinar quando uma amostra atende significncia
estatstica.
As tcnicas de amostragem parecem simples, mas as partculas nunca se dispersam
verdadeiramente (no se espalham uniformemente) no volume de uma amostra. As partculas
tendem a permanecer no fluxo laminar, se acumular no fluxo turbulento, se aderir a superfcies e
subir no ar quente. Embora as salas limpas minimizem essas armadilhas de partculas e esses
problemas, sempre haver reas nas quais as partculas se uniro.

Tipos de contadores de partculas

H diversas variedades de contadores de partculas. As principais diferenas dependem do meio
no qual as partculas esto suspensas: ar, lquido, gs, vcuo ou meio atmosfrico/
meteorolgico.

Partculas aerotransportadas: Os contadores de partculas aerotransportadas medem a

contaminao de salas limpas com filtros HEPA, montagens de unidades de disco, produo de
remdios, pequenos bancos de testes, instalaes de lanamento de foguetes e centenas de
diferentes aplicaes de ar controlado.

Partculas lquidas: Os contadores de partculas lquidas medem a contaminao em tudo,

inclusive em gua potvel, drogas injetveis, fluidos de transmisso e cidos fluordricos. Alguns
contadores de partculas lquidas precisam de um acessrio chamado de Coletores de amostras.
O coletor de amostras se comunica com o contador de partculas, extrai automaticamente um
volume preciso de lquido e, programado com a taxa de distribuio especfica do contador,
passa o lquido para o contador de partculas. Alguns contadores de partculas lquidas se
conectam diretamente a encanamentos ou usam gases pressurizados para eliminar bolhas em
produtos qumicos.

Partculas de gs: Os contadores de partculas de gs medem a contaminao suspensa em

gases. Esses gases podem ser inertes ou volteis, secos (anidros) ou com traos de vapores de
gua. Geralmente, o modelo do contador de partculas de gs fornece medidas de contaminao
com presses que variam de 40 a 150 psig.

Partculas do vcuo: Os contadores de partculas do vcuo preenchem um nicho de

mercado, onde os processos ocorrem sob presses negativas (vcuo), e oferecem desafios. As
partculas no apresentam movimento previsvel no vcuo, por isso, contadores de partculas
especializados devem depender da cintica de uma partcula para deteco.

Contadores atmosfricos/meteorolgicos: Uma das aplicaes originais dos

contadores de partculas, contadores de partculas atmosfricos ou meteorolgicos examinam a

contaminao atmosfrica, como poluio, ou fornecem anlises detalhadas do clima. Esses
instrumentos medem gotculas de gua, cristais de gelo, ncleos de condensao ou

contaminao de elementos oriundos de incndios em leo e erupes vulcnicas transportados

pelo vento ou por correntes de ar eewa.

Variaes das tecnologias dos contadores de partculas

Diversas variaes tecnolgicas podem ser usadas quando se projeta um contador de partculas.
A aplicao indica a tecnologia variante empregada no contador de partculas. Alm disso, os
lasers escolhidos para tecnologias variantes so selecionados para sua proficincia de
dimensionamento de partculas.
A intensidade do laser no uniforme. Especificamente, um laser mais intenso no centro do
que nas laterais. A intensidade do laser ilustra a distribuio gaussiana ou distribuio em forma
de sino. Alguns contadores de partculas usam mscaras pticas especiais para exibirem apenas a
poro central do laser. A Figura 4 ilustra um feixe de laser real mapeado em grade. Os nveis de
intensidade do laser alcanam um pico (reas branca e vermelha), que o centro do feixe de
laser.

Figura 4: Perfil do laser (cortesia da CrystaLaser)

Disperso X Extino

Tanto as tecnologias de disperso como de extino usam um laser para iluminar uma rea de
exame. Os contadores de partculas de disperso medem a luz refletida de uma partcula
medida que ela passa pela regio de exame. Os contadores de partculas de extino iluminam
todo o volume de exame e medem a sombra de uma partcula (reas nas quais a luz est extinta,
apagada) medida que ela passa pela regio de exame. A tecnologia de extino apenas usada
em contadores de partculas lquidas que dimensionam partculas maiores do que 2,0 m. Se a
tecnologia de disperso fosse usada em partculas grandes, o fotodetector ficaria cego por causa
da luz intensa dispersa.

Contadores volumtricos X No-volumtricos

Os contadores de partculas volumtricos examinam as partculas em todo o volume da amostra.

Os contadores de partculas no-volumtricos observam apenas uma pequena poro
representativa de todo o volume da amostra. Geralmente, os contadores de partculas novolumtricos tm maiores taxas de fluxo e permitem que mais do volume total faa parte da
amostra; por outro lado, eles renunciam algumas diferenciaes nos canais de dimensionamento
de partculas, o que chamado de resoluo. Os contadores de partculas volumtricos
geralmente examinam lquidos mais lentamente, mas oferecem muitos canais de
dimensionamento de partculas e melhor resoluo.

