Les microsystmes (MEMS) pour lembarqu

Introduction et gnralits Microactionneurs Microcapteurs Technologies des MEMS Sources dnergie pour lembarqu
MEMS pour lembarqu FST-USMBA 2012-2013 O. Elmazria
1

Le MEMS pour lembarqu

Introduction et gnralits Microactionneurs
Micro-actionneurs lectrostatiques Micro-actionneurs pizolectriques Micro-actionneurs thermiques Alliages Mmoire de Forme (AMF)

Microcapteurs Technologies des MEMS Sources dnergie pour lembarqu

MEMS pour lembarqu FST-USMBA 2012-2013 O. Elmazria
2

Micro-actionneurs lectrostatiques
Avantages: Compatibilit avec les procds des MEMS Grand dplacement (jusqu 100mm avec le principe SDA) Puissance mcanique dveloppe importante (densit dnergie 105 Jm-3) Rapidit Inconvnients: Tensions de fonctionnement leves: 5 400V Premire ralisation 1977

Principe physique

A lquilibre Q=CV. Eg=C V2, Energie fournie par le gnrateur, Ec= C V2, Energie emmagasine dans la capa. Er = Eg - Ec = C V2, Energie dissipe dans R
4

q=CV=-q F V2
Force attractive

Etude nergtique:

En intgrant entre 0 et linfini :

Energie fournie par le gnrateur : CE2, Energie consomme par effet joule : 1/2CE2, Energie stocke dans la condensateur: 1/2CE2
5

Dplacement transversal: Problme dinstabilit lectrostatique

Effet Pull-in et Cycle dhystrsis

Exemples dapplications utilisant le dplacement vertical

Micro-commutateur

10

Micro-commutateur optique

11

12

(a) Dispositif Texas Instruments micromiroirs pour la vidoprojection dimages numriques (Home Theater). (b) Vue schmatique de 2 micromiroirs et de leur mcanique dactionnement. La surface de chaque miroir est de 16 m. Les miroirs sont espacs de 1 m. Lactionnement est lectrostatique, le mouvement des miroirs peut atteindre 50 kHz. Chaque miroir provoque lallumage dun pixel de limage. Llectronique de commande est intgre. Plus de 1 300 000 miroirs constituent le dispositif.
13

Dplacement latral

14

Dplacement latral

15

Systme de positionnement XY pour AFM

16

Rsonateur mcanique basse frquence

17

Principe de fonctionnement du rsonateur

18

Gyroscope
Principe de fonctionnement:
Le gyroscope, capteur de vitesse angulaire, est bas sur la force de Coriolis qui dvie un objet en mouvement dans un rfrentiel en rotation. Dans lexemple ci-dessous, le rfrentiel est un disque oscillant (en bleu) qui bascule quand le dispositif entier tourne autour de laxe sensible. Le disque avec une structure en peigne est maintenu en oscillation par des forces lectrostatiques (latrales). Le basculement du disque caus par la force de Coriolis est dtect en mesurant les changements de capacit entre le disque et le substrat. Des vitesses angulaires atteignant 0.5/seconde (1 tour/min) peuvent tre dtectes avec ce type de gyro.

19

Gyroscope
Le gyroscope est un capteur de vitesse angulaire qui mesure la vitesse de sa propore rotation dans lespace. Cest un capteur inertiel bas sur la force de Coriolis1. Il na donc pas besoin dun point de rfrence. Le gyroscope sera attach lobjet dont la rotation doit tre mesure. Le gyroscope est un produit trs important avec un fort potentiel de dveloppement en raison du large ventail des domaines dapplications : contrle de stabilit, navigation et vitement des collisions en aronautique et automobile mais aussi tout ce qui concerne les camscopes, les manettes de jeux, le contrle de mouvement et la stabilit des robots, des systmes hydrauliques, et des plate-forme de la machinerie lourde. Le march des gyroscopes est estim 800 M$ en 2010 et il est amen devenir la prochaine grande application des Micro-systmes (MEMS) et concerne la fois les applications grand public et industrielles.

1Force

dinertie modifiant la trajectoire dun objet en rotation.

20

Micromoteur lcrostatique

21

22

23

Micro-miroir actionn par un vibromoteur

24

Actionneurs SDA (Scratch Drive Actuator)

25

SDA : Scratch Drive Actuator

26

27

Exemple dapplication: Assemblage tri-dimensionnel

Applications l'optique adaptative.
Les actionneurs SDA sont utiliss pour lever des microstructures hors du plan du substrat. Le principe d'assemblage repose sur l'utilisation de poutres mises en flambement par le mouvement des actionneurs SDA. Les hauteurs atteintes sont de l'ordre de 100 m. Une fois les structures leves hors du plan, elles peuvent tre actionnes lectrostatiquement. Des plaques de polysilicium ont t assembles et mises en mouvement. Les applications concernent l'optique adaptative. Les plaques peuvent tre actionnes indpendamment et les dflexions sont de l'ordre de 15. Une membrane supporte par ces actionneurs est ainsi pixelise. Localement, un pixel permet le mouvement vertical positif ou ngatif de la membrane de 10 m. La membrane est continuement dformable et trouve des applications en optique adaptative.
28

Exemples de structures SDA

29

Multiplexage optique
1 2 3 4 addadd add add

...

