Introduction to MEMS gyroscopes

11/15/2010 By Jay Esfandyari, Roberto De Nuccio, Gang Xu, STMicroelectronics (November 15, 2010) -- Jay Esfandyari, Roberto De Nuccio, Gang Xu, STMicroelectronics, introduce how MEMS gyroscopes work and their applications, the main parameters of a MEMS gyroscope with analog or digital outputs, practical MEMS gyroscope calibration techniques, and how to test the MEMS gyroscope performance in terms of angular displacement. The significant size reduction of multi-axis MEMS gyroscope structures and their integration with digital interface into a single package of a few square millimeters of area at an affordable cost have accelerated the penetration of MEMS gyroscopes into hand-held devices. MEMS gyroscopes have enabled exciting applications in portable devices including optical image stabilization for camera performance improvement, user interface for additional features and ease of use, and gaming for more exciting entertainment. Further applications such as dead reckoning and GPS assistance that require high sensitivity, low noise, and low drift over temperature and time are on the horizon. Here, we discuss the methods and techniques of quickly getting meaningful information from a MEMS gyroscope in terms of angular velocity and angular displacement measurements. MEMS gyroscope introduction MEMS gyroscopes are making significant progress towards high performance and low power consumption. They are mass produced at low cost with small form factor to suit the consumer electronics market. MEMS gyroscopes use the Coriolis Effect to measure the angular rate, as shown in Figure 1.

Figure 1. Coriolis effect. When a mass (m) is moving in direction v and angular rotation velocity is applied, then the mass will experience a force in the direction of the arrow as a result of the Coriolis force. And the resulting physical displacement caused by the Coriolis force is then read from a capacitive sensing structure. Most available MEMS gyroscopes use a tuning fork configuration. Two masses oscillate and move constantly in opposite directions (Figure 2). When angular velocity is applied, the Coriolis force on each mass also acts in opposite directions, which result in capacitance change. This differential value in capacitance is proportional to the angular velocity > and is then converted into output voltage for analog gyroscopes or LSBs for digital gyroscopes. When linear acceleration is applied to two masses, they move in the same direction. Therefore, there will be no capacitance difference detected. The gyroscope will output zerorate level of voltage or LSBs, which shows that the MEMS gyroscopes are not sensitive to linear acceleration such as tilt, shock, or vibration.

Figure 2. When angular velocity is applied. MEMS gyroscope applications MEMS gyroscopes can measure angular velocity. Digital cameras use gyroscopes to detect hand rotation for image stabilization. A yaw rate gyroscope can be used in cars to activate the electronic stability control (ESC) brake system to prevent accidents from happening when the car is making a sharp turn. And a roll gyroscope can be used to activate airbags when a rollover condition happens. A yaw rate gyroscope can be used in cars to measure the orientation to keep the car moving on a digital map when GPS signal is lost. This is called car dead-reckoning backup system. The yaw rate gyroscope can also be used for indoor robot control. Multiple inertial measurement units (IMUs) can be mounted on arms and legs for body tracking and monitoring. The IMU can also be used for air mouse application, motion gaming platforms and personal navigation devices with the integration of magnetometer and GPS receiver. Understanding the major parameters of MEMS gyroscopes Power supply (Volts): This parameter defines the gyroscope operating DC power supply voltage range.

