You are on page 1of 13

TRANSMSY ON ELEKTRON MKROSKOP (TEM) TRLER

MALZEME ANALZ TEKNKLER-I PROF.DR. FATH STEL

B0701.08030 Ouzhan GNGR B0701.08072 Onur Can DEMRAY B0801.08034 Betl DURAN

1. TRANSMSYON ELEKTRON MKROSKOP (TEM)


1.1. Elektronlarn Doas
Neden elektron mikroskobu kullanmalyz? Tarihsel olarak, TEM'Ier k mikroskobundaki snrl grnt zme gc (rezolsyon) sebebi ile gelitirilmitir, bunlar grnr n dalga boyu ile grnt olutururlar. Sadece elektron mikroskoplarnn kefedilmesinden sonra elektronlarn kullanm iin dier birok edeer mkemmel sebeplerin bulunduu gereklenmitir, bunlarn biroundan modern TEM'in geniletilmesinde faydalanlmtr. Konuya giri yapmak iin, TEM'in nasl gelitirildii ve bu cihazn kullanlmasnn lehinde ve aleyhindeki durumlara bakalm.

1.1.1. Ksa Tarihe


Esasen grnr ktan daha kk dalga boyu ile elektronlann dalga karakterinde olduunu ilk defa Luis de Broglie (1925) ortaya att. Daha sonra, Davisson ve Germer (1927) ve Thompson ve Reid (1927) birbirlerinden bamsz olarak klasik elektron krnm deneyleri ile elektronlann dalga yapsn gsterdiler. Bu, elektron mikroskobu fikrinin teklif edilmesi iin uzun srmedi ve terimler ilk defa Knoll ve Ruska (l9-32)'nn tezlerinde kullanld. Bu tezde pratik olarak elektron mercekleri fikrini gelitirdiler ve bu cihazdan alman elektron grntlerini gsterdiler. Bu, Ruska'nn 1986'da Nobel dl almasndaki en can alc admd. Knoll ve Ruska'nn yaynlarnn yllar iinde k mikroskobunun zme gc snr yenilmi oldu. Ruska, hayret uyandracak ekilde, de Broglie'nin elektron dalgalar hakkndaki haberini duymadan dalga boyu limitinin elektronlara uygulanamayaca dncesini- aklad, TEM'Ier ticari irketler tarafndan sadece drt yl sonra gelitirildiler. "Metropolitan - Vickers EM 1" ilk ticari TEM oldu. Bu ilk TEM, 1936'da ngiltere'de imal edildi, ancak ok iyi almad ortadayd ve dzenli retim gerek olarak 1936'da Siemens ve Halske tarafindan Almanya'da balatld. TEM'ler II. Dnya Sava'nn sonulanmasndan sonra farkl dier kaynaklardan (Hitachi, JEOL, Philips and RCA) geni olarak kullanl hale getirildi. Malzeme bilimciler iin, 1940'lann sonlarnda ilk defa Heidenreich (1949) metal tabakalar elektron geirgenlii iin incelttii zaman ok nemli bir bulu, haline gelmitir: Bu almay svire'de Bollman ve Cambridge'de Hirsch ve asistanlar' takip ettiler. nk erken TEM almalarnn ou metal numunelerle denetleniyordu. "tabaka" kelimesi "numune" kelimesi ile eanlaml hale gelmiti. Ek olarak Cambridge grubu YEM grntleri iinde tm bilinen izgi ve dzlemsel kristal kusurlarn, genellikle nicel olanlar, belirleyebileceimiz elektron krnm ztl teorisini gelitirmitir. Bu teorik alma fevkalade bir ekilde zetlenmitir ancak temel yaz TEM'in "Kutsal Kitab" olarak nitelendirilmitir (Hirsch et al. 1977). Malzeme bilimcileri iin, malzeme problemlerinin zmlerinde TEM'in pratik uygulamalar Thomas tarafndan Amerika'da balatld ve ilk net yorumlama onun makalesinde olmutur (Thomas 1962).

Bunu, Eddington (1976) ve Thomas ve Goringe (1976)'nn parltl malzeme makaleleri izledi.