Espectrmetro X Monitor

Como mencionado anteriormente, a intensidade do feixe de laser no uniforme em todo o perfil

do feixe. Os espectrmetros usam apenas o centro do feixe de laser, e os monitores usam toda a
extenso do feixe de laser.
Os espectrmetros usam a parte central do feixe de laser porque ali a intensidade do laser
constante. Fontes de luz mais constantes proporcionam maior preciso na deteco de partculas,
por isso um espectrmetro pode facilmente discernir pequenas diferenas nas dimenses das
partculas e oferecer melhor resoluo.
Monitores usam todo o feixe de laser, por isso, no podem perceber pequenas diferenas entre as
dimenses das partculas. A Figura 5 ilustra que quando uma partcula passa pela extremidade do
feixe de laser est sujeita luz de menor intensidade do que a mesma partcula quando passa
pelo centro do feixe de laser. As amplitudes de pulso relativas, exibidas a seguir no diagrama,
ilustram o pulso e o rudo de fundo de uma partcula (rudo eltrico de fundo). Como mostrado, a
mesma partcula criar amplitudes de pulsos diferentes dependendo de onde entrar no feixe de
laser. Da mesma forma, uma partcula maior que passa pela extremidade do feixe pode
proporcionar a mesma amplitude de pulso de uma partcula pequena que passa pelo centro do
feixe. Conseqentemente, monitores incluem apenas poucos canais de dimensionamento, com
distncias suficientes entre os canais, para compensar esse erro de dimensionamento.

Figura 5: Intensidade de laser e erros de dimensionamento

A escolha entre espectrmetros e monitores:

Em uma intensidade de luz especfica, partculas pequenas dispersam uma pequena quantidade
de luz (opaco), e partculas grandes dispersam grandes quantidades de luz (brilhante).
Em um projeto perfeito, uma partcula que passa por um feixe de laser primeiramente emitir um
flash opaco de luz quando entrar no feixe, lentamente brilhar quando atingir o centro do feixe e
ficar mais opaca quando sair do feixe. No mundo real, como a partcula no se inclina para o
centro do feixe, provavelmente transitar na extremidade do feixe, resultando um flash opaco.
A menos que a poro examinada do laser (a parte visvel para o fotodetector) esteja limitada
ao centro do feixe, impossvel para o analisador de altura de pulsos determinar se um flash
opaco foi causado por uma partcula pequena que transita no centro do feixe ou por uma
partcula grande que transita na extremidade do feixe. Por isso, a capacidade do contador de
partculas de medir precisamente as dimenses das partculas limita-se tecnologia empregada.
Os espectrmetros usam tcnicas de foco ou mscara para limitarem a regio de exame parte
central do feixe de laser.
Alm disso, eles precisam de volumes de amostras menores e taxas de fluxo mais baixas, porque
ser mais fcil determinar as dimenses de uma partcula se ela passar lentamente pelo feixe de
laser.
Essa tecnologia fornece dados especficos do dimensionamento das partculas. A preciso de
dimensionamento do espectrmetro o torna o instrumento preferido para a conduo de exames
de filtros, anlise de problemas especficos de contaminao por partculas, elucidao de

deteco de partculas monodispersas e verificao de precises de contadores de partculas

menos precisos.
H muitas aplicaes nas quais o dimensionamento preciso de determinadas partculas no tem
conseqncias. Essas aplicaes apenas exigem informaes gerais sobre as partculas, ento, um
monitor de partculas adequado. Alm disso, considerando a sensibilidade dimenso de
qualquer partcula, um monitor analisa volumes maiores com taxas de fluxo mais altas e
proporciona mais dados de partculas. Por exemplo, o monitor o instrumento preferido para o
monitoramento de diversos pontos de um sistema de gua desionisada (DI) ou de um sistema de
tubulao integrado de uma fbrica.

Contadores de partculas de condensao

Todas as tcnicas de contagem de partculas so limitadas pela dimenso da menor partcula que
puder ser detectada. Ou seja, chegamos a um ponto em que a partcula to pequena que a luz
dispersa no pode ser distinguida do rudo de fundo. O rudo de fundo semelhante esttica
eltrica e um subproduto de operaes eltricas. Quando a partcula pequena demais para ser
distinguida do rudo de fundo, contadores de partculas especiais fazem as dimenses das
partculas ficarem maiores, permitindo a sua deteco. Esses contadores de partculas so
chamados de Contadores de Partculas de Condensao (CPC).
O CPC contm um reservatrio de lquido voltil, por exemplo, lcool butlico. A amostra de ar
flui por uma cmera aquecida onde o vapor de lcool se mistura com o ar da amostra. Depois, a
amostra do ar e o vapor de lcool fluem por uma cmara de condensao fria, onde o vapor de
lcool se torna supersaturado e se condensa nas partculas. Usando essa tcnica, gotculas de
lcool microscpicas podem envolver partculas de dimenses to pequenas quanto 0,01 m e
transform-las em gotculas de partcula/lcool que medem entre 1 e 2 m. Esse tamanho de
partcula facilmente detectado.
O modelo do CPC difunde todo o excesso de lcool nas paredes da cmara de condensao de
forma que as gotculas no sero adicionadas aos contadores de partculas. Como os contadores
pticos de partculas, os CPCs com menores dimetros de partculas detectveis so mais
complexos e exigem mais manuteno.
H desvantagens quando se compara um CPC e um OPC: Os CPCs exigem o reabastecimento
peridico dos reservatrios de lcool, o lcool butlico tem cheiro desagradvel, os CPCs de
lcool no-butlico usam um lquido caro de fluorocarbono e, se o CPC acidentalmente
transbordar, no haver dados resultantes at que as partes que transbordaram voltem ao normal.
Em muitos ambientes (ISO Classe 6 ou mais sujos), um CPC detectaria tantas partculas que no
poderia fazer uma contagem suficientemente rpida, ento, os dados seriam incorretos. Alm
disso, diferentemente do OPC, o CPC no pode relatar informaes sobre as dimenses das
partculas. Como o CPC torna todas as partculas com o mesmo dimetro, ele relatar apenas a
presena de uma partcula e no sua dimenso!