Power supply current (mA): This parameter defines the typical current consumption in operation mode. Power supply current in sleep mode (mA): This parameter defines the current consumption when the gyroscope is in sleep mode. Power supply current in power-down mode (uA): This parameter defines the current consumption when the gyroscope is powered down. Full scale range (dps): This parameter defines the gyroscope measurement range. Zero-rate level (Volts or LSBs): This parameter defines the zero rate level when there is no angular velocity applied to the gyroscope. Sensitivity (mV/dps or dps/LSB): Sensitivity in mV/dps defines the relationship between 1dps and the analog gyroscopes output voltage change over the zero-rate level. For digital gyroscopes, the sensitivity (dps/LSB) is the relationship between 1LSB and dps. Sensitivity change vs. temperature (%/C): This parameter defines when temperature changes from 25C room temperature, how the sensitivity will change in percentage per C. Zero-rate level change vs. temperature (dps/C): This parameter defines, when temperature changes from 25C, how the zero-rate level will change per C. Non linearity (% FS): This parameter defines the maximum error between the gyroscopes outputs and the best fit straight line in percentage with respect to full scale (FS) range. System bandwidth (Hz): This parameter defines the angular velocity signal frequency from DC to the built-in bandwidth (BW) that the analog gyroscopes can measure. Rate noise density (dps/Hz): This parameter defines the standard resolution for both analog and digital gyroscopes that one can get from the gyroscopes outputs together with the BW parameter. Self-test (mV or dps): This feature can be used to verify if the gyroscope is working properly or not without physically rotating the printed circuit board (PCB) after the gyroscope is mounted on the PCB. Calibrating a MEMS gyroscope Gyroscopes are usually factory tested and calibrated in terms of zero-rate level and sensitivity. However, after the gyroscope is assembled on the PCB, due to the stress, the zero-rate level and sensitivity may change slightly from the factory trimmed values. For applications such as gaming and remote controllers, one can simply use the typical zerorate level and sensitivity values in the datasheet to convert gyroscope measurement to angular velocities. For more demanding applications the gyroscope needs to be calibrated for new zero-rate level and sensitivity values and other important parameters such as:

Misalignment (or cross-axis sensitivity) Linear acceleration sensitivity or g-sensitivity Long term in-run bias stability Turn-on to turn-on bias stability Bias and sensitivity drift over temperature Getting rid of zero-rate instability

The gyroscope output can be expressed as Equation 1. Rt = SC (Rm - R0) Where, Rt (dps): true angular rate Rm (LSBs): gyroscope measurement R0 (LSBs): zero-rate level SC (dps/LSB): sensitivity

(1)

In order to compensate for turn-on to turn-on bias instability, after the gyroscope is powered on, one can collect 50 to 100 samples and then average these samples as the turn-on zero-rate level R0, assuming that the gyroscope is stationary. Due to temperature change and measurement noise, the gyroscope readings will vary slightly when the gyroscope is stationary. It is necessary to set a threshold Rth to zero the gyroscope readings if the absolute value is within the threshold as shown in Equation 2. This will get rid of the zero-rate noise so that the angular displacement will not accumulate when the gyroscope is stationary. R = (Rm - R0) = 0 if |(Rm - R0)| < Rth (2) Every time the gyroscope is stationary, one can sample 50 to 100 gyroscope datum and then average these samples as new zero-rate level R0. This will eliminate the zero rate in-run bias and small temperature change. After the zero-rate instability has been taken care of from the above steps, then Equation (1) becomes Rt = SC (Rm - R0) = SC R (3) So the next step will be to determine the sensitivity SC in Equation 3 by using a reference system. It should be emphasized that the MEMS gyroscope sensitivity usually is very stable over time and temperature and this calibration is needed only for high-sensitivity applications as mentioned above. Using a rate table to determine gyroscope sensitivity Because gyroscopes can measure the angular rate directly, the rate table is a perfect reference to calibrate the gyroscope sensitivity. An accurate rate table includes a built-in temperature chamber and sits on a vibration isolation platform so that the rate table is not sensitive to environment vibration during calibration. One can mount the hand-held device in an orthogonal aluminum cube or plastic box and then mount the whole system on the rate table for calibration. Control the rate table to spin at two different angular rates clockwise and counterclockwise. For multi-axis gyroscopes, put the orthogonal box at different orientation on the rate table and repeat the above process. After collecting the gyroscope raw data in different situations, the zero-rate level, sensitivity, misalignment matrix and g-sensitivity values can be determined. Another option is a step motor spin table to calibrate the gyroscope. The spin table can be programmed and controlled by a PC. Using a digital compass to determine gyroscope sensitivity The other option is to use a digital compass to calibrate the gyroscope if there is no rate table available.