1.1.2. Mikroskopi ve Rezolsyon (znrlk) Kavram


Mikroskop nedir diye sorduumuzda, birok insan ok kk nesneleri plak gzle grebilmek iin bir btc bir cihaz cevabn verir ve yine birou grnr k mikroskobunu rnek gsterir. Grnr k mikroskobu ile genel alkanlk sebebinden elektron ve grnr k mikroskobu arasndaki retici benzerlikleri gstereceiz. ki nokta arasndaki gzmzle grebileceimiz en kk uzaklk 0.1 - 0.2 mm arasndadr. Bu, gzmzn ne kadar iyi grdne ve yeterince aydnlatlp aydnlatlmadna baldr. Bu uzaklk, rezolsyon veya gzmzn ayrma gcdr. Bize resimler gsterebilen (veya grntler ki biz bunu kullanacaz) birok cihaz 0.1 mm'den daha iyi detaylar gsterebilirler. TEM'in ilk gelitiricileri iin en ekici yn, elektronlarn atomlardan daha kk olmalar ve teorik olarak atomik seviye altndaki detaylarn "grlmesi" iin imal edilen bir mikroskop olmasdr. Elektronlar ile "grlebilme" fikri sizi artabilir. Gzlerimiz elektronlar grebilecek kadar hassas deildirler. Eer yksek enerjili elektron demeti gzmze hedeflenirse, elektronlarn retina hcrelerini ldrmesi sebebi ile byk ihtimalle kor olursunuz, gznz hibir ey grmez! Elektron mikroskoplarnn blnmez bir paras baz ekillerin gsterildii ekrandr, bu ekran, elektron iddetini k iddetine dntrr ve bunu inceleyebilir veya fotografk olarak kaydedebiliriz. Ik rnikroskobu iin klasik Rayleigh kriterinin terimlerinde TEM'in grnt rezolsyonu dncesi iin en basit ifadesi, 3 ile verilebilen en kk mesafedir ve yaklak olarak yledir:

[1.1] Burada; : nmn dalga boyu, : gr alannn krlma indisi, : bytc mercek topluluunun yar asdr. Kolaylk bakmndan .Sin'y (bunlar bazen nmerik aklk olarak adlandrlr) birim kabul edebiliriz, bylece rezolsyon yaklak olarak n dalga boyunun yarsna eit olur. Grnr spektrumun ortasndaki yeil k iin , 550 nm (5500 A) civarndadr ve bunun yannda iyi bir k mikroskobunun rezolsyonu 300 nm civarndadr. TEM'lerde Denklem 1.1deki rezolsyonu yaklak olarak 0,61. ./ alabiliriz, daha sonra greceiz ki, bu deer ok kk bir deerdir. imdi, her ne kadar 300 nm bizim iin kk bir boyut olsa da 100 civarnda atom boyutu iin uygundur ve sonu olarak malzeme zelliklerinin kontrol iin birok haller k mikroskobunun

3|Sayfa

[1,2]

rezolsyonunun ok altnda bir skala zerindedir. Bylece, eer malzemelerin zelliklerini anlamak istiyorsak grnt detaylarn atomik seviyenin altna indirmeye gerekten ihtiyacmz vardr, ayrca bu da TEM'lerin neden ok faydal olduunun esas sebebidir. Ik mikroskobunun bu kstlamas bu yzyl banda ok iyi anlalm ve Ernst Abbe tarafndan hatrlatlmtr, bu alandaki devlerden bir tanesi bundan yaknmak iin, "bu insan yaratclnn yntemler bulacan ve bu kstlamann stesinden geleceini ummak bizim iin zayf bir rahatlktr" demi ve 1905'te lmtr, bundan yaklak 20 yl sonra de Broglie'nin yaratcl problemi zmtr. u anda, de Broglie'nin elektronlarn dalga boyunu gsteren nl denklemi, elektronlarn enerjisine baldr ve relativistik etkileri ihmal edersek bu denklem yaklak olarak yle verilir:

Bu denklemde, E; elektronvolt (eV) ve nanometre (nm) cinsindendir. Unutulmamaldr ki; V ve eV birimlerini de kullanacaz: V; mikroskobun ivmelendirici voltajn anlatrken, sonraki ise (eV) mikroskoptaki elektronlarn enerjisini gsterecektir. Ayrca, 100 keV'lik bir elektron iin =pm (0,004 nm) olup, bu deer atomun boyutlarndan daha kktr. Daha sonra greceiz ki; bu dalga boyunu rezolsyon limitine yaklatran TEMleri hibir yerde imal edemeyeceiz, nk mkemmel elektron mercekleri retemiyoruz. (baknz Blm 3). Ancak, Ruska'nn mercekler zerindeki ilk almalarndan sonra hzl bir ilerleme kaydedilmi ve 1970'lerin ortalarndan sonra birok ticari TEM, kristaldeki atomlarn balca stunlarn tasarlanmas kapasitesine erimitir ve "yksek rezolsyonlu TEM" veya "HRTEM" alan yaratlmtr. Tipik HRTE1V1 grnts ekil 1.1'de gsterilmitir.

