04/11/2012

Interaccin de los electrones con la materia:

Anlisis qumico

Haz de electrones incidente

SEM

Rayos X Ctodoluminiscencia

Electrones retrodispersados Electrones Auger Electrones secundarios

SEM

Electrones absorbidos

TEM

Electrones transmitidos

SEM: Microscopa electrnica de barrido

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SEM: Microscopa electrnica de barrido

Microscopa electrnica de barrido (SEM)

Construccin del SEM

Haz de eCan de e-

nodo Lente magntica Al monitor Bobinas de barrido

Detector de eretrodispersados Detector de esecundarios Platina Muestra

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Microscopa electrnica de barrido (SEM)

Can de electrones
0,5 30 kV -Termoinico: W o LaB6 -Emisin de campo (FE): ctodo fro o Schottky
Haz de eCan de enodo Lente magntica Al monitor Bobinas de barrido

nodo
Atrae y acelera a los electrones aplicando un voltaje positivo

Detector de eretrodispersados Detector de esecundarios Platina Muestra

Microscopa electrnica de barrido (SEM)

Lentes magnticas
Crean un campo magntico rotacional y simtrico que acta sobre el haz de electrones.
Haz de eCan de e-

nodo Lente magntica Al monitor Bobinas de barrido

La intensidad de la lente vara segn la corriente que pasa por ella.

-Lente condensadora: Expande o condensa el Detector de ehaz. retrodispersados -Lente objetivo: Enfoca y determina el Platina tamao final del haz.

Detector de esecundarios Muestra

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Microscopa electrnica de barrido (SEM)

Bobinas de barrido
Mueven el haz sobre la muestra en X e Y. Estn sincronizadas con el monitor en el que se registra la imagen.
Bobinas de barrido Haz de eCan de e-

nodo Lente magntica Al monitor

Detector de eretrodispersados Detector de esecundarios Platina Muestra

Microscopa electrnica de barrido (SEM)

Detectores de electrones
e- secundarios: -Centelleador a 10 kV que atrae a los e-. -Fotomultiplicador. -Amplificador. Imagen de topografa iluminada desde el detector.
Haz de eCan de e-

nodo Lente magntica Al monitor Bobinas de barrido

e- retrodispersados: Viajan en lnea recta. Dipolos o cuadrupolos Detector de esimtricos permiten retrodispersados obtener una imagen topogrfica adems de Platina composicional

Detector de esecundarios Muestra

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Microscopa electrnica de barrido (SEM)

Volumen de interaccin
Haz de electrones incidente Electrones retrodispersados

Electrones secundarios

Microscopa electrnica de barrido (SEM)

Volumen de interaccin
Haz de electrones incidente eeee-

ee-

Volumen de interaccin

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Microscopa electrnica de barrido (SEM)

Volumen de interaccin segn Z

e-

e-

Bajo nmero atmico (Z)

Elevado nmero atmico (Z)

Microscopa electrnica de barrido (SEM)

Volumen de interaccin segn densidad

e-

e-

Baja densidad (d)

Elevada densidad (d)

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Microscopa electrnica de barrido (SEM)

Volumen de interaccin segn energa del haz

Elevado voltaje del haz (alta E) eBajo voltaje del haz (baja E) e-

Microscopa electrnica de barrido (SEM)

Volumen de interaccin

ee-

ee-

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Microscopa electrnica de barrido (SEM)

Electrones secundarios y retrodispersados

e50 eV esecundarios e- Auger Nmero e- emitidos eretrodispersados E haz incidente

e- secundarios e- retrodispersados

R X caractersticos Energa de los e- emitidos

Microscopa electrnica de barrido (SEM)

Electrones secundarios
Se producen a partir de la emisin de los electrones de valencia de los tomos de la muestra. Como son de muy baja energa (< 50 eV) solo logran salir de la muestra los ms superficiales. Proporcionan informacin acerca de la topografa de la superficie.

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Microscopa electrnica de barrido (SEM)

Electrones secundarios

Microscopa electrnica de barrido (SEM)

Electrones retrodispersados
A veces llamados e- reflejados. Poseen mayor E que los secundarios, por tanto proporcionan informacin de regiones ms profundas de la muestra. Son sensibles a la composicin de la muestra: A mayor Z, mayor emisin de e- retrodispersados. Por tanto, las reas con elementos pesados aparecen brillantes en la imagen.

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Microscopa electrnica de barrido (SEM)

Electrones retrodispersados

Microscopa electrnica de barrido (SEM)

Preparacin de muestra
Requisito principal: La muestra debe ser conductora Se monta sobre el porta de modo que est elctricamente conectada al mismo.

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Microscopa electrnica de barrido (SEM)

Preparacin de muestra
Si la muestra NO es conductora La superficie se recubre con una pelcula de metal: Sputtering: Au, Au-Pd, Pt, Pt-Pd Evaporacin en vaco: C, Al

Microscopa electrnica de barrido (SEM)

Preparacin de muestra
Muestras biolgicas Protocolos habituales: -Fijacin -Deshidratacin -Secado (por punto crtico) -Montaje y recubrimiento

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