Before gyroscope calibration, the digital compass needs to be calibrated for tilt compensation and operate on a table without surrounding magnetic interference field. Then combining digital compass relative heading information and gyroscope output data at constant sampling time interval, the gyroscope sensitivity can be calibrated as shown in Equation 4. H(n) = H(1) + h SC n//i-1 R(i) (4) Where, n: samples collected h: sampling time interval. H(1): initial electronic compass heading H(n): the new compass heading at nth sample SC (dps/LSB): gyroscope sensitivity R(i): gyroscope output data after removal of zero-rate level and dead zone at ith sample Equation 4 can be rewritten as: H = SC G (5) Where,

Then from Equation 5, one can get the SC based on Least Square method. SC = [GT G]-1 GT H (6) Figure 3 shows the plot of compass relative heading change in degrees and the gyroscope angular displacement after integration in degrees.

Figure 3. Compass relative heading and gyroscope angular displacement In Figure 3, one can see that the compass relative Heading change (red) and the gyroscope angular displacement (blue) have perfect linear relationship. By applying Equation 6, one can obtain the gyroscope sensitivity calibration parameter. Testing a MEMS gyroscope After gyroscope calibration, the last step is to test the performance of the gyroscope to understand how to obtain meaningful angular displacement information from the gyroscope raw data. Test 1: When gyroscope is stationary. When gyroscope is not rotating, the gyroscope output raw data should be around the zero-rate level and the gyroscope heading after integration should be always 0. Test 2: When gyroscope is rotating full round clockwise. After sampling 30 to 50 samples of the gyroscope raw data as the new zero-rate level offset, rotate the gyroscope clockwise 90, and then another 90, till full round 360. The plot is shown in Figure 4. The peak of each 90 rotation gyroscope raw data is different showing that the angular velocity is slower or faster. But the error of the final angular displacement is only about 0.6.

Figure 4. Single axis gyroscope rotating full round clockwise. Test 3: When gyroscope is rotating full round counterclockwise. After sampling 30 to 50 samples of the gyroscope raw data as the new zero-rate level offset, rotate the gyroscope counterclockwise 90, and then another 90, till full round 360. In this case the angular velocity polarity is positive other than negative in Figure 4. Conclusion Advances in MEMS technology and processes have led to low-cost, high-performance MEMS gyroscopes with lower power consumption and smaller size, enabling new exciting applications in handheld devices. MEMS gyroscopes are calibrated during the characterization and qualification process. They do not require re-calibration for most applications. However, for complex and demanding applications such as navigation and dead reckoning, re-calibrate the zero-rate level and sensitivity after the gyroscope is mounted on the PCB is recommended.

References. 1. STMicroelectronics MEMS gyroscopes Presentation,http://www.st.com/stonline/domains/support/epresentations/memsgyrosc opes/gyros.htm 2. STMicroelectronics MEMS gyroscope Portfolio: LY330ALH, L3G4200D, http://www.st.com/stonline/products/families/sensors/gyroscopes.htm Jay Esfandyari received his Masters degree and Ph.D. in EE from the University of Technology in Vienna and is MEMS product marketing manager at STMicroelectronics, 750 Canyon Dr., Coppell, TX, 75019; (972) 971-4969;jalinous.esfandyari@st.com.