ekil 1.1: Bir HRTEM grnts 1960'larda daha ksa dalga boylu LED'in avantajlar yksek voltajl TEM'in (HVTEM) gelitirilmesine sebep olmutur, bundaki hzlandrma voltaj 1 MV ve 3 MV arasndadr. Gerekte, bu cihazlarn birou numune iindeki radyasyon kayplarn kontrol etmekte kullanld, ancak enerji

aratrmalarnn nemindeki deimeler gnmzde byle cihazlar iin ok fazla kullanld anlamna gelmez. Bu durumda artan deerler sayesinde rezolsyonu yararl hale getirebiliriz, ok iyi rezolsyon iin kullanm u anda fevkalade deildir ve TEM dier yntemlerde gelimitir. Gerekte ERTEM grntleri iin 1980'lerde sadece bir tek HVEM (1 MV) imal edilmi, 1960'larda ise 1,25 MV' luk adet makine imal edilmitir. Orta seviye voltajl elektron mikroskoplan (IVEMIer) 1980'lerde ortaya atld. Bu TEM'Ier 300 veya 400 kV'de almaktadr ama, ok yksek rezolsyonlar vermektedir. 1 MV'de baarlan deerdedir.

1.1.3. Elektronlarn Madde le Etkilemesi


Elektronlar, mann genel terimlerini veren "iyonize ma" nn bir tipidir, bu ekirdein ekici alanndan sk bal i kabuk elektronlarndan birini koparmann bir sonucudur. yonize ma kullanmnn avantajlarndan bir tanesi; numuneden gelen ikincil sinyallerin geni kapsaml olmasdr ve bunlarn bazlar ekil 1.2'de zetlenmitir. Bu sinyallerin bir ou "Analitik Elektron Mikroskobu" veya AEMde kullanlrlar, bize kimyasal bilgiler ve rneklerimiz hakkndaki dier detaylarn bir ksmn verirler. AEM, X nlar enerji dalm spektroskopisi (XEDS) ve elektron enerji kayplar spektroskopisi (EELS)'nde kullanlr. AEMler genel olarak ara voltajlardaki gelimi performans verirler, 1-IRTEM'lere benzerdirler. Numunelerimizden ok iyi sinyal alabilmemiz iin ok iyi sinyal girmeliyiz, bu durumda elektron kayna kritiktir. Ayrca, modern TEM'ler ok iyi sinyal retme cihazlardr. Bu sinyalleri lokalize etmek iin TEM'imize ok ince bir elektron demeti girmeliyiz, tipik olarak ap 10 nm'den kk, en iyisi iin ise ap 1 nm'den kk boyutlarda olmaldr. Tarama!' Transmisyon Elektron Mikroskobu (STEM) retmek iin TEM ve Taramal Elektron Mikroskobu (SEM) teknolojilerini birletirilerek bu salanmtr STEM, AEMler ve tek taramal grnt mikroskobu iin kendi kendine yeterlidir. Gerekte, sadece tarama modunda almaya yetenekli cihazlar vardr ve bunlar baz zamanlarda STEM'lere veya DSTEM'Iere bizi gtrecektir.

5|Sayfa

ekil 1.2: Yksek enerjili elektron demetinin ince numune ile etkilemesinden retilen sinyaller.