O USO DE CONTADORES DE PARTCULAS

Para usar eficazmente um contador de partculas, ele dever ser manuseado, instalado e operado
corretamente. Seguir algumas diretrizes garante que o instrumento opera corretamente e colhe
amostras estatisticamente vlidas.
Os contadores de partculas no so como outros equipamentos de testes comuns. Eles incluem
lasers, pticas especializadas, placas de circuito impresso (PCB) e regies de amostragem
meticulosamente alinhadas. So extremamente sensveis aos estresses do ambiente, como

vibraes, EMI (interferncia eletromagntica), extremos de calor ou frio e sujeira. Os

contadores de partculas so instrumentos eletrnicos sensveis e de alto desempenho.

Diretrizes para o manuseio os contadores de partculas

Primeiro, sempre leia o manual do contador de partculas. O manual fornece as melhores
sugestes para a operao do contador de partculas; deixar de conhecer os procedimentos de
instalao adequados pode causar desperdcio de tempo e dinheiro.

Desembalagem
Muitos contadores de partculas so fabricados e embalados em ambientes de salas limpas. No
remova a embalagem de plstico que cobre o contador de partculas at que o instrumento esteja
dentro do ambiente em que ser usado. Isso ser especialmente necessrio se o contador de
partculas for operar em uma sala limpa. Seguir essas diretrizes minimizar a exposio do
contador de partculas sujeira e umidade que contaminam as suas superfcies pticas.

Instalao
A rea de instalao no deve estar sujeita a vibraes de outros equipamentos e deve estar na
temperatura normal da sala (70F/21C). Coloque o contador de partculas em uma superfcie
nivelada e limpa prximo tomada de corrente alternada condicionada. Evite colocar o
instrumento em um ambiente com rudos eltricos, com muitos picos de voltagem originados de
motores eltricos, rels, transformadores, entre outros. Rudos eltricos podem gerar contagens
de partculas falsas.

Armazenamento
Se for o caso, retire todos os produtos qumicos corrosivos (nos contadores de partculas
lquidas) e os substitua por fluido limpador de pra-brisa prova de congelamento. Embrulhe o
contador de partculas em uma embalagem de plstico, antes de remov-lo do ambiente limpo,
lacre e rotule o pacote. O rtulo deve informar o tipo de contador de partculas, a data, o motivo
do armazenamento, o nmero de srie e a data de expirao da calibragem. Quando for
necessrio novamente, o contador de partculas estar pronto para ser enviado de volta ao local
de calibragem ou reparo.

Registros do instrumento
Considere criar e manter um registro que indique a data em que o instrumento foi colocado em
servio, quando a calibragem expira, o tempo que foi usado, a data de manutenes preventivas
(limpeza ptica, etc.), percalos ou danos e qualquer desempenho fora do comum percebido
pelos operadores.

Manuteno
Os contadores de partculas precisam de manuteno de rotina que geralmente inclui limpeza das
superfcies pticas. Com o tempo, as superfcies pticas acumulam sujeira que pode dissipar a
luz do laser; nos contadores de partculas lquidas, isso se chama DC Light. DC Light a medida
de corrente direta (DC) correlacionada quantidade de luz dispersa que passa por lquidos ou
superfcies de reteno. Um valor excessivo de DC light pode resultar uma contagem de
partculas menos sensvel ou falsa. Para evitar isso, siga as instrues que acompanham o
contador de partculas, pois a limpeza deve ser executada pelo usurio, como a maioria dos
instrumentos. Siga as instrues com cuidado e, se voc no estiver seguro do que est fazendo,
no continue. Entre em contato com o fabricante para obter mais instrues.

APLICAES DOS CONTADORES DE PARTCULAS

Esta seo descreve como o equipamento de contagem de partculas pode ser usado.

Controle de tendncias
Raramente til saber quantas partculas esto em uma sala; mais til saber se a contaminao
da sala aumenta ou diminui com o tempo. Isso se chama controle de tendncias, e os contadores
de partculas fornecem uma anlise detalhada da tendncia da contaminao por partculas. Isso
, monitoram as alteraes graduais ou repentinas dos nveis de contaminao do ambiente.
Essas informaes podem dizer ao operador se h um problema de filtragem, se uma ferramenta
ou processo est sujo ou se algum deixou uma porta ou vlvula aberta.
H aplicaes mais sofisticadas para os contadores de partculas. Isso ser abordado
posteriormente.