Roberto De Nuccio received his Masters degree in Telecommunication engineering in Milan / Italy and is business development manager at STMicroelectronics. Gang Xu received his Ph. D from Shanghai Jiao Tong University and senior application engineer at STMicroelectronics. Follow Small Times on Twitter.com by clicking www.twitter.com/smalltimes. Or join our Facebook group
http://www.electroiq.com/articles/stm/2010/11/introduction-to-mems-gyroscopes.html

Introduccin a los giroscopios MEMS

11/15/2010 Por Jay Esfandyari, Roberto De Nuccio, Gang Xu, STMicroelectronics (15 de noviembre de 2010) - Jay Esfandyari, Roberto De Nuccio, Gang Xu, STMicroelectronics, cmo introducir MEMS trabajo giroscopios y sus aplicaciones, los parmetros principales de un giroscopio MEMS con salidas analgicas o digitales, prcticas tcnicas giroscopio MEMS de calibracin, y cmo para probar el rendimiento giroscopio MEMS en trminos de desplazamiento angular. La reduccin de tamao importante de ejes mltiples estructuras MEMS giroscopio y su integracin con la interfaz digital en un solo paquete de unos pocos milmetros cuadrados de zona a un precio asequible han acelerado la penetracin de los giroscopios MEMS en los dispositivos de mano. Giroscopios MEMS han permitido a interesantes aplicaciones en dispositivos porttiles como la estabilizacin de imagen ptica para mejorar rendimiento de la cmara, la interfaz de usuario para funciones adicionales y la facilidad de uso, y juegos de entretenimiento ms emocionante. Otras aplicaciones como la navegacin a estima y la asistencia que requieren GPS de alta sensibilidad, bajo ruido y baja desviacin respecto a la temperatura y el tiempo estn en el horizonte. A continuacin, se discuten los mtodos y tcnicas de obtener rpidamente informacin significativa de un giroscopio MEMS en trminos de velocidad angular y las mediciones de desplazamiento angular. MEMS introduccin giroscopio Giroscopios MEMS estn haciendo progresos significativos hacia el alto rendimiento y bajo consumo de energa. Ellos son producidos en masa a bajo coste con factor de forma pequeo para satisfacer el mercado de la electrnica de consumo. giroscopios de MEMS utilizar el efecto Coriolis para medir la velocidad angular, como se muestra en la figura 1.

Figura 1. Efecto de Coriolis. Cuando una masa (m) se est moviendo en la direccin de v angular y la velocidad de rotacin Ohmio se aplica, a continuacin, la masa experimentar una fuerza en la

direccin de la flecha, como resultado de la fuerza de Coriolis.Y el desplazamiento resultante fsico causado por la fuerza de Coriolis es ledo a partir de una estructura de deteccin capacitiva. Giroscopios MEMS ms disponibles utilizan una configuracin de tenedor de sintona. Dos masas oscilan y se mueven constantemente en direcciones opuestas (Figura 2). Cuando la velocidad angular es aplicada, la fuerza de Coriolis en cada masa tambin acta en direcciones opuestas, que dan como resultado el cambio de capacitancia.Este valor diferencial en la capacitancia es proporcional a la velocidad angular> y despus se convierte en la tensin de salida para los giroscopios analgicos o digitales LSBs para giroscopios. Cuando la aceleracin lineal se aplica a dos masas, que se mueven en la misma direccin. Por lo tanto, no habr ninguna diferencia de capacitancia detectada. El giroscopio es la salida de tasa cero nivel de tensin o LSB, que muestra que los giroscopios MEMS no son sensibles a la aceleracin lineal, como la inclinacin, golpes o vibraciones.

Figura 2. Cuando la velocidad angular se aplica. Aplicaciones de MEMS giroscopio Giroscopios MEMS puede medir la velocidad angular. Cmaras digitales utilizan giroscopios para detectar la rotacin de mano de estabilizacin de imagen. Un giroscopio de velocidad de guiada se puede utilizar en los coches para activar el control electrnico de estabilidad (ESC) sistema de freno para evitar que ocurran accidentes cuando el coche est haciendo un giro brusco. Y un giroscopio rollo se puede utilizar para activar las bolsas de aire cuando una condicin de vuelco sucede. Un giroscopio de velocidad de guiada se puede utilizar en los automviles para medir la orientacin para mantener el coche en movimiento en un mapa digital GPS cuando se pierde la seal. Esto se llama auto-ajuste de cuentas muertos sistema de respaldo. El giroscopio de velocidad de guiada tambin se puede utilizar para el control de robot cubierta. Varias unidades de medicin inercial (IMU) puede ser montado en los brazos y las piernas para el seguimiento del cuerpo y seguimiento.