1.1.4. Alan Derinlii


Mikroskop alannn derinlii, ayn zamanda "oda tam ayarl" durumda kalntlara baktmzda maddenin ne kadar ok olduunun bir lsdr. Ayrma gcne benzer olarak bu zellik mikroskop iinde mercekler tarafnda ynetilir. En uygun elektron mercei ok iyi bir mercek deildir, bunu her zaman ima ettik ve bir Coca - Cola iesinin tabann kullanarak k mikroskobundaki mercekle karlatrlabilir. Bu problemi en aza indirmek iin merceklerde ok kk limitlerde delikler kullanrz, demet ap sadece birka im boyutlarnda olan ince elektron "kaleminde" daraltlr. Bu delikler elektron demetinin iddetini azaltr ama, bizim oluturduumuz grntnn odak derinliini artrr. Unutulmamaldr ki; "alan derinlii" numuneye karlk gelir, "odak derinlii" ise grntye karlk gelir. Alann bu geni derinlii, SEM'de topografisinin byk deiimleri ile numune yzeylerinin boyutlu grntlerinin oluturulmasnda esas olarak kullanlr, bu durum TEM'de kritik olmaktadr. TEM'de btn numuneler ayn zamanda genellikle iyi odaklanm durumdadr, numune topografisinden bamsz

olarak elektron effafl olana kadar devam eder. ekil 1.2: kristal iindeki baz kaymalarn TEM grntsn gsterir.

250nm

ekil 1.2: GaAs iindeki yer deitirmelerin TEM grnts Kaymalarn numune iinde balad ve bittii grnr ancak, gerekte onlar numune iinde yukardan aaya doru iplik gibi sarkar ve her zaman keskin nitelikte kalrlar. Ayrca, cihazn niha mercei altnda farkl pozisyonlardaki sonu grnty kaydedebiliriz ve bu iyi odaklanm (net) bir ekilde durur. Bu grnr k mikroskobu ile karlatrlabilir ki bunu biliyorsunuzdur, numune yzeyi n dalga boyu snrlar iinde olmad srece dz olmayacaktr, ayn zamanda tam odaklanm deildir. TEM'in bu ilevi bize grnr k mikroskobu ile karlatrmada hem avantajlar hem de dezavantajlar verir.

1.1.5. Sanma
Thompson ve Reid, nikelin ince kristalleri iinden geerken elektronlarn sanacan gsterdiler ve TEM'lerde birleik elektron sanmasnn mmknln Kossel ve Mllenstedt (1939) tarafndan gereklendi. Bugn, elektron sanmas TEM'in vazgeilmez bir parasdr ye malzeme bilimcileri iin TEM'in bu ilevi ok faydal hale gelmitir. ekil 1.2; kristal yap, rg tekrarl uzakl ve numune ekli zerindeki bilgiyi kapsayan TEM sanma modellerini gsterir ki bu ok kuvvetli bir model haline gelmitir. Bu modelin, numune alannn grnts ile ilgili olduunu grrz.

7|Sayfa

ekil 1.4: Deiik tortu fazlarn ieren Al-Li-Cu'nun ince bir yaprandan elde edilen TEM krnm deseni.

Minuscule kristallerin tam kristalografik simetri analizini yapabilirsiniz, bunlar nokta - grup ve boluk - grup hkmlerinin baz zel durumlarn kapsar ve kristalografi her zaman numunenizin grnm ile ilgili olabilir. Grnr n nispeten daha byk olan dalga boyu sebebiyle k mikroskobunda benzer yetenekler yoktur. Bylece elektron mikroskobu atomik seviyede grnt oluturabilir, sinyal deiimleri retebilir ve numunenizin kimyas ve kristalografisi hakknda bilgi verebilir, her zaman ok net grntler oluturabilirsiniz, elektron mikroskobu kullanmamzn birok dier iyi sebepleri vardr. Ayrca problemlerimizin zmlerini her zaman TEM ile aratramayacamzn birok sebepleri vardr.

1.2. Farkl TEM Trleri


nceki ksmlar okuduunuzda TEM'lerin tiplerinin ok geni eitlilikte olduunu greceksiniz: HRTEM'ler, HVEM'ler, IVEM'ler, STEM'ler, ve AEM'ler. Birok kitaplar bu cihazlarn her biri zerine yazlmlardr, ancak bizim felsefemiz udur: btn bunlar temel TEM'in basit olarak farkl ekilleridir. Bu nedenle bu tezde bunlar bu ekilde- vermeyi tasarladk. Genellikle 300 veya 400 keV'lik bir akmla TEM, yukardaki mikroskop tiplerinin tamamnn kombine durumlarn yapabilir. ekil 1.3 bizim ifade ettiimiz TEM'lerin fark drt trn gstermektedir.