Amostragem estatisticamente vlida

Vale a pena repetir esse conceito importante, discutido anteriormente. Uma amostra
estatisticamente vlida uma amostra que representativa, no contedo e nas caractersticas, do
meio que testado. As contagens de partculas podem ser maiores em correntes de conveco ou
em superfcies, mas em geral, os princpios da difuso mostram que a amostra de uma rea de
uma sala fornecer dados semelhantes da amostra de outra rea da sala.

Normalizao de dados
Um contador de partculas colhe amostras do meio em uma taxa de fluxo constante e conta as
partculas desse meio. Os dados coletados pelo contador de partculas podem ser visualizados de
duas formas:
Contagens brutas: O nmero total de partculas em um canal de dimensionamento
especfico. As contagens brutas no so calculadas como funo do volume da amostra,
por isso, os dados no informam valores de contaminao volumtrica. Esses dados so
teis em algumas aplicaes, alm de na calibragem do instrumento.
Contagens normalizadas: O nmero total de partculas dividido pelo volume amostrado.
As contagens normalizadas relacionam contagens de partculas com volumes de
amostras, por isso, os dados informam as concentraes de partculas por unidade de
volume (ft3, m3, ml, etc.).

Seo IV.
Hardware e acessrios
A seguinte seo descreve os tipos de diferentes de contadores de partculas e hardware
associados. Alm disso, discutiremos aplicaes especficas de cada tipo de contador de
partculas.

CONTADORES DE PARTCULAS AEROTRANSPORTADAS

Os contadores de partculas aerotransportadas detectam e medem a contaminao por partculas

no ar. Geralmente, monitoram a contaminao por partculas em ambientes limpos, como salas
limpas ou miniambientes. Alm de monitorarem o ar de uma sala, os contadores de partculas
aerotransportadas podem monitorar as partculas no ar de um grande instrumento de
processamento.
O monitoramento da eficincia de filtros outra aplicao comum. O contador de partculas
coleta o ar quando ele entra e sai do filtro. O nmero de contagens afluentes (que fluem para o
interior) comparado ao nmero de contagens efluentes (que fluem para o exterior). A razo
entre esses dois valores determina a eficincia de um filtro. Se forem necessrios testes
automticos, o contador de partculas pode incluir alarmes para limites de partculas aceitveis e
enviar uma notificao quando o filtro no passar nos testes de eficincia.
O monitoramento, verificao e teste de salas limpas so as aplicaes mais comuns dos
contadores de partculas aerotransportadas. Esses contadores de partculas so colocados
prximos a um processo em teste e renem dados constantemente. Quando a contaminao
atinge nveis acima dos limites do contador de partculas programveis, um alarme audvel e/ou
visual alerta a equipe de produo.
Em qualquer aplicao, um contador de partculas deve coletar amostras suficientes do meio,
para que existam dados estatisticamente vlidos. Especificamente, se estiver sendo executada a
amostragem de uma grande sala limpa, o contador de partculas dever coletar amostras de
diferentes locais da sala. Os documentos da ISO oferecem sugestes para o nmero de locais de
amostragem:
Nmero de locais de amostragens =

Area(m 2 )

Portanto, se uma sala limpa mede 10.000 ft, primeiramente, converta a medida para m, ache a
raiz quadrada e arredonde.

Area (m 2 ) = ft 2 0.092903
10,000 ft 2 0.092903
929.03 m 2
929.03 m 2
30.48 31 sample locations
O monitoramento eficaz dessa sala limpa deveria incluir trinta locais de amostragens diferentes.
Outra opo executar testes em salas limpas usando um dos seguintes mtodos:

Usando um coletor mltiplo de aerossol (descrito a seguir)

Movendo o contador de partculas de um lugar para outro
Demonstrando que uma amostra estatisticamente vlida pode ser coletada em um nico
local.

Selecionar um contador de partculas aerotransportadas especfico requer algumas decises. As

dimenses dos canais variam de 0,06 m no menor a centenas de micra no maior e, dependendo
do modelo, o nmero de canais e variao das dimenses pr-definido ou programvel. Outras

caractersticas incluem taxas de fluxo diferentes, processamento de estatsticas, modos de

certificao automatizados e quase nenhum recurso para atender a maioria das aplicaes de
partculas aerotransportadas.

Contador de partculas aerotransportadas porttil

Contadores de partculas aerotransportadas portteis so ligeiramente maiores do que a mo de
uma pessoa e so comumente usados para detectar e isolar fontes de contaminao. Eles podem
empregar uma sonda na extremidade de uma mangueira que emite diferentes tons (como um
contador Geiger ou um detector de metais) que correspondem s concentraes de partculas.

Coletor mltiplo de aerossol

Os coletores mltiplos de aerossol usam um nico contador de partculas para coletar amostras
de ar de diferentes locais. O coletor mltiplo de aerossol um dispositivo que geralmente
controlado por um contador de partculas com diversas mangueiras de entrada de ar dos locais de
onde se colhem as amostras e uma mangueira de sada ligada ao contador de partculas.
O coletor usa uma grande bomba que fornece fluxo de ar de 100 CFM para direcionar partculas
de todas as portas para o contador de partculas. Seqencialmente, o contador de partculas coleta
amostras de um lugar, depois de um perodo de tempo (geralmente um minuto), o coletor
mltiplo segue para a prxima mangueira de entrada da seqncia e repete o processo. Coletores
bem projetados minimizam a perda de partculas na tubulao de transporte e limitam a
contaminao cruzada. A contaminao cruzada acontece quando as partculas vazam de uma
porta de amostra para outra.
A Figura 6 mostra as partes bsicas de um sistema de coletores mltiplos de aerossol.