El IMU tambin puede ser utilizado para la aplicacin del ratn aire, plataformas de movimiento de juego y dispositivos de navegacin personal con la integracin de magnetmetro y el receptor GPS. La comprensin de los principales parmetros de giroscopios MEMS Fuente de alimentacin (voltios): este parmetro define el funcionamiento giroscopio DC Fuente de alimentacin Rango de voltaje. Fuente de alimentacin de corriente (mA): Este parmetro define el consumo de corriente tpica en el modo de operacin. Fuente de alimentacin de corriente en modo de suspensin (mA): este parmetro define el consumo de corriente cuando el girscopo est en modo de suspensin. Fuente de alimentacin de corriente en modo power-down (UA): Este parmetro define el consumo de corriente cuando el giroscopio se apaga.

Rango de escala completa (dps): Este parmetro define el rango de medicin giroscopio. Tipo cero nivel (Voltios o LSB): Este parmetro define el nivel de tasa de cero cuando no hay velocidad angular aplicada al giroscopio. Sensibilidad (mV / dps dps / o LSB): Sensibilidad en mV / dps define la relacin entre el cambio 1dps y el giroscopio analgica de tensin de salida con respecto al nivel de tasa cero. Para giroscopios digitales, la sensibilidad (dps / LSB) es la relacin entre 1LSB y DPS. Cambiar la sensibilidad frente a la temperatura (% / C): Este parmetro define cuando los cambios de temperatura de 25 C temperatura ambiente, la forma de la sensibilidad cambiar en porcentaje por cada C. Tipo cero nivel de cambio frente a la temperatura (dps / C): Este parmetro define, cuando los cambios de temperatura de 25 C, cmo el nivel de tasa cero cambiar por C. No linealidad (% FS): este parmetro define el error mximo entre las salidas del giroscopio y la mejor lnea de ajuste directamente en porcentaje con respecto al fondo de escala (FS) Gama. Ancho de banda (Hz): este parmetro define la frecuencia de la seal de la velocidad angular de la CC a la anchura de banda incorporada (BW) de que los giroscopios analgicos pueden medir. Tasa densidad de ruido (dps / Hz): este parmetro define la resolucin estndar para giroscopios analgicos y digitales que se pueden obtener a partir de las salidas de los giroscopios junto con el parmetro BW. Auto-test (mV o dps): Esta caracterstica se puede utilizar para verificar si el giroscopio est funcionando correctamente o no, sin girar fsicamente la placa de circuito impreso (PCB) despus del giroscopio est montado en la PCB. Calibracin de un giroscopio MEMS Los giroscopios son generalmente fbrica probado y calibrado en trminos de nivel de tasa cero y la sensibilidad. Sin embargo, despus de que el giroscopio est montado en la PCB, debido al estrs, el nivel de tasa cero y la sensibilidad puede cambiar ligeramente de los valores de fbrica recortados. Para aplicaciones tales como juegos y mandos a distancia, uno puede simplemente utilizar las tpicas tasa cero los valores de nivel y sensibilidad en la hoja de datos para convertir la medicin giroscopio para velocidades angulares.

Para aplicaciones ms exigentes del giroscopio necesita ser calibrado para el nuevo nivel de tasa cero y los valores de sensibilidad y otros parmetros importantes, tales como:

La desalineacin (o eje transversal de sensibilidad) Sensibilidad aceleracin lineal o g sensibilidadA largo plazo en plazo sesgo estabilidad Encendido a su vez-en la estabilidad de sesgo Sesgo y deriva de sensibilidad respecto a la temperatura Deshacerse de tasa cero inestabilidad