ekil 1.3: Farkl TEM'ler: (A) JEOL 1.25 MV (B) Hitachi (yzey taramas iin) (C) Philips 200 kV analitik mikroskop (D) VG 100 kV ultra yksek vakumlu taramal transmisyon mikroskobu. Burada gsterilen cihazlarn zelliklerinin bazlarn gz nnde bulundurmak iin reticidir. HVEM, genellikle iki bina kat byklnde bir oda gerektirir, her bir cihazn skalas, kullanc konsolunun yaygn geniliinden yarglanabilir. Modern bir makine esasen, bir elektron optik stunudur ki bunun iinde iddia ettiimiz iyi vakumu yapabiliriz, ancak mercekler ve dier birok fonksiyonlar bir veya daha ok bilgisayar tarafndan kontrol edilebilirler. Not olarak; DSTEM, sadece CRT ekranlara sahiptir. Bir grntleme ekran yoktur. Ayrca, elektron kayna, tm tartmalarmzda kabul edeceimiz gibi, stunun tepesinden ziyade tabanndadr.

2. MERCEKLER
2.1. Elektron Mercekleri
Elektronlar ilk olarak 1927'de Busch tarafndan odaklanmtr. Busch; Ruska'mn ilk TEM'de takt eitte bir elektromknats kullanmtr. Ayrca elektrostatik alanlar kullanarak da elektronlarn odaklanabileceim gstermitir. Pratikte; magnetik mercekler ou durumda en uygun olanlardr. zellikle yksek voltaj kesim noktalarna duyarl olmadklar iin. Bu yzden TEM'ler magnetik mercekler kullanrlar.

9|Sayfa

2.1.1. Mknatsklar ve Halkalar


Magnetik bir elektron mercei yapmak iin iki paraya ihtiyacmn vardr. Bunlar ekil 2.1'de ematik olarak izilmilerdir. (1) ine delik alm olan yumuak demir gibi yumuak demir malzemelerin silindirik olarak simetrik ekirdekleri olmal. Bu yumuak demire "mknatsk" adm veriyoruz ve delik ise mknatsn ap adn alr. ou mercekte 2 tane mknatsk vardr (stte ve altta olmak zere). Bunlar yumuak demirin ayn blmleri veya ayr iki para olabilirler. Mknatsk yzeyleri arasndaki mesafe "boluk (gap)" adn alr. "apn arala oram" bu tip merceklerin bir baka karakteristik zelliidir. Bu; mercein odaklama ilemini kontrol eder. Baz mknatsklar bir koni eklindedirler ve koni as mercek performans iin bir baka zelliktir. (2) Mercein ikinci ksm; her bir mknats saran bakr tel halkalardr.

0100090000038500000002001c00000000000400000003010800050000000b020 0000000050000000c0208067908040000002e0118001c000000fb02a4ff00000000000090010000 00a20440002243616c69627269000000000000000000000000000000000000000000000000000 40000002d010000040000002d010000040000002d010000040000000201010005000000090200 0000020d000000320a57000000010004000000000079080806200036000500000009020000000 21c000000fb021000070000000000bc02000000a20102022253797374656d000000000000708aa 2080000000050b8f106000000009d2318ff040000002d010100040000002d01010003000000000 0 ekil 2.1: Magnetik mercein ematik

diyagram.

Halka boyunca bir akm geirirsek ap iinde magnetik bir alan oluturulmu olur. Mercek boyunca alan homojen deildir fakat eksensel olarak simetriktir. Magnetik bir mercekteki alan izgileri n yollarna diktir. Halkann diren gsteren stmas; merceklerin soultulmas gerektii ve bir de dolaml su sistemi TEM merceklerinin nemli bir parasdr anlamna gelir. TEM stunundan karlm gerek bir mercek ekil 2.2''de gsterilmitir.