Figura 6: Coletor mltiplo de aerossol ( direita), bomba ( esquerda) e caixa de controle (em cima)

Sondas de amostragem
As sondas de amostragem se conectam extremidade do tubo de amostra e fornecem dados mais
precisos. O ar da sala limpa geralmente tem fluxo laminar com velocidades que variam de 14
m/min a 27 m/min. Algumas sondas so dimensionadas para fornecer equalizao de velocidades
entre o contador de partculas e o ar da sala; essas sondas de amostragem so conhecidas como
isocinticas. Assim, a sonda de amostragem captura partculas na mesma velocidade do ar da
amostra e proporciona contagens de partculas normalizadas precisas. Consulte a Figura 7.

Figura 7: Sonda de amostragem (acima) e encaixe do adaptador da tubulao (abaixo)

Difusor de alta presso

Os contadores de partculas aerotransportadas padro coletam amostras de ar a 1,0 ft/min e
presso de 1,0 atm (14,6959 psi). Os difusores de alta presso reduzem presses (de 40 a 100 psi)
dos sistemas de gs pressurizados para que os gases possam ser analisados por um contador de
partculas aerotransportadas.
Entretanto, os HPDs devem analisar apenas gases pressurizados inertes. Os difusores de alta
presso despejam gases pressurizados na sala, se esses gases no forem inertes, danos srios
podero ocorrer.

Sensores ambientais
Os sensores ambientais podem medir temperatura, umidade relativa, presso diferencial do ar,
velocidade do ar, etc. O contador de partculas e o FMS (Facility Monitoring System, sistema de
monitoramento das instalaes) interpretam os dados da sonda ambiental e os exibem em um
formato legvel.

CONTADORES DE PARTCULAS LQUIDAS

Os contadores de partculas lquidas contam partculas em quase todos os tipos de lquidos: gua,
cido fluordrico, petroqumicos e drogas injetveis so aplicaes comuns.
Geralmente, eles monitoram a eficcia dos filtros ou fazem o controle de qualidade dos
dispositivos em aplicaes de amostragem em grupos.

Coletores de amostras de lquidos

Coletores de amostras de lquidos extraem um volume de lquido preciso e, com uma taxa de
transferncia fixa, enviam a amostra ao contador de partculas lquidas. Lquidos
despressurizados so uma aplicao comum para os coletores de amostras de lquidos, incluindo
testes em provetas e frascos.
Se for usado indevidamente, um coletor de amostras de lquidos pode produzir cavitaes e criar
bolhas no lquido. Bolhas se tornam um problema porque podem acumular partculas
(aglomerao). Alm disso, a maioria das bolhas presentes em substncias qumicas de processos
tende a ter as dimenses de partculas grandes (geralmente, maior do que 1,0 m).
Alguns coletores de amostra de lquidos reduzem ou eliminam a efervescncia (borbulhamento)
atravs da compresso. O coletor de amostras de lquidos tem uma cmara que comporta a
amostra do lquido, enquanto presses (>35 psi) comprimem as bolhas e as eliminam do lquido.

Mdulos de exame
Os mdulos de exame para lquidos so anlogos aos dos contadores de partculas do vcuo: eles
proporcionam um mtodo de monitoramentos de partculas sem desviar o fluxo.

Corrosivos e encanamento
Contar partculas suspensas em lquidos, especialmente lquidos corrosivos, exige contadores de
partculas com superfcies internas molhadas que no se dissolvam ou soltem gases txicos
quando coletarem amostras de corrosivos.
A Particle Measuring Systems usa diversos materiais e plsticos pticos diferentes para as
superfcies molhadas dos contadores de partculas lquidas:

ptica
Slica fundida: Material semelhante ao vidro, a slica fundida compatvel com a maioria
dos produtos qumicos, exceto o cido fluordrico.
Safira: Compatvel com a maioria dos produtos qumicos usados na indstria de
semicondutores, inclusive com o cido fluordrico.
Fluoreto de magnsio: Compatvel com a maioria dos produtos qumicos, exceto o
fluoreto de amnio e perxido de hidrognio.
Encanamento
Polifluoreto de vinilideno (PVDF): Termoplstico usado em muitas clulas de
amostragem, mas no-recomendado para uso prolongado com acetona.
Perfluoroalcxico (PFA) Teflon: Fluoropolmero usado em algumas clulas de
amostragem, o PFA Teflon fica poroso em contato com alguns produtos qumicos. Outros
materiais incluem Teflon, KalRez (um O-ring caro) e Kel-F.

