ESPECTROMETRA DE

RETRODISPERSIN RUTHERFORD
(RBS)

PRINCIPIOS
Se basa en el fenmeno fsico de la colisin elstica

entre un haz de partculas cargadas y los tomos de

un blanco y en la deteccin de proyectiles que han
sido retrodispersados en la muestra a analizar

 Constituye una tcnica de alta sensibilidad para la

deteccin de elementos pesados de carcter no

destructivo
Los proyectiles usados en RBS son iones ligeros de helio
y constituyen partculas alfa con una energa de algunos
MeV

La respuesta obtenida es un espectro de

energas de los proyectiles que despus de la
retrodispersin proporcionan informacin
sobre:
NATURALEZA DEL TOMO DEL BLANCO
PROFUNDIDAD A LA QUE COLISION LA
PARTCULA ALFA (decenas de micras)
Con esta informacin se puede medir el espesor
de pelculas delgadas e interfases para
obtener los perfiles de concentracin y
estequiometra

TEORA
La colisin de una partcula del haz con un ncleo

de tomos de la muestra es debida a la

interaccin de COULOMB entre los dos ncleos
cuando estn prximos. Y la energa del proceso
de dispersin viene dada por:

Donde:
E= energa de la partcula dispersada bajo el ngulo de
salto de los retrodispersos
Mo= Masa de la partcula incidente (partculas de He)
M1= Masa del blanco
K= La razn entre la energa de los proyectiles despus
y antes de la colisisn (E/Eo) . Determinado por la
relacin entre masas (Mo/M1)

 Cuando la colisin tiene lugar cerca de la superficie

existe una energa perdida por el haz incidente que

es despreciable comparada con Eo
Cuando a colisin se produce a una cierta
profundidad de la muestra los proyectiles pierden
energa durante el camino de entrada y salida
debido:
Interacciones con los ncleos y electrones de los
TOMOS DE BLANCO
Una partcula retrodispersa desde una cierta PROFUNDIDAD de la muestra
tendr MENOS ENERGA que la retrodispersada en la superficie

La prdida de energa depende de la composicin y la densidad de la

muestra

 Si la energa incidente sobre el cuerpo blanco es Eo,

la energa que permite a los iones alcanzar la
profundidad Z es:

Luego de la colisin elstica los iones retrodispersos

parten de esta profundidad con la energa:

Si la la energa con la que escapan del blanco es :

La prdida de energa de/dz es de naturaleza

fundamentalmente electrnica y se conoce
aproximadamente para cada material

 Variacin del nmero de tomos respecto a la

energa correspondiente

Esquema de un espectro de RBS en un

material formado por tres capas de masas
Ma, Mb, Mc
A partir del espectro se obtiene composicin de
la muestra y espesor
En el pico localizado la energa de E1c es la ms
elevada (E sup 1) para la capa de mayor masa
atmica.
Si se aumenta el espesor de las capas se produce

el solapamiento de las seales, ya que la anchura

de los picos es proporcional al espesor de las
capas.
En capas formadas por elementos ligeros y
pesados, los picos apareceran separados, y el de
mayor energa sera el del elemento ms pesado

 Para una muestra de una monocapa de espesor

formada por diferentes tomos el espectro RBS
consistira en unos picos agudos a la energa
correspondiente al nmero de masa de dichos

tomos

ESQUEMA DEL FUNCIONAMIENTO

Descripcin
El acelerador provee un haz de iones de He con una energa de

alrededor de 2 MeV.
Incides obre un blanco que se encuentra en la cmara de

dispersin, que debe hallarse al vaco.

La corriente del haz puede integrarse mediante un digitalizador de

corriente y un escalador.
En la cmara, y a un ngulo lo ms aproximado posible a 180, se

coloca un detector de barrera superficial. A ste se le conecta un

preamplificador, el cual enva la seal al amplificador, que a su vez
transfiere la seal al analizador multicanal.
Aqu finalmente se obtiene el espectro de RBS de la muestra de

inters. Normalmente, el analizador multicanal ya se encuentra

conectado a una computadora, con la cual es posible hacer el
anlisis del espectro mediante programas adecuados, para as
obtener las caractersticas de la muestra, tanto en concentracin
como en profundidad.

Aplicaciones

RBS:
- Composicin de pelculas, multicapas y materiales a granel.
- Perfiles de implantacin, incluyendo dosis de calibracin.
- Contaminacin de superficie
- Interfase de mezcla y reaccin
- Perfiles de difusin
RBS-canalizacin local de las partculas alfa:
- Crecimiento epitaxial
- Dao de implantacin
- Dao de pulido
- Localizacin del entramado de dopantes y contaminantes en
monocristales

Preparacin de la muestra
La muestra debe encontrase lijada y pulida de

manera que la superficie de la misma se presente

uniforme y no interfiera en la incidencia de la energa
de las partculas alfa.

Puede ser colocada en portamuestras de material y

espesor conocido que no interfieran con el camino

que recorre la energa.

Las muestras deben constituir bloques slidos para

determinar todos los parmetros superficiales y en la

profundidad. Las muestras pulverizadas no se
pueden analizar por esta tcnica.

CARACTERSTICAS
Resolucin de profundidad inferior a 200A y

puede alcanzar valores debajo de 50A

Sensibilidad inferior al 1% en elementos
pesados
No proporciona informacin sobre enlaces
qumicos
Energa admisible de 0,4 a 2 MeV

VENTAJAS Y DESVENTAJAS
Sensible para elementos pesados en una matriz l

igera
til cuando se requiere conocer la matriz de
una muestra.
Proporciona informacin en profundidad.
Combinado con canalizacin da informacin so
bre la estructura cristalina.
No tiene buena resolucin para elementos pare
cidos en masa atmica
La simulacin de un espectro no tiene solucin
nica