ekil 2.2: Gerek bir mercek

2.1.2. Farkl Mercek Trleri


Biraz nce tanmladmz ilkeler TEM'de kullanlan farkl mercek eitlerine uygulanabilirler. Mikroskoptaki ou mercek byk gaplara sahip zayf merceklerdir. Kaynak grnty numune zerine kltmek iin davranabilecekleri gibi, grnt ya da krnm desenini bytebilir ve onlar ekrana tayabilirler. Objektif mercek TEM'deki en nemli mercektir. nk dier btn mercekler tarafndan bytlebilecek olan grnty ve krnm desenlerini olutururlar. Ayn zamanda yaplmas en zor olan mercektir. nk numune bu mercein dzlemine ok yakn olarak yerletirilmelidir. Objektif mercek gl bir mercektir. Birka tipi vardr. Bunlar zel TEM'lerin ihtiyacna gre ayrlr. En esnek objektif mercek, iindeki mknatsklar ayrlm ve kendi halkalarna sahip olan mercektir {ekil 4.3A). Bu geometri bize numuneyi ve objektif akl mknatsklarn arasna yerletirmek iin gerekli boluu salar. Bu tipte bir mknatsk ile, X n spektrometresi gibi dier aletler numuneye kolaylkla eriebilirler. Ayn nedenden dolay, erime, dndrme, stma, germe gibi eitli ilemleri yapmak iin numune tutucular dizayn etmek doru olacaktr ve bu ok ynllk TEM'lerde yarkl mknatsklarn poplerlii iin iyi bir puandr. Yarkl mknatsklar ile stteki mknatsn alttaki mknatsktan farkl davranmas salanabilir. Bunun en yaygn uygulamas st objektif mknats ok gl bir ekilde uyarmaktr. Bu eit bir mercek bir AEM/STEM iin idealdir nk hem TEM iin geni demetli elektronlar retir ham de AEM ve STEM

11 | S a y f a

iin ince demetli elektronlar retir. Eer yksek znrlk nemli bir gereksinim ise; objektif mercein odak uzunluunu ksa tutmamz gerekir ve bu; ok gl bir mercee ihtiyacmz olduu anlamna gelir. Bu ise; klasik olarak, iindeki numunenin, mercek alannn merkezine brakld daldrma mercei ile gerekletirilir (ekil 2.3B). Byle bir st girili aamada numune objektif mercek tarafndan sarlr ve bu da yaplmas hayli zor olan bir olaydr. En yksek znrl vermek iin odak uzunluu gerekten ksa tutulursa, numuneyi birka dereceden fazla eemeyiz. Bu yzden en yksek znrlkl TEM'lerde snrlanm bir eme aralnn zerinde grntleme ve krnmdan farkl bir ey yapamazsnz. Bu snrlama "Snorkel mercei" gibi merceklerle kaldrlabilir (ekil 2.3C). Bu mercekte, gl bir mercek elde etmek iin kk ap ile tekli bir mknatsk kullanlr. Ferromagnetik mknatsklarn bu snrlamalar speriletken mercekler kullanarak ortadan kaldrlabilir. Kendi doyum magnetizasyonundan daha gl bir yumuak demir mknatsk yapamayz ve bu; mercein odak uzunluu ile u oluturma yeteneini snrlar. Speriletken mercekler bu snrlamay ortadan kaldrabilirler. Fakat; bir speriletken, seilmi bir alan oluturduu iin klasik bir ferromagnetik mercek gibi deitirilemez ve bu yzden de fazla esnek deildir. Bu mercekler zerinde ilgi ok fazladr, nk onlar kktr, su soutmasna ihtiyalar yoktur ve kirlilii azaltan ve vakumu ykselten numune evresindeki alan souturlar. iddetli alanlar yaratabilirler (>100 T). Bunlar AEM'de faydal olan yksek enerjili elektronlar ile iyi ular oluturabilirler. Speriletken mercekler o kadar gldrler ki kusurlar, znrln <0.1 nm olaca seviyelere kadar azaltlabilir. Tekli veya iftli mknatsk konusundaki bu deikenlere ek olarak, aym zamanda, iinde odaklamann drt veya sekiz kutup ile saland "quadropole" ve- "octupole" dizayn edilebilir. Komu mknatsklar zt polaritededirler (ekil 4.3). Bu mercekler TEM'lerde bytc mercek olarak kullanlmazlar, nk astigmatizm gibi mercek kusurlarm yok etmek zere kullanlrlar ve elektron spektrometrelerindeki mercekler gibi kullanlrlar. Bunlar daha az g gerektirir ve numuneye herhangi bir dnme sunmazlar. Bu; standart elektromagnetik merceklerin bir karakteristiidir.

ekil 4.3: (A) Yark mknatskl objektif mercek (B) st girili daldrma mercei (C) Snorkel mercei (D) Quadropole mercek.

KAYNAK:
Transmisyon Elektron Mikroskobu (TEM) ve Uygulamalar Uur Gkhan SEVER Yksek Lisans Tezi Fizik Anabilim Dal 1999

13 | S a y f a

You might also like