Compatibilidade qumica
Antes de colocar qualquer produto qumico em um contador de partculas lquidas, importante:
se certificar de que o produto compatvel com as superfcies molhadas do contador de
partculas, do coletor mltiplo de lquidos e de toda a tubulao acessria, inclusive a
tubulao do instrumento,
se certificar de que o produto qumico no reagir com qualquer resduo de produtos
qumicos de amostras anteriores.
Se tiver dvidas quanto compatibilidade dos produtos qumicos, entre em contato com o
fabricante do contador de partculas.

CONTADORES DE PARTCULAS DE GS
Contadores de partculas de gs determinam a pureza de vrios gases, inertes ou reativos. Um
contador de partculas de gs um contador de partculas aerotransportadas especializado que
conta partculas submetidas presso. Alguns contadores de partculas de gs podem coletar
amostras sob presses do cilindro (at 150 psi), e outros so adequados para presses de linha
(reduzidas).
Adquirir e analisar amostras de gases representativas pode ser difcil. Os desafios em fbricas de
semicondutores incluem conectar o contador de partculas ao abastecimento de gs. Geralmente,
o suprimento de gs se origina em uma instalao de processamento fora da fbrica de
semicondutores, com tubos de ao inoxidvel de grande dimetro transportando o gs do
abastecimento para a fbrica. Se a aplicao exigir a anlise de partculas no gs antes de
atingirem a fbrica de semicondutores, uma porta de amostragem dever ser adicionada aos
tubos de abastecimento de gs, de onde o contador de partculas extrair amostras.
Mesmo assim, o gs semicondutor no contm muitas partculas, por isso, a gravidade e a
difuso podem tornar difcil a captura de amostras estatisticamente vlidas das poucas partculas

presentes. O mtodo preferido de captura de partculas requer um encaixe no tubo, com o cano
da amostra conectado ao encaixe e inserido no centro do dimetro do tubo. Geralmente, outros
contadores de partculas de gs so colocados prximos aos pontos de uso para a verificao
final da qualidade do gs.
Algumas aplicaes usam sistemas de anlise de gases que consistem em um HPD caseiro
conectado a um contador de partculas aerotransportadas. Os HPDs fabricados pela Particle
Measuring Systems contm muitos recursos patenteados que evoluram depois de iniciativas
prolongadas na anlise de gs ultralimpo. Quase nenhum dos difusores caseiros funciona. A
falha de contagem zero quando coleta gs filtrado e a aleatoriedade das contagens de partculas
so problemas que os engenheiros da Particle Measuring Systems superaram antes de os
difusores de alta presso estarem prontos para o mercado.

Contador de partculas de gs X Contador de partculas aerotransportadas com

HPD
Quando for decidir se deve usar um contador de partculas de alta presso ou um contador de
partculas aerotransportadas com difusor de alta presso, leve o seguinte em considerao:
O custo do gs (o HPD consome mais gs do que analisa)
A taxa de fluxo de amostra desejada (a maioria dos HPDs apenas aceita presses at 100
psig)
A rea do instrumento (devido tubulao interna, os contadores de partculas de gs so
maiores do que os contadores de partculas aerotransportadas)
A sensibilidade do dimensionamento das partculas/instrumentos
As opes de exibio dos dados.
O fabricante do contador de partculas pode fornecer sugestes relacionadas escolha correta
para a sua aplicao de gs pressurizado.

Seo V.
Integrao de dados
Esta seo descreve como as tecnologias de deteco de partculas operam juntas para gerenciar
a contaminao.

Sistemas de monitoramento de instalaes

Um sistema de monitoramento de instalaes (FMS) fornece comunicaes de dados e um local

de monitoramento central para todos os contadores de partculas, coletores de amostras, coletores
mltiplos, sensores ambientais e equipamentos de avaliao de microcontaminao. O FMS
coleta e analisa dados das partculas, correlaciona os dados aos eventos, como portas ou vlvulas
abertas, falhas de filtros ou problemas de fluxo.
O exemplo da instalao de produo farmacutica com salas limpas (exibido na Figura 6) ilustra
contadores de partculas comumente usados operando no FMS. A explicao detalhada dos
componentes apresentada a seguir.

Figura 6: Instalaes de uma produo farmacutica

Software do sistema de gerenciamento de instalaes (Facility Net)

O software do sistema de gerenciamento de instalaes (FMS) permite que o operador receba o
status de todos os dispositivos conectados. O software tem recursos que aciona alarmes, gera
relatrios e grficos, analisa dados, executa processos estatsticos e notifica aos usurios, por
sistemas de e-mail ou pager, problemas nas instalaes.
Cada dispositivo do contador de partculas se conecta ao computador do FMS. Na Figura 6, o
software Facility Net da Particle Measuring Systems opera como uma estao de controle central
de cada dispositivo, e gerencia todos os dados coletados. Outros computadores conectados rede
do FMS podem acessar os dados em tempo real. Alm das aes mencionadas anteriormente, o
software Facility Net poder executar o seguinte:

Analisar dados das partculas

Controlar tendncias das partculas
Acionar alarmes locais ou remotos, se estes problemas ocorrerem:

o
o
o
o
o

As contagens mximas de partculas excederem os limites

As temperaturas excederem valores mximos ou mnimos
A umidade relativa exceder valores mximos ou mnimos
A calibragem expirar
As mdias das partculas excederem limites.