M add

Tunable lasers

1 in 2 in 3 in 4 in 5 in 6 in

1 out 2 out 3 out 4 out 5 out 6 out

N in Wavelengthmultiplexer

...

N out

...
2 4 1 3 drop drop drop drop M drop

Two N x M four-port optical matrix switch

...

7 in

7 out

30

M add

3 add 2 add 1 add 1 in 2 in 3 in 4 in 5 in 6 in 1 out 2 out 3 out 4 out 5 out 6 out

...

Tunable lasers

...

...

7 in

7 out

Actionneur SDA. Taille du miroire 450um x 360 um

N in Wavelengthmultiplexer

N out

...
2 1 3 drop drop drop M drop

one N x M and one MXM four-port optical matrix switch

31

Autre exemple: micromiroire optique pivotant

32

Table de positionnement XYZ

33

Animations vido de structures ralises lUniversit de Sandia

34

35

Actionneurs lectrostatiques:du MEMS au NEMS?

Leffet Casimir, est une force attractive entre deux plaques parallles conductrices et non charges. Cet effet, d aux fluctuations quantiques du vide , existe galement pour d'autres gomtries d'lectrodes[2]. Une liaison de van der Waals est une interaction lectrique de faible intensit entre atomes, molcules, ou entre une molcule et un cristal

36

Micro-actionneurs pizolectriques
Les applications des actionneurs pizolectriques se rpondent dans diffrents domaines comme le micropositionnement de prcision, le contrle de forme ou la gnration, le contrle de l amortissement de vibrations. Lapparition sur le march de cramiques pizolectriques multicouches gnrant de grandes dformations sous faible tension a permis de dvelopper de nouveaux actionneurs. Ces proprits sont maintenant avantageusement utiliss dans des produits standard pour des actionneurs directs ou amplifis, des rsonateurs ultrasonors et des moteurs pizolectriques ddis des marchs trs divers comme loptique, le spatial ou linstrumentation de prcision.

37

Micro-actionneurs pizolectriques

38

Micro-pompe actionne par un film pizolectrique

39

Principe de micro-actionneurs dispositif ondes lastique de surface

40

Exemples de ralisations pour la micro-fluidique

41

Exemples de ralisations pour la micro-fluidique

42

Actionneurs thermiques
L exemple suivant montre la structure d un micromanipulateur parallle intgr sur circuit CMOS. L actionnement est assur par des micropoutres en polyimide fort coefficient de dilatation thermique. Ralisation: Departement of Electrical Engineering, Stanford University (CA).

43

44

45

46

47

48

Alliages mmoire de forme (AMF)

Parmi les microactionneurs prsentant des potentialits intressantes, les alliages mmoire de forme, nots AMF. Les AMF sont capables de transformer une nergie thermique qui leur est fournie en un travail mcanique. Ils peuvent alors restituer des dformations de l'ordre de 6 8 % et gnrer des efforts relativement importants lorsqu'ils sont chauffs. En outre, les AMF sont en gnral peu coteux et la mise en uvre physique de la commande par chauffage peut tre ralise simplement.

49

Principe de fonctionnement
Les AMF sont des matriaux qui, aprs dformation permanente basse temprature retrouvent leur forme initiale non dforme (mmorise) par chauffage. Cette proprit est dsigne par le terme effet mmoire de forme et est illustre sur la figure ci-dessous.
Retour la forme initial lors du chauffage Refroidissement sans changement de forme Dformation

Cest lors d un retour contrari sa forme initiale, par chauffage, que l AMF est capable de gnrer un travail mcanique et donc dentraner une charge. Cest cet effet de transduction thermomcanique que l on exploite lorsquon utilise un AMF en tant quactionneur.
50

Exemples

Department of Engeneering: Cambridge University

51

Exemples

Micropince AMF dvelopp lEPFL par High precision robotics group

52

Comparaison des performances de diffrent effets dactionnement

Effet de micro-actionnement AMF TiNi Densit dnergie Maximum [Ws/m3 ] 2.5x107 Frquence max (Hz) <100 2~5 Voltage (V)

Electrostatique

1.8x10 5

>10000

5~500

Pizolectrique

1.2x105

>5000

5~100

53