La salida de giroscopio se puede expresar como la Ecuacin 1. R t = SC x (R m - R 0 ) (1) Donde, R t (dps): true angular tasa R m (LSB): Medicin giroscopio R 0 (LSB): tasa cero nivel SC (dps / LSB): sensibilidad Con el fin de compensar el encendido para el encendido inestabilidad sesgo, despus de que el giroscopio est encendido, se pueden recoger 50 a 100 muestras y luego promedio muestras de estos como el encendido de tasa cero nivel de R 0 , suponiendo que el giroscopio es estacionario. Debido al cambio de temperatura y el ruido de medicin, las lecturas del giroscopio puede variar ligeramente cuando el giroscopio es estacionaria. Es necesario fijar un umbral Rth a cero las lecturas del giroscopio si el valor absoluto est dentro del umbral como se muestra en la Ecuacin 2. Esto deshacerse del ruido de tasa cero de modo que el desplazamiento angular no se acumular cuando el giroscopio es estacionaria. R = (R m - R 0 ) = 0 si | (R m - R 0 ) | <R th (2) Cada vez que el giroscopio es estacionario, se puede degustar desde 50 hasta 100 datum giroscopio y que la media de estas muestras como nuevo nivel R0 tasa cero. Esto eliminar la tasa cero en el plazo sesgo y pequeo cambio de temperatura. Despus de la inestabilidad de tasa cero ha sido cuidado de los pasos anteriores, entonces la ecuacin (1) se convierte en R t = SC x (R m - R 0 ) = x SC R (3) As que el siguiente paso ser determinar la sensibilidad SC en la Ecuacin 3 mediante el uso de un sistema de referencia. Se debe enfatizar que la sensibilidad giroscopio MEMS generalmente es muy estable en el tiempo y la temperatura y esta calibracin es necesaria slo para aplicaciones de alta sensibilidad como se mencion anteriormente. Usando una tabla de tasas para determinar la sensibilidad giroscopio Debido giroscopios pueden medir directamente la velocidad angular, la tabla de tasas es una referencia perfecta para calibrar la sensibilidad del giroscopio. Una tabla de tasas de precisin incluye una cmara de temperatura integrado y se asienta sobre una plataforma de aislamiento de la vibracin de modo que la tabla de tipos no es sensible a las vibraciones ambiente durante la calibracin. Se puede montar el dispositivo de mano en un cubo de aluminio ortogonal o caja de plstico y luego montar todo el sistema en la tabla de tarifas para la calibracin. Controlar la tabla de

tarifas para girar a dos velocidades diferentes angulares en sentido horario y antihorario. Para varios ejes giroscopios, poner la caja ortogonal a la orientacin diferente en la tabla de tipos y repetir el proceso anterior. Despus de recoger los datos del giroscopio primas en diferentes situaciones, el nivel de tasa cero, la sensibilidad, la matriz de desalineacin y los valores de sensibilidad g-se puede determinar. Otra opcin es un motor paso a paso tabla de seleccin para calibrar el giroscopio. La mesa de centrifugado puede ser programado y controlado por un PC. Utilizando una brjula digital para determinar la sensibilidad giroscopio La otra opcin es utilizar una brjula digital para calibrar el giroscopio si no hay una tabla de tipos disponibles. Antes de la calibracin giroscopio, la brjula digital tiene que ser calibrado para la compensacin de inclinacin y operar sobre una mesa sin que rodea campo de interferencia magntica. Entonces la combinacin de la informacin digital relativa rumbo de la brjula y los datos de giroscopio de salida en el intervalo constante de tiempo de muestreo, la sensibilidad giroscopio puede ser calibrado como se muestra en la Ecuacin 4. H (n) = H (1) + h SC n / / i-1 R (i) (4) Donde, n: Las muestras recogidas h: muestreo intervalo de tiempo. H (1): brjula electrnica rumbo inicial H (n): la brjula nuevo epgrafe al n de muestras SC (dps / LSB): giroscopio sensibilidad R (i): Salida giroscopio datos despus de la eliminacin de la tasa cero nivel y zona muerta en i -sima muestra Ecuacin 4 puede ser reescrita como: H = SC x G (5) Cuando,

Luego de la ecuacin 5, se puede obtener el SC basado en mtodo de mnimos cuadrados. SC = [G T G] -1 G T H (6)

La Figura 3 muestra la grfica de brjula relativo cambio de rumbo en grados y el desplazamiento angular girscopo despus de la integracin en grados.