LiQuilaz (Contador de partculas lquidas) para limpeza de peas e

banhos de cido
Nessa parte das instalaes, os lquidos dos processos ou o banho de cido requer testes.
Monitorar a eficincia do filtro do lquido requer dois contadores de partculas lquidas, mas
monitorar o cido requer um coletor de amostras lquidas corrosivas. Calcular a eficincia de
filtros uma comparao entre a quantidade de contaminao por partculas no lquido antes da
filtragem e a quantidade depois da filtragem. Esse teste determina quando os filtros precisam ser
substitudos, se h um furo no material do filtro, ou se o lquido est sujo demais para ser usado.

Contador porttil LASAIR II (Contador de partculas aerotransportadas)

Esse contador de partculas aerotransportadas pode determinar fontes de partculas localizadas,
certificar a sala limpa, verificar filtros HEPA ou determinar a pureza geral das instalaes.
Inspees peridicas das instalaes exigem a verificao de todos os filtros, por isso um
contador de partculas aerotransportadas imprescindvel.

APSS-200 (Contador de partculas lquidas)

O sistema de amostragem com seringa APSS-200 foi criado para dimensionar e contar matria
particulada suspensa em vrios tipos de lquidos. Esse sistema coleta amostras de pequenos lotes,
segue todos os requisitos atuais do teste USP <788> e pode se adaptar a futuras alteraes
normativas. Diferentemente das aplicaes dos semicondutores, nas quais partculas de submicra
afetam o produto, aplicativos parenterais exigem contadores de partculas que detectem
partculas maiores do que 2 m.

ENODE (Controlador de entrada e sada)

ENODE um dispositivo modular de Ethernet (rede) que se integra diretamente ao software
Facility Net. O ENODE monitora entradas digitais e analgicas, contatos de sada de alarmes
(digital ou de retransmisso) e envia os dados ao software para anlise. As entradas podem
incluir sensores de temperatura e umidade relativa ou chaves eletrnicas que notificam ao
software quando a porta de um processo aberta. O dispositivo ENODE a soluo para
diversas aplicaes de monitoramento e controle.

Gerenciamento, validao e instalao de projetos

Cada sistema de contaminao deve ter pessoas que entendam os dados das partculas e
forneam suporte s reas que sofrem grande contaminao por partculas. A validao e a
instalao ocorrem nas primeiras fases da integrao do sistema: a validao feita por uma
agncia externa, e a instalao por equipes internas ou externas. O gerenciamento ininterrupto do
sistema de controle de contaminao requer percia e compromisso da equipe responsvel para
melhorar os processos.

HandiLaz Mini (Contador de partculas aerotransportadas porttil)

Os contadores de partculas portteis, como o HandiLaz Mini, so ergonomicamente projetados
para se ajustarem palma da mo. Os contadores de partculas portteis so robustos, seguros e
j se mostraram tremendamente valiosos para usurios atentos a custos que precisavam detectar e
isolar fontes localizadas de contaminaes por partculas.

IsoAir (Contador de partculas aerotransportadas)

reas que processam diretamente produtos qumicos ou drogas usam os sensores IsoAir para
identificar colapsos na proteo de zonas crticas. Esses sensores compactos e de instalao
simples proporcionam desempenho incomparvel em uma caixa de ao inoxidvel quimicamente
resistente e fcil de desinfetar.

Produo e Controle de qualidade (QC)

Algumas operaes de montagem, teste e embalagem so conduzidas em ambientes de sala
limpa ISO Classe 5. Coletores mltiplos de aerossol, ISPs e contadores de partculas monitoram
eficazmente os padres de limpeza dessas reas.

Airnet (Contador de partculas aerotransportadas) e AM-II (Coletor

mltiplo de aerossol)
Os contadores de partculas e o coletor mltiplo, juntamente com as sondas isocinticas,
monitoram as salas limpas ISO Classe 4 ou 5 (FS-209e Classe 10 ou 100) juntamente com a rea
de espao para equipamentos ISO Classe 6 (FS-209e Classe 1000). Um coletor mltiplo de
aerossol pode monitorar economicamente muitas reas diferentes ou diversos pontos da mesma
rea, garantindo amostras estatisticamente vlidas.
Por outro lado, coletores mltiplos de aerossol no so adequados para todas as aplicaes
porque eles apresentam certa quantidade de perda de partculas e atraso entre amostras. A perda
de partculas acontece porque as linhas de amostra de coletores mltiplos podem ser longas (at
38 m). Partculas maiores do que um mcron no so transportadas para muito longe, por isso, a
gravidade ou as curvas da tubulao faro que elas se prendam s paredes internas da tubulao.
Atrasos entre amostras ocorrem quando o coletor mltiplo muda da porta de uma amostra para
outra. As partculas podem escapar da deteco enquanto o coletor mltiplo troca de portas de
amostra.