Figura 3. Compass relativa encabezamiento y giroscopio desplazamiento angular En la figura 3 se puede observar que la relacin brjula cambio (rojo) y el desplazamiento angular girscopo (azul) tienen una relacin directa perfecta. Mediante la aplicacin de la Ecuacin 6, se puede obtener la sensibilidad giroscopio parmetro de calibracin. Prueba de un giroscopio MEMS Despus de la calibracin del giroscopio, el ltimo paso es poner a prueba el rendimiento del giroscopio para entender cmo obtener informacin significativa desplazamiento angular de los datos del giroscopio primas. Prueba 1:. Cuando giroscopio es estacionario Cuando giroscopio no est girando, los datos de salida del giroscopio primas debe ser alrededor del nivel de tasa cero y el giroscopio partida despus de la integracin debera ser siempre 0 . Prueba 2:. Cuando giroscopio est girando en sentido horario ronda completa Despus del muestreo de 30 a 50 muestras de los datos del giroscopio primas como la nueva tasa cero offset de nivel, girar en sentido horario el giroscopio 90 , y luego otros 90 , hasta que ronda completa de 360 . La trama se muestra en la Figura 4. El pico de cada 90 de rotacin del giroscopio datos primas es diferente que muestra que la velocidad angular es ms lento o ms rpido. Sin embargo, el error del desplazamiento angular final es slo alrededor de 0,6 .

Figura 4. Giroscopio nico eje giratorio ronda completa en sentido horario. Prueba 3: Cuando giroscopio est girando en sentido antihorario ronda completa. Despus del muestreo de 30 a 50 muestras de los datos del giroscopio primas como la nueva tasa cero offset de nivel, gire el giroscopio 90 en sentido antihorario, y luego otros 90 , hasta que ronda completa de 360 . En este caso, la polaridad de la velocidad angular es positivo que no sea negativo en la Figura 4. Conclusin Los avances en la tecnologa MEMS y los procesos han dado lugar a bajo costo y giroscopios MEMS de alto rendimiento con menor consumo de energa y menor tamao, lo que permite nuevas aplicaciones interesantes en los dispositivos de mano. Giroscopios MEMS estn calibrados durante la caracterizacin y el proceso de calificacin. No requieren re-calibracin para la mayora de aplicaciones. Sin embargo, para aplicaciones complejas y exigentes tales como navegacin a estima y, volver a calibrar el nivel de tasa cero y despus de la sensibilidad del giroscopio est montado en la PCB se recomienda. Referencias 1. STMicroelectronics MEMS giroscopios Presentacin,http://www.st.com/stonline/domains/support/epresentations/memsgyroscopes/g yros.htm 2. STMicroelectronics MEMS giroscopio Cartera: LY330ALH, L3G4200D, http://www.st.com/stonline/products/families/sensors/gyroscopes.htm Jay Esfandyari recibi su grado de Maestra y Doctorado en EE de la Universidad de Tecnologa de Viena y es producto MEMS gerente de marketing de STMicroelectronics, 750 Canyon Dr., Dallas, TX, 75019, (972) 971 a 4,969;jalinous.esfandyari @ st.com .

Roberto De Nuccio recibi su grado de Maestra en Ingeniera de Telecomunicaciones en Miln / Italia y es gerente de desarrollo de negocios de STMicroelectronics. Gang Xu recibi su Ph. D de Shanghai Jiao Tong University y el ingeniero senior de aplicacin STMicroelectronics. Siga Small Times en Twitter.com, haga clic en www.twitter.com / SmallTimes . O unirse a nuestro grupo de Facebook