Seo VI.
Glossrio

acreao

tendncia das partculas de ficarem juntas

adeso eletrosttica

tendncia das partculas de se aderirem a coisas por causa da

eletricidade esttica

adveco

transporte horizontal de partculas pelo ar ou lquido

aerossol

suspenso de partculas e vapor de gua no ar

aglomerao

agrupamento em uma massa, como partculas que se aderem a uma

bolha de gs em um lquido

gua DI

gua desionisada; gua da qual um on foi removido, tornando-se

um agente de limpeza agressivo

albedo

refletividade ou brilho de uma partcula

analisador de altura de pulso dispositivo que coleta pulsos eltricos e os relaciona s dimenses
das partculas; Abreviao: PHA
anidro

o que falta gua, seco

cavitao

a formao de bolhas em um lquido, geralmente causada pelo

enchimento rpido de uma seringa de amostra ou pelo movimento
do impulsor de uma bomba

classe

a qualidade de uma sala limpa expressa no nmero mximo de 0,5

m partculas por p cbico (ou metro, no sistema ISO)

colimao

feixe de luz focado de forma que as extremidades do feixe estejam

paralelas

compartimento

lugar de armazenamento eletrnico do pulso eltrico gerado por

um fotodetector; s vezes chamado de canal

contador de partculas

dispositivo que conta partculas

contagens brutas

contagens de partculas que no esto normalizadas com o volume

da amostra

controle de tendncias

o uso de um contador de partculas para acompanhar tendncias de

longo prazo na microcontaminao de um determinado volume

conveco

transporte vertical de partculas no ar ou lquido

correntes

movimentos de um fluido em determinado volume

difuso

ao pela qual partculas migram de uma rea de maior

concentrao para uma rea de menor concentrao

disperso

reflexo da luz por uma partcula que transita por um feixe de

laser; um mtodo de contagem ptica de partculas; Consulte
extino

dissecado

estado de ter sido desidratado

dupleto

par de partculas que se juntam

espectrmetro

tipo de contador de partculas que usa apenas o centro do feixe de

laser para contar partculas

estatisticamente vlida

uma pequena amostra que contm partculas que representam todo

o volume

extino

tcnica de contagem de partculas que se baseia na iluminao do

volume de exame e na anlise das sombras emitidas pelas
partculas

Federal Standard 209

normatizaes obsoletas do governo dos EUA que definem a

classificao das salas limpas

filtro HEPA

acrnimo de filtros de High Efficiency Particulate Air (ar

particulado de alta eficincia) que removem 99,99% das partculas
maiores do que 0,3 micra

filtro ULPA

acrnimo de filtros Ultra Low Particulate Air (ar de ultra baixa

penetrao) que removem 99,9997% das partculas maiores do que
0,12 micra

fluido

qualquer lquido ou gs

fluxo laminar

em fluidos, um fluxo regular em camadas

fluxo turbulento

movimento irregular de ar ou fluido

FMS

acrnimo de Facility Monitoring System (sistema de

monitoramento de instalaes): sistema de hardware de
computador, software e cabos que monitora e controla todos os
equipamentos de contagem de partculas das instalaes

fotodetector

dispositivo que detecta a luz e a converte em pulsos eltricos

hidratada

que contm gua ou lquido

inerte

sem vida, morto

inorgnico

de origem no orgnica (animal ou vegetal)

in-situ

expresso do latim que significa no lugar, e descreve uma classe

de contador de partculas que examina uma pequena poro do
volume de amostras

ISO

acrnimo de International Standards Organization (Organizao de

Padres Internacionais)

LASER

acrnimo de Light Amplification by Simulated Emission of

Radiation (Amplificao da Luz por Emisso Simulada da
Radiao), que uma luz coerente de alta intensidade

lquido

fludo que no gasoso nem slido

luz coerente

feixe de luz cujos ftons tm as mesmas propriedades pticas

(comprimento de onda, fase e direo)

microcontaminao

partculas que so prejudiciais ao processo de produo

mcron

forma reduzida de micrmetro; unidade de medida igual a 10-6

metros (1/1000 de um milmetro). Smbolo: m

miniambiente

uma sala limpa miniatura

mdulo de exame

pequena cmara com janelas que instalada em um tubo e permite

a reflexo de um feixe de laser atravs dela

monitor

tipo de contador de partculas que usa todo o comprimento do feixe

de laser para contar partculas

movimento browniano

o movimento browniano o movimento aleatrio de partculas

pequenas que acontece devido s colises com molculas;
geralmente, o movimento browniano influencia partculas com
dimetros iguais ou menores do que 0,1 mcron

MTBF

acrnimo de Mean Time Between Failures (mdia dos tempos

entre sucessivas falhas) que definido como o tempo em horas que
um componente ou um equipamento eletrnico deve operar antes
de falhar

normalizao

formatao de dados para torn-los teis dando a eles o contexto

de volume

orgnico

originado de matria viva, ou animal ou vegetal

partculas

fragmentos muito pequenos feitos de diversas substncias

prato de prova

superfcie de teste colocada em um ambiente limpo que coleta

partculas para medies posteriores

sala limpa

ambiente de produo que se prope a minimizar a contaminao

por partculas com o uso de filtros, protocolos e projetos

vcuo

ausncia de gs ou lquido em determinado volume

variao trmica

irregularidades nas temperaturas de um volume de fluido que

influenciam o movimento do fluido

vivel

vivo

volume de exame

volume de ar ou lquido que passa por um sistema de deteco de

partculas

volumtrico

tipo de contador de partculas que examina toda a amostra